Плазмохимическое травление эпитаксиальных структур нитрида галлия
Описаны особенности технологии травления сложных наноструктур, содержащих эпитаксиальные слои нитрида галлия, нанесенные на подложки из сапфира. Изготовлены высокотемпературные датчики Холла....
Збережено в:
| Опубліковано в: : | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
|---|---|
| Дата: | 2005 |
| Автори: | , , , , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Російська |
| Опубліковано: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2005
|
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/53683 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Плазмохимическое травление эпитаксиальных структур нитрида галлия / А.Г. Борисенко, Б.П. Полозов, О.А. Федорович, Н.С. Болтовец, В.Н. Иванов, Ю.Н. Свешников // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2005. — № 6. — С. 42-46. — Бібліогр.: 10 назв. — рос. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1859863299315728384 |
|---|---|
| author | Борисенко, А.Г. Полозов, Б.П. Федорович, О.А. Болтовец, Н.С. Иванов, В.Н. Свешников, Ю.Н. |
| author_facet | Борисенко, А.Г. Полозов, Б.П. Федорович, О.А. Болтовец, Н.С. Иванов, В.Н. Свешников, Ю.Н. |
| citation_txt | Плазмохимическое травление эпитаксиальных структур нитрида галлия / А.Г. Борисенко, Б.П. Полозов, О.А. Федорович, Н.С. Болтовец, В.Н. Иванов, Ю.Н. Свешников // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2005. — № 6. — С. 42-46. — Бібліогр.: 10 назв. — рос. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| description | Описаны особенности технологии травления сложных наноструктур, содержащих эпитаксиальные слои нитрида галлия, нанесенные на подложки из сапфира. Изготовлены высокотемпературные датчики Холла.
|
| first_indexed | 2025-12-07T15:46:58Z |
| format | Article |
| fulltext |
c�
��������� �
����
����
����������������
���������
�
����
����������
�
����
������
������
����
�����
�
�
��U��
�����
������������
��
��������
�
�,��.
N���
����U
���
N
�����������
�Y���
��
����N����
���
�����
�
������
$N1nW�ogOO)
�Y���
U
��������.
����
���
�,��N���
�
������
����M
��o�gO�O"
%�.
�����O�����
U
������������
��
��������
�
��
�.
N������
�,��N���
��
�M����
���������
���
��� ��
��
Y����
��u"
%�Y� ���O�
�
�������
,���
������ .
��
������
�Yx �� �
�
�ZZ��
�O
O������N����
��.
��Z�������
�
����������
�
���
���"
A�
���
U
��.
��Z�����������
���
��M
�Y���������
���
���
�
�N.
�MO
��N��
��O
��
�N�����
�Y��Y�
��
Y����M�
��.
�������
��
����������
��
�
�M�����
����������
U
�
���
��M
����N���M�
�Y��,���"
yyy
%�
������
��������M�
����������
YM��
�,��
��.
���M
��,��
��
���
�
O�
�����
������N�
W�×W��
����.
��,��N���M�
��
������������
O�a���
�
�
�������.
��.��
�N�����
���
�O��
��Z��O���������
�YO���"
?
���
���
��,��
��
��
�Y��,��
�
��
�O
���������
�����������
���������
�
�����MO�
�N��
��O�
���.
P���M�
�
� �
��
�N�����
�������
�
���O�
��O
����.
�����M
W��gO�O
�
N�������
����
����
����"
&,O�������
,��N����
�����OM�
��
��U
�,��
�����.
����
�Y��,��
��,��
��
��
���
�����
��
Y����
�g�w
���
�������O�����
�
������������
��
�N�����
O�a��.
�
�
zW��g�w�
N
�
���
��
�
���
��Y����� O�
����x �.
� �OMO
�
��,��
��
�� O
�����O���MO�
���������.
