Перспективы развития тонкопленочных микросборок

Рассмотрены некоторые конструктивно-технологические варианты микросборок и перспективы повышения их интеграции, а также особенности применения резистивных материалов в производстве тонкопленочных микросборок....

Повний опис

Збережено в:
Бібліографічні деталі
Опубліковано в: :Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Дата:2005
Автор: Спирин, В.Г.
Формат: Стаття
Мова:Russian
Опубліковано: Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 2005
Теми:
Онлайн доступ:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/53515
Теги: Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:Перспективы развития тонкопленочных микросборок / В.Г. Спирин // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2005. — № 1. — С. 03-06. — Бібліогр.: 11 назв. — рос.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
id nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-53515
record_format dspace
spelling Спирин, В.Г.
2014-01-21T19:55:58Z
2014-01-21T19:55:58Z
2005
Перспективы развития тонкопленочных микросборок / В.Г. Спирин // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2005. — № 1. — С. 03-06. — Бібліогр.: 11 назв. — рос.
2225-5818
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/53515
Рассмотрены некоторые конструктивно-технологические варианты микросборок и перспективы повышения их интеграции, а также особенности применения резистивных материалов в производстве тонкопленочных микросборок.
ru
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Техническая политика
Перспективы развития тонкопленочных микросборок
Перспективи розвитку тонкоплівкових мікрозбірок
Perspectives of thin-film micromodule development
Article
published earlier
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection DSpace DC
title Перспективы развития тонкопленочных микросборок
spellingShingle Перспективы развития тонкопленочных микросборок
Спирин, В.Г.
Техническая политика
title_short Перспективы развития тонкопленочных микросборок
title_full Перспективы развития тонкопленочных микросборок
title_fullStr Перспективы развития тонкопленочных микросборок
title_full_unstemmed Перспективы развития тонкопленочных микросборок
title_sort перспективы развития тонкопленочных микросборок
author Спирин, В.Г.
author_facet Спирин, В.Г.
topic Техническая политика
topic_facet Техническая политика
publishDate 2005
language Russian
container_title Технология и конструирование в электронной аппаратуре
publisher Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
format Article
title_alt Перспективи розвитку тонкоплівкових мікрозбірок
Perspectives of thin-film micromodule development
description Рассмотрены некоторые конструктивно-технологические варианты микросборок и перспективы повышения их интеграции, а также особенности применения резистивных материалов в производстве тонкопленочных микросборок.
issn 2225-5818
