Плазмохимическое травление эпитаксиальных структур нитрида галлия
Описаны особенности технологии травления сложных наноструктур, содержащих эпитаксиальные слои нитрида галлия, нанесенные на подложки из сапфира. Изготовлены высокотемпературные датчики Холла....
Saved in:
| Published in: | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
|---|---|
| Date: | 2005 |
| ISSN: | 2225-5818 |
| Main Authors: | , , , , , |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Published: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2005
|
| Subjects: | |
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/53683 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Плазмохимическое травление эпитаксиальных структур нитрида галлия / А.Г. Борисенко, Б.П. Полозов, О.А. Федорович, Н.С. Болтовец, В.Н. Иванов, Ю.Н. Свешников // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2005. — № 6. — С. 42-46. — Бібліогр.: 10 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1862680557551353856 |
|---|---|
| author | Борисенко, А.Г. Полозов, Б.П. Федорович, О.А. Болтовец, Н.С. Иванов, В.Н. Свешников, Ю.Н. |
| author_facet | Борисенко, А.Г. Полозов, Б.П. Федорович, О.А. Болтовец, Н.С. Иванов, В.Н. Свешников, Ю.Н. |
| citation_txt | Плазмохимическое травление эпитаксиальных структур нитрида галлия / А.Г. Борисенко, Б.П. Полозов, О.А. Федорович, Н.С. Болтовец, В.Н. Иванов, Ю.Н. Свешников // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2005. — № 6. — С. 42-46. — Бібліогр.: 10 назв. — рос. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| description | Описаны особенности технологии травления сложных наноструктур, содержащих эпитаксиальные слои нитрида галлия, нанесенные на подложки из сапфира. Изготовлены высокотемпературные датчики Холла.
|
| first_indexed | 2025-12-07T15:46:58Z |
| format | Article |
| fulltext | |
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-53683 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 2225-5818 |
| language | Russian |
| last_indexed | 2025-12-07T15:46:58Z |
| publishDate | 2005 |
| publisher | Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Борисенко, А.Г. Полозов, Б.П. Федорович, О.А. Болтовец, Н.С. Иванов, В.Н. Свешников, Ю.Н. 2014-01-25T21:21:15Z 2014-01-25T21:21:15Z 2005 Плазмохимическое травление эпитаксиальных структур нитрида галлия / А.Г. Борисенко, Б.П. Полозов, О.А. Федорович, Н.С. Болтовец, В.Н. Иванов, Ю.Н. Свешников // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2005. — № 6. — С. 42-46. — Бібліогр.: 10 назв. — рос. 2225-5818 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/53683 Описаны особенности технологии травления сложных наноструктур, содержащих эпитаксиальные слои нитрида галлия, нанесенные на подложки из сапфира. Изготовлены высокотемпературные датчики Холла. ru Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України Технология и конструирование в электронной аппаратуре Технологические процессы и оборудование Плазмохимическое травление эпитаксиальных структур нитрида галлия Плазмохімічне травлення епітаксійних структур нітріда галію Plasmochemical etching of epitaxial nitride gallium structures Article published earlier |
| spellingShingle | Плазмохимическое травление эпитаксиальных структур нитрида галлия Борисенко, А.Г. Полозов, Б.П. Федорович, О.А. Болтовец, Н.С. Иванов, В.Н. Свешников, Ю.Н. Технологические процессы и оборудование |
| title | Плазмохимическое травление эпитаксиальных структур нитрида галлия |
| title_alt | Плазмохімічне травлення епітаксійних структур нітріда галію Plasmochemical etching of epitaxial nitride gallium structures |
| title_full | Плазмохимическое травление эпитаксиальных структур нитрида галлия |
| title_fullStr | Плазмохимическое травление эпитаксиальных структур нитрида галлия |
| title_full_unstemmed | Плазмохимическое травление эпитаксиальных структур нитрида галлия |
| title_short | Плазмохимическое травление эпитаксиальных структур нитрида галлия |
| title_sort | плазмохимическое травление эпитаксиальных структур нитрида галлия |
| topic | Технологические процессы и оборудование |
| topic_facet | Технологические процессы и оборудование |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/53683 |
| work_keys_str_mv | AT borisenkoag plazmohimičeskoetravlenieépitaksialʹnyhstrukturnitridagalliâ AT polozovbp plazmohimičeskoetravlenieépitaksialʹnyhstrukturnitridagalliâ AT fedorovičoa plazmohimičeskoetravlenieépitaksialʹnyhstrukturnitridagalliâ AT boltovecns plazmohimičeskoetravlenieépitaksialʹnyhstrukturnitridagalliâ AT ivanovvn plazmohimičeskoetravlenieépitaksialʹnyhstrukturnitridagalliâ AT svešnikovûn plazmohimičeskoetravlenieépitaksialʹnyhstrukturnitridagalliâ AT borisenkoag plazmohímíčnetravlennâepítaksíinihstrukturnítrídagalíû AT polozovbp plazmohímíčnetravlennâepítaksíinihstrukturnítrídagalíû AT fedorovičoa plazmohímíčnetravlennâepítaksíinihstrukturnítrídagalíû AT boltovecns plazmohímíčnetravlennâepítaksíinihstrukturnítrídagalíû AT ivanovvn plazmohímíčnetravlennâepítaksíinihstrukturnítrídagalíû AT svešnikovûn plazmohímíčnetravlennâepítaksíinihstrukturnítrídagalíû AT borisenkoag plasmochemicaletchingofepitaxialnitridegalliumstructures AT polozovbp plasmochemicaletchingofepitaxialnitridegalliumstructures AT fedorovičoa plasmochemicaletchingofepitaxialnitridegalliumstructures AT boltovecns plasmochemicaletchingofepitaxialnitridegalliumstructures AT ivanovvn plasmochemicaletchingofepitaxialnitridegalliumstructures AT svešnikovûn plasmochemicaletchingofepitaxialnitridegalliumstructures |