��
�N����O�
���
�O�O�
������N�
��Z��O����"
&?B#C{E#@D%%LH
&?�#A%&(&
W"
I�
�������
@"
�"�
(� N���
%"
�"�
K������
F"
K"
F������.
� ��M�
��,��
��
���
��
������
�����M�
�
���
��
�,
�
����
��
���������.��
�N�����
��Z��O������M�
���
�O
mm
?��
�OM
�
����.
�
��
�� ,��
���������
�
�������a��� "l
����"l
�gWh�"l
?"
�ol!�"
�"g(� N���
%"
�"�
k��U ���
D"
@"�
w�� ���
@"
+"
�
��"
+��O�.
�������
��
�N�����
�����������
�
���
��M�
��� N� a��
�Y.
���
U
�,
������O��,�
����
O�
������
m
%���
���������
�
Z�.
���M�
����
���M"
F�
.�M
|
F�P������"
��O�����"l
}�Q���.
#��3
F��k�J�
����"l
?"
��l��"
�"
~=221<�
̂ "
mm
�"
�442"
̀ 6�5"l
W�o�"l
\72"
�!�
b
�"l
̀ "
cccWl
ccc�"
c"
�0;�6
_"�
�>0;5=
]"�
`0�;=:
\"
=:
02"
`>74=>:1=5
7�
`|[\].
�1�=>5
�1:6
4;>=
T1S�.�7>=3
:6=
1<�2;=<�=
7�
:6=
4>=�7>/
�722045=
4>7�=55
mm
�"
S4:"
[7//;<"l
W�o!"l
\72"
o�
b
c"l
"̀
W�WlW�!"
��
�
���
������
�
�������
��"�!
����
�"
#������
��� �
������7�����
�O�<���P
$wkJ&*�
�"
F����)
��� �
���������
��Q���7<�����Q���������R���
��� �
������������S<������������ �
���������7��Q��T��<��
�����������������������������7�<������
J�������
�"
(����
&�.
����M�
�������������
%&&
�#�����j
*���� �
�"
F������
�f�O�.O�����
�
-./0123
�7>159�1<>"�1=8";0�
1<:=>�=49�1<>"�1=8";0
BCDEF#G&F&AH?(#H
�*D@CH%&H
fB&�D(?&DC{%LG
?�*J(�J*
%&�*&�D
kDCC&K
�.* !�$�) )(���) �*���+�)#),**���!"
#��*-� #)U�$+��!�) ��&��&��� )���U!
V*+�W.*�!� *!#'�$�� #)*��*��*�!�,!#
#*-���!�� ���$���!�.)�#)U�&�*%� !. *
�!���%,)�)"#��$�"$ )�)���.��!�&��$�
�!�/*�*�M)##!�
%�
���
�����
l
����
�,
���M�
������������.
����
�������� a��
�
��Y�
�
���������
���O
���
Y��UQ��
���O����
��
�
����M
���������
����
�
��.
�������"
f
�
�� ,���
�
����N��O
�
����
�� OM�
,���.
,���.����������
Q�����
Y��UQ��
,����a�����
,��M
��
��M�
l
���W
�@
��
�
���
��M
� ���
�
�
���
�@
��
��Y�N�����
�
���
��M
VWX"
w�������
�
��
���.
Y�����
�
���
������U�M�
�
���
��M
��
����
�����
��
�
�������
���MO�
��
���O�����
�
�M��.
��
�O����
�����
��
�����
�������
?@A.O��������.
�������
��,�����
������
V�X"
@
N��
���
��
���
��.
���U,�
�
��
��,��Y�
��
�M�����ZZ��
���M�
��.
,����
�
�����,���O
�,��N���
�
��U
��Z����
����
��
,������
�Y���
��
����
��"
%�
���
�����
�����U,��
�
��P�
��
�,��
����.
��
������
��
�N�����
����O���
�,��N���
��
����.
��O�
Y��,��O
�
�����N��O��
��
��M�
�O�
�
���.
�M�
O�O��
���ZZ�����
����Y��,�����
����
��N�.