url https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/53515
citation_txt Перспективы развития тонкопленочных микросборок / В.Г. Спирин // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2005. — № 1. — С. 03-06. — Бібліогр.: 11 назв. — рос.
work_keys_str_mv AT spirinvg perspektivyrazvitiâtonkoplenočnyhmikrosborok
AT spirinvg perspektivirozvitkutonkoplívkovihmíkrozbírok
AT spirinvg perspectivesofthinfilmmicromoduledevelopment
first_indexed 2025-11-25T13:52:34Z
last_indexed 2025-11-25T13:52:34Z
_version_ 1850516178982666240
fulltext ��������� � ���� ���������� � ���� ������ ������ ���� ���� � � � � ��������� �� ����� �� � ��� ������ � �������� � !� ���" �! #������ ���������� � $%#��&��'(������� %� �! )*���+ ��� ����������������� ,���� � �! -�&�*��� (.. %��*�'-���% /'01234 5607819:101;!<<=>!9? ./,)./@�ABC ,-DBA�AE �#(@#.F/(#G(CH IA@,#)J#,#@ ������ ��������� ��������� ��� ��� ��� ������ �!������������ ��������"�� ������#���#�� ����#���$���%������ � � ��&��'� �� ��(�����"����� ��#������� ��%���)�� �������� ����������#���)��*� � ��� ����#����!����������"����� #��� �& ������K� ��� �����L�� �����*����� *�������� ������ M ��&��L�� ��� ��� � ��������' ��� �����*���K� �����N��OP�� �� �����O�K� ���* $)JA)+ $���� �����Q**+ � ��**� ������K� ��� $� �����Q**+� L � �N��������� �������� *� �� �&' �� ������ ! ������ ��� �����L�� ���R�� ���� ��R' ���P�� ����*� �K *�������� ������ ������ ��K ��� ��� ��� O ��������� NK� ������ ���� ��N�� ��*�� O! # � ��� � )S- � E����� �� ������ ��&�� � ��N*������K� ���������� � ))), � �TU�M�TV� ��! �� ������� ��&��N� K�����O �������� N��OP�� ��N����K� �� �����O�K� ���* $JWA)+ X�� �Y! B ��' &��O � � � � *�������� ����K� �� ���� �� Z������' ���O�� ������������ �*���������� � ������� )JA)! B ����� �TV�'� ����� � ��� �� �� O� ���N[��� �N �� �������* ��&�� �� �� *����� � ������ ���R�� ����� � )S-� ��������� *�������� ��O�K� *���' ��� $I@I+ X�� "Y� �� ��� �� ����� ��[��� � ����' �K�����O �� ��������� JWA)! B ��� � [�� ���* �� �&�� ������ I@I �����O' &�� � ���� ������ L� K��� ���� ��� X�Y4 M I@I'\ M � �����R��� �& � ���� ��� ��� �] M I@I') M � �����R��� �& ����L����� ����' *��� $ ��� ������L�K� JWA)+] M I@I'^ M ���������L�K� � ��� ��K $�����' *��� �� �����R��� �& �� ���� � ��������+] M I@I'_2 M ���������L�K� � ��� ��K � ���' ��R��� �& ���*�� ! ��������� I@I &� ��N�R�* ��������� ��� O �� ��&�������O � �L��O ���������* �*��! /��� � �TVV �! *��OP� ��� �� Z��* )S- &���*����O ��&' ��N� ��� � ����&���� ��* I@I� � � �TT� �! �� ��' ��L�� �� ��� ���� �� ��! #�����K*� �� ��N� �� *� I@I �� � � Z��*K� ��&���[�� ��*�O� ��K! ���' ������ I@I \' ��� ��*������ � ����&���� �� *������ N������� ����L�� ������ ��O�� ��������� *� ������� �� �� �����R��� � ��N� ���K� ������' ��� � �N��������� �� *�� �R� ���� �����! #���' �� �� ������&�* �K��� �NK � I@I N��� ��&���� O' � � � ����� ���P����� ����&���� �� *������ ̂ ' � _2' ���� X�Y! .