����
�������
�
���
����
�,��N����
rc�u
�
�������.
�OMO
(B�
��
��u
V�X"
B����
��� �
��
����
�
��,.
��Y�
��
�M����
�O����
���M�
��
N����
G����
��
�,O������
O����
�M�
������
��
��M�
O���
��Y�
�
U
���
�O����
����
��
���t?"
*�,��Y�
��
�ZZ��
�����
���������
�������
�
�.
��
������
������������������
O�
������
�
����
�
�
N����
��
���U�M�
,���N"
@
���
� a��
��Y�
�
���.
���M
���Y�����
�
���������
�������
���P�M�
�����
���
���
�����P�a��
���
������U�M�
����
��
.
����
����� �
��������M�
��
�����P��
�,
���Z���"
&����������
����������U
���
��,��Y�
��
�M.
����
�O����
���M�
��
N����
G����"
&����U.
,������U
���P�M�
�����
���
���M�
�����
�����P�.
a��
���
������U�M�
����
��
����
����� "
f��
����.
��U�M�
�
���
��M�
��
��M�
�����������U
���,O���.
O�N����O�
������� �
YM��
���������
��U��
������.
�M
��
�����P��
�,
���Z���
�
�����P���
����� a��
��������3
D.�
���
���
��
����
�����
$D.e0b)�
�
���
�� O�����
Y����
�
���
$�1�8)�
,���
�
���
D.�
���
�.
��
��
����
�����
$D.e0b)�
�
���
�� O�����
�
���
���������
�
����
����������
�
����
������
������
����
�����
�
�
��
��������� �
����
����
����������������
����
��
��
� �!���"�� �
�
���
��#
���
��
���
���!
�$#
%�
�
�����
�
���
��
���
�$����
���
&��'(
�
�)����
��
�
$� ��
��
��*��
������%�
*
���
��
�
!
%��*�#�
������
��
�
�+���
*
��
��,��#
-�.�
/
��0�
�
-�.
%�
�������
��
��%�
�����
���$�� !
���*
((1��
223�4�
�
��
�$���
�
���
�$�
���������
���!
����%���
���
��%��+�����$
���� %�
�
$����$��*���
$�,���
*5
�#����)��
�
����
������
���
67����
89+:
;
�
�/
�
8����$��*�#�
������
�
�������
<=>
���
�
�$
���
�����
���
Å?
$���
/
��@�$
���)��
�0��0�
��
�0���+��
�����%����*
�
����$���$�)����$
����
���
6
��:
�
��$���
#$
%���"�$
����
�����
-�.�
A�$�)����
��
����
����!
$�
�0�����#�����*
�
BAC
���
�#����)��
�
��$
���!
� %�
�
)��
�
��
7����
89+
�
����,����$
6��
�
��!
@���5
�
����
��)����$�:
�
������ �$�$
$����
��$
�����
D����*�������
/E!���� %�
�
������)��$
$��!
��
��$
����
�����)����
�
����*
%����+��+��
$���!
���
��0�)��
�����
�
�
����*
������+��
�
�$���
)
�
�����%�
�
�����)���5
���
���
�
����$#
�
��%���!
���
��
���
��
�
������
������
��
�������
�0��0�!
#���$#�
$�
��������
F��0�����
*5
%������
BAC
�� �
�
���$� ���
*
������������
�������
��$�!
)����
��
���#�
�����
�
��
%�
&��
�/
�
��$�,*5
������ �$#�
$����
�#�
�����
6���
����$���#�
%��!
���
����$�
���
���� %�:�
8����
���
����
���%������*
��$
��
�@��$��
/����
�
�� �
��
�@��
�
������������
���
���5!
)��#
�����%���
��*��
�
���"�����
(��%�
��
�@��
���5)���
�
%��*���
�
����)���
�
�����������
���
�
���
$� ��
0#��
�� �
$��
*�
B��
�$�
�
�����%�!