�� �*� �����& ��� � �� � ������� �� ��&�� � ���������L�K� *�����N���� $I)J+ ����' � ��� � �� ����! B &���L� ��� � [�� ��N� K ����� ����*� ����� ���� ��� ����' ��������L����� ������ �� I)J� ��' �����K� ���������� ���*KP������ O�� � �������' ��K ���KP��� �� �� �������! #�����K� ������' �����*�L����� ����*� �K I)J ��������K � �������! B ��� � [�� ���* � ,����� ����L��� ��&�� �� ��L� �K� ��� K �� � ���� ��� ��� � �� ��������' � ���� *�� �R� ��*����� ��! #����� �� ����L�' ���� ����*� �K� ���R�� ����� ��� ��� O ��������' ��� $� �����Q**+� ��&*�� ��� �� ��� ���[���� ����' ������� � ���� � $∅ ��U **+� � ��R� *���*��O��� ���� � ��� *�R�� � ���� � *� $��� �������� �� *�' ��� ��[��K ��� K+ ���� � ��� �����L���� �� ��' ����� I)J! @��*� ���� ��&�� ������������� O � ��' �� ��� ��� � �� ��&��� � �����L� O ��� ��� O ��*' ������� � ���*�� O ����K� *� ����� �� �� ������ ��*����� �� � N��OP�� ���������*�� *�[��� O�! ��������� �����*���K� ��� � ��&�����P� � �K����*� �*��*� � V�'� ����� ���P���� � ��� � X�� �Y� � ��� � [�� ���* ������ ������L����� ���' ���������� ���� ������ �������� ���� ��� ������� �������� ��� � � �� ������ ����, 10–6���� �������� �� �� � ��������� !��"�� �# $������� %� ������� � ����� �&�� �������� ��������'����� �()���2 ���������� ����3 *�������������� FR-4 5 10 14 0,02 500×500 300—400 0,1 1,8 �������� 5 10 25 0,0015 78×95 — — — *����� 5 20 5 0,015 60×48 200—300 1,14 2,5 ������ 5 20 8 0,3 60×48 320—450 7,98 4 *� +� 10 500 8 0,47 ∅ 76 700 24,0 4 � ����� 50 500 2,3 1,09 ∅ 100 700 2,4 2,3 ��N���� � ` ��������� � ���� ���������� � ���� ������ ������ ���� ����� � � " ��������� �� ����� *������� � �� � �� ������� �� ����&�P�� &�*��� �����*���K� ��� �� � ���� ��� ��� ��K�! a � �� ' &��� � �*� L � �����*���K� ��� K �*�� N���� �K' ����� ��N�� ��*�� O �&�� ������ �� ��������� � �����*���K*� � ���� ��� ��� ��K*� ��� �*�� �� �' �K� �N����L���� ���� R� ��� ��� O ����������� $ �N�! �+! (���� � ��* ��L� �K� � �����*���K� ��� �� � � �� L � �� ��� ���O& �&�� ������ O �� ��' ���O�K� ��&�� ��K! b� ������ �� ��� K ��&�� ���� � *���'�������� �����L���� ��N�� ��*�� O I)J� ���R�� ����R��� O � ��� ��� O �� ��������! (��N��OP� ��� ��� O ����������� � ���������L' ��� I)J �N����L���� � ���*������* ���*��� � ��L�� �� ����� ������ ������ [��� ��� ! ,�&��O � K ������������� ���������K� � X � UY� ��&��� � ���' �� ����� O ���������L�K� ���*�� K �� �� �����K� � ���������K� �����R��� �� &��L� ��O�� *��OP�*� ���*�*� �������L����� ��&*����4 ��M�� *�*! ���O' ���P�� �*��OP���� ��&*���� ����������� �*��O' P�� �K��� ����K� I)J! a � �� &��� � �*� L � ���' �K� �����R�� �*�� �� *�����O��� Z��*�! .�� ��' ������� Z� ���&�� � �� ����� �����R�� �N��&�� � ������ ��[��� �� ����� *�R� � ������O�� ��& ���' ������� O ��[��� ��������� ��� ! B ��&��O � � �' ���� ��Z������ ��������� &���� �� Z� ���&�� � ��� ���*�� �*� Z� �P�N����� L � ������� � �*��O' P���� P����K �����! @��*� ���� �������&����' *�� O ����������� � ��&�� ���� ����P�� � �&'&� ����� �� � �� �����K� � ���������K� �����R��! .