���� �
��$�� ���*
��
��*��
���� �����
*
$����
!
����
��� �
��
�
���
���"�����+�
-&.�
)
�
������ ��
����������
*
������5
�����
�
@������
���%�����
���
�
$�)���
�#@��
G
�
%��
���$� ���
*
�����%�
*
����$���$�)�����
��������
���
������
������ �
�����
0��
��%��+����#�
����� %����
���������
!
�#�
������
�
�� �
����#�����
�0��0�
#���$#�
$�!
��������
B��
�0��0�
��
���
������*�#�
�����
��
��%�
���!
�� �
�#��,���#�
��
���"����#�
��%�� ����
�����!
���
������*��
���0��$�
/�!����#��
��
��%
�����
���
��������
�
��$�)����
��
�����
����$��
�0����5,��!
�
�
����
���
���
/E!���� %�
�
�����
)�
#���������!
���
������%��
$� �
�0�����#��
*
��
���������
�
�0��0�
#���$���
�0���+�
���
���%������
<=21�
�
�$!
����
����
��������
��7��'(�
��
�
<=21�
�
�$����!
����
��������
���'(
-H�
��
���
��.�
I�
�%�����
�
��
���%������
�
���������
�
�0��0�
#���$���
$�
������
�� ��
��,��
����#�
������
��%�� ��
���
��
%��
�
�)��
$�,��
�����
�
�$�� +� �
���0��%�!
$�
%�
���)@���
���+����
%����0+��
���%��
��
����+��
<=>
�
��%�����$��
�
�$�$�
�
����$��
���!
����5,�$�
�
BAC
���
/E!���� %�
�
�����
221��
D�!
���*����
*
%�
�������
<=>
"
����%�� �,��
��!
�%�����
��+������0������
�
��
�0����5,���
��
���������
�
<=4�
�$��
�$����
���
��������
7���'(
-H�
�$
�.�
�
���
����
�#�����
�$����
�!
���
�%������
���%��
��
����+��
�
���������
�
��
!
��%�
�����
0��
����� %���
���������
$����
��!
,����
���;7��
$�$
�
�����
�
���0��$�
�)�#$�
/
��� �
0����
��,��
�����
���0��$�
;
�
�
��!
�0��%�$��
*
��
�
�
���+����
�������
�
������!
���
�
�0���+�
���� �
��*����
����
��)������
��� !
%��
��
��#�
����
�
���
����%���5
�����
�����
��
���������
*�
)
�
�����%�
�
������,���5
���+����
������� �
I�
��
�
���������
����
��� %�
���$�� ���*
���+���*��
���$�
�%�����$������
��%��5)���
�
BAC
%���
�#����)��
�
�#�
������
����
;
�������!
��
�
)��
�
��
7����
89+
�
%������
��*����
�
)��
�!
��
���
�9+�
B���#�
������
��
���%����
��$�)����
��
����5
����$��
���
� ,�5
��
������
����
�����
�
��%�������
/
����
������
��
�
)��
�
��
���
�9+
��!
���� �
���$�
*
��� %
�
���������
�
��
��%�
����� �
/�� ���
�%����
������
���
��
%�����
�
���+����
��!
�$��
���
��0�
#
���%����*
�
$���$�$�
���+���*!
�#$�
�����0�
���#$�
�
����
������#$�
"��*
��$��
D����%�����
��
�������5
��� �#�
���
��!
����*�#�
�����
�����%����*
�
��
�
���
6�$�
�������:�
B���#�
�
��
�
0#�
���� ,��
�����%���!
�� $
���$� ���
�
�������
��
��%�
�����
�
�
��!
0�
��
����$��$��
���������
���
������� �
/
����
�
��
�
0#�
���������
��
�����0�
��
���������
��!
��)���
����
#�
�
���
���
��%�� �,��
��
��%
���!
�� �
�
���$������$
$����
��
���������
������
��!