��*������ ���N��L� K� ��&�� ���� XVY &��L� ��O�� ���P�� � �����&�� ����� ����*K� ���������L�K� ��' &�� ���� $�.,+ �� ����� �����R��! .�� �*� � ���O� ��[�� ������� ���KP��� �� ������� �� �� �����K� � ���������K� �����R��� R��� ��O�� ���*������ ��&��' ���K� *� ������� � ����O�K* ��������� �K* �����' �������* �� �#*Q ! B � �* ���L�� �����&�� ����� ���' �*K� �., ��� ��� �� #*c� I#*! ��� ��� ���N���� ��� ��N� ��O�K*� �� � � �., � ��*����O�K*� ��' ��� ������ *� ��� #*c��� �#*� � ���� ��P���� &��' L� ��O�� �*��OP� ���[��O ��&�� ����! I���*��O��� P����� ����������� � ������ [�� ������� �& ���*��� *�R�� ����L� O �� �����R��� �& ���Z��� � ���*�� $�M�� *�*+! )��Z�� � ���*��� �� � � *������� ����*�� ��� �*� �� �N����� ��' ��� �� O�� ����� ������ �� ���� � ��������! S�����' �� �� O ��N�L�� ��������� � ���Z��� � ���*�� ��� ' �� � ��� �"M��'*� ������*! .�������� �N� � ��O' � ��� � ��R� � �� � ��� ��� � ������ ��� ��������� Z� ���&�� �� ��&��� � ����L� O *���� P����� ���' �������� �� � �� *������� �����! .���L���� ���Z��� ���� R��� � N��OP�*� &� �� �*� ������� $ �*���� �' �� �������� ���Z��� ��� ��� � ���� @+� � ��� �*� �� �� � � �������������K* ��*��*! @��*� ���� ���' Z�� ��� ��� *�����L����� �N��N� �� �*�� N��OP�� � ���K� L � � �N���������� ��� �K����� � ��*�� O �� ��� �� � ������ ������L����� ���*������! @��*��� ���&��� ��L � �����O�K* � ���� ����' � ����K* *� ������* �� �&�� ������ )JA) � *��' �������������� P������ ���*������ �� ��K� � ��K' �� �� O �� ��������� NK� ���� ��������� ������ ������N� �� ��Z��*����! @��*��� ��R� �� � � ������K* *� ������* *����*������� $ �������� IaI)+! @�� ����� �& �N�! �� ���*��� �� ����* ����L����* ����� ���� ���* � ������O�� ��&� � � � �� ��� ���� ���������� �������L�K� ����*� �K ���� �� ��O�K� *� �������� � �� � ��*�� � &��L� ��O�� �� ���� ��O�� � ���� ��� ��� �! (��*� � �� ����������K� ������'�����*�L����� ����*� �K� ���������L�K� I)J � �����R��*� �& ���*�� �� ������� � � ,d� � � ��L�� � )S-� ���� �L���� �� ���*�� � � ! (� ��P �&�� �� � � �N��������� ������[�*� ������K*� ���L���*�! �! B ��� � [�� ���* ����� ���������*� ����' ��� � *� �� � �� &���L� e����� O � ������� Of! /� �*����� &���L� �KR����� ! @�� � � �� ����������O' ��� �� *����� �������� ��� ���������� ������� ' �� � � &���L� ��P�� �� �� �* ��&��N� �� � ������' �� ���K� ���������� � �� �* ���L �R��� �*��' [��� �K����� ���������� � L�� ��� � ��������� ����� ������! �! @��*���� ���*� � �� �K����� ���L��� O� �' � � � ������* *� ������*! B �� &� � � �* ���N��' ��*� ��P���� &���L� �N����L��� ����� �*K� ��' Z��*���� ��� �N����� ���K ��� � � ������� ���� I)J � �����R��� �& ���*�� ! �! ����������� � ��L�� �� ��&�� ���K� *� ����' ��� � I)J �����O&�� � ��&�� ���K� �����K� ��' ���*�� ,)'�U��� ��� ���*� K� �����*�� @'��)! �� �� ������� ���*�� � ���O�K� ���� ���� � ��� �� �� ��K�� ��� �������� ����� ��������� ����� �� �� ��� ���� �������O ���*�� ! ������ �N� � ��O' � �� ������L���� ���*������ ���*����K� �����R�� � ��������K� I)J! .�� ���������* �*��OP���� ��&*���� �., ��� ���[��O �*��OP�� � ������������O�� �*��OP���� ������ � ��� ��&*���! (����*��� ��� �������� � ���* ����� ������� ��� *�* � �� *�* ���[��O �., �*��OP�� � � � ��&� � ��� �������� � �� *�* M � " ��&�! B � �* ���L�� ���[��O �., ���� �L���� �� ���&K��� ��� �� �� ��� ��� O �������� I)J! .�' � �*� � ��L�� �� ��&�� ������ *� ������ *�R�� ��' ���O&��� O ����&����K� ������� ���*� � ����L���� ����O���� ��������� ���� ����� ������ ρg���!!! ��� #*Q ! ����� ��P���� ������O�� �����L���� ���' [��O �.,� ������ ��� � �* *�R�� &��L� ��O�� ���' &� O ��N�� ��*�� O I)J &� �L� �����L��� ���K' ���� ��&�� ������ *� ������� �� ��K�� ��� �����' ��� ������ � � � ���O��* ��������L����* ����� ����� ���K�����* ������ [��� ��� ! @��*� ���� ���*������ ���*� � ��L�� �� ��&�� ������ *� ����' �� ��&��� � �&�� ������ O �., �� �����R��� �& ���*�� ! $@�� �&��� ��� ���* ���� � ������ ��� ��� ��� ����� ��� � �� ��K* �� ��L��� �������O ���*�� !+ ) �N��O��� O ����� ������ ��&�� ��� �& ������ ���*� ���� �L���� �� �� ���� � �N��O��� � �., �& ��&�� ���K� ������� X�� h! VUM���Y! A&��R�* ��� �� ��������� �&�� ������ ��&��' ���K� � ��� �� �& ���*� �� �����R��� �& ���*�� ! �! d��*�������� �������� ���*�� ��[���� ���M��U *�* �� ��������� � ���*������ ���� ��K! �! (��K����� ������ [�� � ��� ��K � ����&����K* �������* ���*�� �����*�� i9jk3� i9ji?jl2� i9ji?ji9! �! .��������� ������ Z� ��� ����Z��! "! d��*�������� ����������� � ��� �� �K� ���' [����� � ��R� ����K ��&�� ���� �� �* ������� ������ [��� ��� �� ����&������� ������ ���*�! ��������� � ���� ���������� � ���� ������ ������ ���� ���� � � � � ��������� �� ����� �! .��������� � ���� Z� ��� ����Z��! ! d��*�������� P����K ��&�� ���� �� �* ���' ���� ���*�! U! d��*�������� &�[� ��� �&�� ���! #���� �& ���N��* ����&���� �� I)J� ��� � ,��' ���� �� � &� ��N�R�*� �� � � ����� � �� N�����' ����K� ���� ����� $J@+! ) ��L��� �TT�'� ����� �K' ���� ���K� J@ � ,d ������[��! I��� ���� ���*�' � � � ����&���� �� �������K� J@! $a � �������K ����� ���K � �� ���N�� ������ � ��� M NK�P�� ���&�K� �����N���!+ )��� ���K� �&���� ������' ���� ������� � ��&��N� K��� �� ������ ������' ��� ��������� ���� *�� �R� ��*����� �� $�.I@+ �� ��L� �K� ��� �� XTY! #������ ��� � � ������ �& �N�! �� ������� ��K ��&�� � ��L� �K� ��� ���O*� ������L��K� � ���KP���� �� ������� ��&��N� K���' *�� *�������� ������ ������ ��K � � �* ���L�� *�' R� NK O ��� ���� � ��O�� &� �L� ���KP��� ��' ������� )JA)! �� ���KP��� �� ������� I)J *�R�� ����*��' ���� O �� ������ *���'��������� ������&��L���K� �� ��������� ���� *�� �R�� �� ��� K �& �������� X�� h! U Y ��� ���*�� ! B � �* ���L�� � ��L�� �� ������ ' [�� � ��� ��K �����O&�� i9ji?ji9 � ��[���� *��� ���M� *�*! .