,����
≈���
$�$�
D�
������+�
��
��
�
��
�
;
�����!
%������
���$� ���
�
�������
��� �#�
���
����!
��*�#�
�����
���
���
��%�� �,��
��
��%
����� �
J� %#�
��
�
��
�
����
�����%������
��0����
����!
%�����#�
��$������
�
��������)�����
+���)���
�
��
�����%����*
��@�
*
�����@����
����#�
��%�)�
�
��!
��
*
%�����
��������)�����
�����
/
��)��
��
��0�)��
�����
���
��������
�����*!
�������*
)�
#���������
#�
������%�
�
�� �
���
�$���
�
�������%�$
���
�
������$
�
����#�
���
��!
@��� ��
I�������
��0�)���
����
�
����
���
���*���!
�����*
�
���%����
67���&:K7�L�
$$
�
�
�
�
C����%#
��!
���
��$�� ���*
���
��$�,�
%���
�%���
�#�
���!
��%�$����
�
�%������#$�
����$�
��$��
C�����
*
�#��
�������
�����$����
$����
�
�����%�$����
��$�� ���*
�
$$�
�
�
��@����
�#��
�
��
��$$�
%��
���+��
���
�
��@����
��
���
�����
�
BAC�
G�����
�����
�������������*
�
��$�,*5
�����!
� �$#�
$����
�#�
�����
�
H�
%�
���
�/�
8�,���
*
���������
������
���
����
67����
89+:
�
%���
���!
�#�
���� �
�����%������
��
����#@���
7
�/
���
��$$����$
���
�����
�
���� %�
H
M
�
���
�%���
���%�!
���$�$
%������
��*�#$
������
���$
6���
�9+:�
��
0����
���
M�
B��
������
������ �
�����
6H�
�/:
�
���� %�
�
((1�
���+���
�������
<=>
�����%�
�)��*
$�%�����
�
���������
*
�0���+�
���
�
�$
�
�����
!
�
)�����
6���� �������:
6
�0���
�:�
/�%�$��
�
�
�� !
����
�
��� %����$
������%�
���
����$���#�
������
��
�0��0�
#���$��
���������
��
��
$���!����
�����$$���
����)���#�
�
���+��!
��
�������
6�$�
����� !:�
��0�5%�5
�
����
(21N��
221�
N�
221N�
(1N�
(N
�
%������
G
��
�
�%���
�
����#�
���%�
��*�
���
�
�#�����
�""��
�����
�
��0�
#
BAC
���
%����+��+��
����%����
��0�)���
�����
�
�
%�����
;
�����#���
����)��
�
�$��
������%��
��!
��#�
$���
���0�����
*�
��
���������
�
�0��0�!
#���$#�
�
���
���
B��
���@�"�����
$���!����
!
��
��������� �
����
����
����������������
���������
�
����
����������
�
����
������
������
����
�����
�
�
���
���%��
�)�
#��
*�
)
�
����
�$��
%��
��
��)�!
�#�
���
���
;
����
�
$�����
��
6&���O:
�
����
�
$�����
�&
6����O:
-P.�
B��
�$�
��
$���!����
���
��0�5%�5
�
�%������#�
���%�����
�
����#$�
$��!
��$��
�����$���
(21�
�
$����$�
77&�
77P
�
7�7�
2F21�
�
$����$�
PH�
7��
�
7���
221�
;
H��
H�
�
H��
21�
;
&��
&�
�
&��
21
;
���
�&�
�21
;
���
�H
�
�
%�
I�
��
������
�� ���
��*�#�
�0���������
6��!
��$���#�
������:�
�0����5,���
��
���������
�
�0!
���+�
�����
���+����
�������
<=>�
�����*������
���� %
�
�������%�
�
�)����
�;7�
$��
���
������!
�
�����
�������%�
≈7��
�/�
/
�����*
�
�
����
�0!