���� Z��*������� &�[� ��� �&�� ��� ��� ���* �� ��� �� �K� ���[������ ������&��L��' �K� �� *�� �R� *���'��������! D� �* �������K* *� ���* ����&��� ��� L�� �N��R������ ��� �� �K� ���[����! )N���� I)J ������ *� ���*� �.I@! ����� ���� ��� ����' ��������L����� ������ I)J ��&��� � ���K�� O �� ������� �� ��������� � *��' �R�* ��*����� �� �� ��L� ��� ��� � &� �L� �����' L��� ��� ��� � ����������� � Z��*������� �., �� �����R��! @��*� ���� &��L� ��O�� ���LP�� � ��' ��� ��� � ��*����� �� � ��&�� ����! �� ��� L �NK ����� O ��� ��� O �������� ��� ��� ����� ���� ��� ����' ��������L������ ������' � ��� K� ��� � �L�� ����L� � O ���[��O ��&*�[�' �� ��*����� � � ����* � �* R� ����L�� ��* �K��' ��� �� ��� � �� *� ������ �&��R����� � X��Y! a � ���[��O� �N����L����[� ��N��*�� ���������� ������������ ������� � � �K��R����* + , g$-.∆-+$/.∆-+� $�+ D��L���� ∆- ��� �������� L � P����� ��������' ��� ����� P����� &�&��� *�R�� ��*�� �*�� �����' �L����� &�����*�� O ���� X��Y ∆-gX$0 � m0 � 1m0 � 1 h +Q$�2+Y�/ # 34 � 52� $�+ �� ����[��� �KL������� ����R�*4 1g1 h g�"] 5g�]�2g���a � ���L�� ��� �� � ��� ��� � � ���* ����� *� ��**� ����� �� �� ���� ����� � ��*��' ��� K � �" �K����*�� ���L�* �K���K �������R��K �� ���* L� K��* � �����* ��*����� � � ��� ��� &�' ���� �����K! bL� K�� ���������K� ����[��� � � ��R� �� L �� �������� X��Y� 0 � gT�U]�0 � g��"�]�0 � g������Z��*��� $�+ ����N��&�� � � ���� ∆-g�� / # � $�+ .���N��&��* �K��R���� $�+4 + , g-/m∆-$-m/+m∆-�g+m∆_ � m∆_ � g_m∆_� $"+ A����O&� �K��R���� $�+ �������* ���L� ����*� ' ��� $"+� � ��&��O � K ���L� � �����* � �������! B �N�! � ��������� ��R� ��������� ���[���� ��&*�[��� �� ��� � ��&��L�K� ���� �������� ��*����� ��� �����' ����K� � XT� h! VY! D���O #B M �Nn�*�K� �K���K� *��! M *���Z����� � \iii M ����*�L����� *���' ������� _op M ���� *�����K� *���'������! @�� ������ �& �N���K� ��� ��� O �������� ���*' ������ ��� K � J@ *�R� NK O ���KP��� � �M�� ��& �� ��������� � *�� �R�* *���'�������� �� ��L� ' ��� ��� �! (� ��*�* ���� � � ����*�[�� �� �[� �KP�! ���� � �*� L � Z��*��� $�+ NK�� ����L��� ��� ��' ���������� ��L� �K� ��� � � �� � � �� �L����� ���Z' Z����� K $�� ������� *���� ���� ��K�+ ���� *�� &�' ��� � ���*� �� ��������K� � ���� ��! B ��L� ��� ��� � �� ��� �&'&� ����&�K� � ���� �� ��� ���� ��q �� ��������� � X��Y! B ���*������ R� ��� � ���*� � ��������K� � ���� ��� � ��R� ���� � �� *�R�� ��*�� N��� &��L� ��O�� *��OP�� L�* � ��L� ��� ��� �! )��' ���� ��O��� � &��L��� � � �� �L����� ���ZZ�����' �� �� ���*������ ��� K N��� ��R�! @�� ������ �& Z��*��K $�+� ����*�[�� �� ����' �����L��� ��������� � ��� ��� � �������� ��&���' �� ��� �����L���� L���� �K����� ��*����� ��! B ���L�� �� ������ *���'�������� �� ���*������ ���' � �K���KP � ��� ��� � �������� �� � ��O &��L� ��O' �K�! ��* �� *���� �� ��� ��� � ��U�M��U� ��&�! /[� ����* ����*�� �* � ���O&� ���������L��� ��������� �� � � �� L � ��� �N����L���� �K��' ����� � P����� ��*����� �] �����L���� ��N��*��� ��&*��� ��� K � ���� ��O�� ��&*��� ��*����� �! ��� -'�/ M ∆- M ��� +g-/�6 ∆_g∆_ � m∆_ � M ∆_ � g∆-$-./+�M ∆_ � g∆-� M ���[��O ��*����� �] �N[�� �����[���� ���[��� ��� K � ���� ��O�� ���[��� ��*����� �] �����[���� ���[��� ��� K ������� ��� ���] �����[���� ���[��� ��� K � ����� ��� ���! �� , �� ���� l, �� b, �� S, ��2 b , �� ∆l, �� ∆S1, �� 2 ∆S2, �� 2 ∆S, ��2 ∆Sk, �� 2 -����������,�������', .����-! 6,57 5,65 37,12 6,11 6,36 43,48 1 .�"���) 1, 2) 8,57 5,85 50,13 7,21 7,46 57,59 1,32 0,01 0,5 11,18 0,25 11,43 136,4 3,14 LCCC 11,18 11,18 125 0,1 5 111,8 25 114,3 239,3 5,5 SOP 15,4 10,24 157,7 02 10 256,4 100 356,4 514,1 11,8 ��N���� � ��� 0 � ��0 � ��0 � ��4 �� 6 � M � � �� �L����� ���ZZ����� K] L���� �K����� ��*����� �] ������� L���� �K������ ������ ��**� �K����� ���� ��*��' ��� ��� ��&*�[���K� �� ��� �� �������� �� L���� ��*��' ��� ��] L���� ��**� ������K� �����] P����� ���������� � **] ���� � ��� *�R�� ��� �������R�K*� ��� �� �K*� ���' [����*� &����*�� � ��*����� � $� � ����*� � �����O&�' � � �� ��*����� ��� � �� ��K� �K���K �K��� �� ��� ��� �������R�K� � ����K+! 1 h M 2�M / # �M 5�M ��������� � ���� ���������� � ���� ������ ������ ���� ����� � � ��������� �� ����� ��� ��������N���R���� � �������L����� N�&����' ��� O! ��� � �L�� ���&� O� L � ��� �������� ��L� ' �K� ��� � � ���K ����� �� V�� � *��� � � *� �����' ���� �� � � ���* ��� ��� �������� ���������L' �K� ��� � � ����&� ��O �� ����KP�� �Q*� X��Y! @ �*� R� ��� �������� *��� �N��&�� � �����K� ��' [�� ��! J��OP� L�� O ��� ����� �� ������� *���� �� �[��� �����K*� �� ����R��[�� ����K� �N��' �K��� � �*�� � �� � �L�K*� ����*�! .�� �*� ��� �N��������� �����*�L����� �������N��&��� � ���' �&���� �� ��L� �K� ��� ���N����*� �L� K�� O &�' �� K �� � ��� ��O� �� �L�� �K� �����R���� � ��' ����N� �� ���O����L����� � ����! @��*� ���� � �� &� � �� �[����* �������K� �������� ���K �� *��O ��' �&N�R�� N��� ��&��� � O $���� ����L�*� � �������' L����� ��N����� � ����&���� �� * ��L� �K� ��� +! # ���� ������ �R��� O &��L� ��O���� ���KP��� ��N�� ��*�� � ����&���� �� ��L� �K� ��� ! ������ (��N��OP�� �� �������� *����*��O�K� ����' � ��� � ��&��� ��N�� ��*�� O �&�� ������ *��' ������ ������ ������ ��K *�R�� ����L� O �� �* ���*����� *�����N���� � �����R��� �& ���*�� ! �� ��[�� ������� �*��OP��� ���[��� �������' ��L�K� ��&�� ���� ������ �����O&��� O ��&�� ��' �K� *� �����K � ρg�!!!�� �#*Q ! B*�� � � �* �*��O' P���� ���* ����� ������� �������L����� ��&*�' ��� ��&�� ���� �� �� *�* � *���� ��&��� � �����O' &��� O � ��L�� �� ��&�� ������ *� ������ ����&���' �K� ������� ���*� � ����L���� ρg���!!!��� #*Q ! .�� � �* ���[��O ��&�� ��� ��&��� �� ��&��L� ��O' ��� � ��N�� ��*�� O �&�� ������ *�����N���� *�' R� NK O ��[�� ����� ���R���! @��*� ���� ���*�' ����� ���*� ��&��� � �&�� ������ O �., �� ���*' ����K� �����R���! (� ���*����K� ��� ���������K� ��� K ��&*�R' �� �� ������ ��� N���������K� ���� ������ �� � ��*����� �� � *���'��������� ������&��L���K� �� ��������� ���� *�� �R�! @�� ������ �& ��������' ���� �����&�� ���[��O ���*������ ��� K *�R� NK O � M�� ��& *��OP� ��L� ��� ��� K� L � &��L� ��O�� �����[�� ��&�K� � ��N�� ��*�� � �� �&�� ������ ! @��*� ���� � � ���� �� ��� ������ � �* �� � � *���*�&��� *������N��� �K� ����� ���� ��� ���' �*�[�� �� ���*������ ��� K � N���������K*� ���' � ����*� N�������K! A).