��0�
��
���������
*
�0���+��
�
��������*
)��
��
6
�0���
�:Q
�
���������
�
�%�� ���*
�� �
���
��%�!
���#
�
�����
��
��#�
$����
�����0�
����
*
�����!
@���5
�0���+��
���
����%����
��
���
�����
���
%��*!
���@�$
��������
���
��0�
�
�
��$��
I�
���%�
���,���
�0��������
����$���#�
������
��
���������
�
�0���+��
�
���+����
�����!
��
��
��%�
�����
���
���� %�
�
)�
#���������
�$
������%�
�
����
��
%�0��� ��
�������%
�
���
��!
@����
�Q7�
B��%���������*�
)
�
�
�����*
�
�
���*��!
����
��$�)�����
����+��
���%�����
������%�
�
���!
����%�$
(NFR(FN77�77
�/
���
�(NF�R�(FN7&�7
�/
0�%�
�0�����#��
*�
��
�)��
���%������
(F�
�
��!
�������
*�
���$
�0����$�
��
0�%�
���� ��
*� �
6(��!
%��
�)�
#��
*�
)
�
���$������
�
��
�$���
$� �
%���
*
����@��
�����*
�
#
���
��������
��
��%�
�������� �
�
��
���
����
��
CCl4 O2, Ar
��������
�
����
����������
�������� �
�
�
, �
��
��
�
��
�
��
�
!
I "
�
#
��
$
�%
%
&
��
�
!
I��
�,
$
�
�#
�
'
(
��
�
��
�
�)
��
�
'
��
�
�
�
�
'
��
�
��
�
�*
�
�
'
��
�
�
+������,�
������*
��'�
-
��
.��
������
�
1 130 — 0,065 800 2,0 6,0 150 15 … ��"��������
1 130 — 0,067 900 2,4 6,5 220 30 … ���#��'���'�
����
2 130 — 0,067 800 2,0 6,0 150 55 … ��"��������
2 80 50 (O2) 0,067 800 2,0 6,0 150 7+3 … ��
������,�����/2
3 50 15 (O2) 0,040 900 3,0 7,0 100 20 … .����0����,�
� �'
����
3 — 90 (O2) 0,035 900 3,2 8,0 150 5 … .����0����,����������,
3 50 15 (O2) 0,040 900 3,0 8,0 150 20 … .����0����,�
� �'
����
3 — 50 (O2) 0,040 900 3,0 8,0 150 10 … .����0����,����������,
3 50 15 (O2) 0,040 900 3,2 8,0 150 30 … .����0����,�
� �'
����
3 — 100 (O2) 0,030 800 3,6 7,5 200 22 … /���������
����
3 — 100 (O2) 0,035 800 3,6 7,5 200 10 … .����0����,����������,
4 50 15 (O2) 0,040 900 3,0 7,0 100 32 … .����0����,�
� �'
����
4 — 90 (O2) 0,040 900 3,0 8,0 150 10 … .����0����,����������,
4 60 20 (O2) 0,042 900 2,8 7,0 150 20 … ��"��������
4 60 20 (O2) 0,042 900 2,8 7,0 150 5 … .�������"��#�"��(��
�
5 100 — 0,010 1000 2,0 6,5 200 30 ...