#FrD#B-((C/ A)�#G(A@A �! I�������� ����� ������ ��� �� N���������K� �� �����O' �K� *�������*�� Q A! (! B�R����� W! -! J������ F! -! @������ � ��!M I!4 ,���� � �� &O� �TV�! �! W��O��� W! E!� J����� W! -!� W�&���� -! -! I�� �R *����' ���� ������ ������ ��K!M I!4 ,���� � �� &O� �TV ! �! F��*���! I�������� ��O�K� *����� M �K�����ZZ�� ��' ��� ����� �� �N���� ���K� ��������� )JA) QQ a��� ������!M �TVT!M � !M )! ��M��! "! b�N�� )! I�������� ��O�K� *����� M ������� ����� ������' ����� � �N��� � )JA) QQ a��� ������!M �TVT!M � U!M )! �MU�! �! ����P���L @!� ����P���L B!� ����� B! I�������� ��O�K� *�����4 ���� ����� � �������� � ������� ��� QQ W����K� ��R�' ���4 ���������� ���*KP����K* ����&���� ��*!M ���"!M � �!M )! �"M�7. ! )����� B! W! I� �*� �L����� *����� ����� ������ ��' �������L���� ��&�� ��� � ��&*���*� �� *�* QQ ��������� � ���� ���������� � ��������� ������ ������ ���!M ���"!M � �!M )! �"M� ! U! )����� B! W! ,��L� � ����������� �������� ��R�*� ��' �������L��� *�����N���� QQ B�� ��� IBB#! )��!4 BK����� ��' ������� � ��������� ������� ��Z��*� ��� � �� &�! $(!'(����' ���!+M ����!M BK�! �!M )! ��M�T! V! )����� B! W! #����� ��� �� ����� ������ ���� ����� �� �����P��� O ���������L���� ��&�� ��� QQ ��* R�!M )! ��M�"! T! I����� G!'W!� I�������� )! ��������� ��������� ���� *�� �R�! J���[�� ��������� �N���� � ���� ������!M I!4 I��� �TT�! ��! /��&���� J! -!� I����*�� -! B!� S���� B! A!� S�� �� s! (! #����� ���� ��*�� �R�K� ����*� ��� ��**� ������K� ��� �� ������ � ���� ����� ������� ,a) QQ ��������� � ���� �������' ��� � ��������� ������ ������ ���!M ���"!M � �!M )! �M ! ��! )��N���� I! �!� .��O*���� -! B!� W���� J! -! .��N��*K ��������N���R��� � �������L����� N�&������� � � ���O����' ��������� QQ ��* R�!M )! " M��! � ��������� � � � � �� � � � � � ��������� �� �� ��� ���������������������������� � ��������������� �������� ��� ������������ ���� ����� ���������� �� ������� �� ��������� �������������� �� � ������ �� �� ��� ���������� � � � ���� � ����� ������ � � ��!� �� �� ��� ��� � � � "�# ��� ���� �� ������� ����� ������� �������� ��������� ������ ��� �� � ������� ��� ��� ����� �$ ����������� � ���� � ��� %� ���� �� ��� � � � � � �� ��&����� �������� � ������ �� �����%����� ����&'��������(����� ����� �� ��� $ � � ��� �������� ���$ �����&���� ���� � %� ������� � ��� ��� ������ ������������ ��$ ���� � � �� �� ���� � �"�!��)��&��� � ������������� �� ����(��������� �(� ���������� �������� �� ���� &�� � ����� �� ��%�� ���� �������� � $ ����%������ ����� ��� �� ���(�� ��� ��� � � ��� � �� ��� '��� �������� ��� ��������� ��� � � �� � ����� ���� � �������#�*+������ ������� �� � � ��$ ���� ��&"