.�"�
�������#�
���!1�
��������'����
5 100 — 0,067 1000 2,6 6,0 300 30 ≈400
�1� �2�������������'�
∆3��4�
�
5 125 — 0,042 1000 4,4 8,5 140 30 ... �1�#�'�����,����)���
6 130 — 0,070 1000 4,4 9,0 80÷130 40 ... �1�#���������������������'
6 130 — 0,060 1000 4,2 8,5 80÷220 30 ... �1�#�������#�����#����5
7 130 %&��$r) 0,067 900 3,8 7,0 400 20 ... �1����,�Ni����#�����'
8 130 �&��$r) 0,048 900 4,5 8,0 250 20 ≈400 �1�∆3��4�
�
9 130 �&��$r) 0,067 900 4,4 8,0 250 30 ≈670
6�#��'���"����1�#����0����,�
�����'��Ni ���� ∆34�
�
�
10 100 �&��$r) 0,067 1000 3,8 7,5 260 40 500
�1�#����0����,������',
∆3&�47�
�
11 120 4&��$r) 0,080 ... ... 12 250 20 125 M: ∆ = 0,75
�
�
12 70 4&��$r) 0,090 ... ... 12 240 30 250 �1 ∆= 0,75
�
13 70 4&��$r) 0,075 ... ... 11 260 30 250 ���"���&8+��∆3&�7��
�
14 70 4&��$r) 0,055 ... ... 12 240—260 70 ... ���"��7&8+����'��'�Ni
15 70 4&��$r) 0,075 ... ... 10 200 30 ... ���"� ��8+����'��'�Ni
16 70 4&��$r) 0,042
0,090
...
...
4,5
3,2
10
…
190
…
25
+
10
700
540
���"��7&8+��Ni������∆3����
�
���"� 50°+��∆3����
�
�
Ni����#�����'�#������,9
Å
����
��
�������� ��
������ ��� �����
����� ���������
������
�������������� ����
��������!"#$�����
����������
������!"#$������
��������%���������&�
��������!"#
���������
�
����
����������
�
����
������
������
����
�����
�
�
��
��������� �
����
����
����������������
����� �
��
���
��������
�
����
��5$���
����
�$
0�����
���"���
6α!M1�F�:
%�0����
�������%�
$� �
������
*5
0��������
*
���+���
������� �:
B�����!
���
*�
����)����
�����
������� �
%���
��
��*��
������*��
���)@����*
6
�0���
�:�
��
%�
�#0���
��!
�$��*����
�� �$�
��0��
�
%��*���@�
�
��0�
��
����������
/$��
�
�
�$
���
��0�
�
BAC
��
�$���
�����
221�
NF�
��
$���!����
���
��0�5%��
�
2F21�
6"�����:�
��
��#�
�� �
�
�)��*
����)�#$
�
���%�#$
%�
�0��� ���5,���
����������
B��
�$�
%�
���)@�!
��
�������)���
�
���������
�
�����)���
0������!
���
�
��0�
#
��
BAC
0#��
�
��0�
���
��������
�������
���
������*�#�
�����
��
��%�
�����
0��
%�0����
�������%��
(
+��*5
�����)���
������
�
�$�� +��
������!
���
�
�0���+�
�
��$���
BAC
%�0��� ��
�����
�
��!
��)��
��
%�
��O
�
�0S�$�
���������
��0�)���
�����
)
�
�� �
�����%���
�
�$��*@���5
����$�����
����!
��
��
���������
�
�0���+���
T����)����
�������
�����
%�
���
�/
�����%���
�
�����$�
�����@���5
6����#����5:
���������
$��!
��
� �
���
�������+� ��
��
����#@�5,��
��
$��
6
�0���
�:�
F�
�$��*�#$�
��������*
�� �$#
�0��!
0�
��
���
������*�#�
�
���
��
���
������ �
�����
���;���
�/�
���
��
��#�
�,�
��
�������%���
��!
,��
�������
����#����
$����
��
����� �
��
%��
�!
�)��
�""��
����
�������%���
��������
�
���
���
��%�� �,��
��
��%
����� �
��������#�
��
���"���!
��5
��%�� ���
J��
� �
�
$�)����*
�#@��
�$����
���
������!
��
���$� �#�
���%��
��
����+��
<=>
�
�����$
�
���������
�
�0���+�
���
��� �
%��
�
�)��
0��*!
@��
����)��#
6���;���'(:�
���
�$�
��� %�
�
��!
��$���#$�
������$�
��
���������
�
�0���+�
$�!
��
�
����
���
����%�
*�
�
���%��
#
����+��
�����
�
��
��%�$
�����
6<=21�
�
<=21�:�
I�
�
�$�� +��
��
%����0+��
�
�0��0�
#���$��
���������
�
���!
����%���
��%�����
��%#�
�����*���$��
%�
���� !
%���
����
����
����$
�0����$�
���
$�,���
�
���������
����!
��
���
7
�/
�
��$$����$
���
�
���� %�
H
M�
���
%������
��*����
������
���
��H
M�
%�������
��0�!
)���
����
�
��$���
&K7�L�
$$
�
�
�
�
���
���
��@�!
���
((1�QM�
7�Q7
�
�$����
���
���� %�5,��
��%#
N��'(
������
*
�������
��
��%�
�����
���
��!
� ��
���
Å?$���
�
���
��%������
��%�� ��
6
�$��!
��
���
���� %�5,��
��%#
��'(:
������
*
�����!
��
<=>
������
���
%�
�&�
Å?$��
6
�0���
�:�
B��
�������+��
��
$��
%���#�
�� �$
�� �
�0����)�!
���
���
����������
���"������
��%�� ��
��
���!
0���
%�
���
$�$�
��
����
���0��%�$�
%�
��
����!
��
���$� �#�
��
�
���
<=>�
���%����#�
�
��%!
�� ���
(�� �#�
���
������*�#�
�����
���
��#�
���
�
!
$�)����*
�#@��
��%�� ���
'!�
���
���
��
��%�
���!
�� �
�
���
��5$�����
0���%
�
���
6UVW
(
:�
����
�
���
'!�
���
���
��
��%�
����� �
�
���
��5$�����
�
���
����
�
-�.�
J��
�
$�)����*
�
��0�
�
-7�.�
%�0����
7�O
�������%�
���
��������
��5$���
�
����$�
�����
221�
������
*5
0�������
���+���
BA��
B��
�0��!
0�
��
�
���
��
0#��
���0��%�$�
�� �
��������
���!
"���
��
���0���
���L���
$�$
6α!M1�F�:�
�
����)��
���!
����%�
0�������
��������
�
���
$�
������
��!��
0��*@��
�������
�� ��
�������%�
�
��5$����$
6�;
&
�/:
-P�
��
���.�
B��
�$�
���0��%�$�
0#��
�
��0�
�
*
��������5
�������
��� ���
�
���
��#
�
��0�)��
������
��
��%�� �,��
�������%�
/
�
�
���$
%�
�)��
��
���������
�
�
���)@�!
��
%����0+��
���%��
��
����+��
���0��%�$�
%����!
��
��*��
�����
�
�$�� +�
���������
��
I�
�
���
�����*�������*
%�0����
������
�
����$�
221��
���$�
!
�
��
��
)
�
��
��+���
������+��
������
7��&�
�/�
�
�����
;
7���7
G�
-P�
�$
�.�
%�
����)���
����
������
��0��
�
$��*@�
������ �
�
��
%�
�0����!
����
����
�����
���)���
���0��%�$�
%����+����!
��
*
$�������
221'�
J��$�
����
������
�
�
��)��
�
�������%��
��$�)����
���
�����
�
�����0�
���
��*!
��
�
�$�� +��
���������
�
�
%����0+��
�
���
���!
%��
��
����+���
����$
�0����$�
�%����*
����@��
���
����
*
��� �#�
���
������*�#�
�
���
��#
�
��
��%�$
���!
��
�0,��
��,����
���$����
7
$�$
�
�%���
*
��!
���
�
���"��
��
���
$�$
��
��
$���
B��
�
�$
���%!
�
������
*
�������
���
������*�#�
�
���
��
��!
�
�����
&��
Å?$���
�
���
��������
���"���
���%!
�
������
*
�$��*@����*
%�
���
Å?$��
6
�0��
�:�
I�
�������� Q
���
�
��
�
������ �
������
*
���!
�#����
�����
0#��
���
Å?$���
������
*
�����!
��
������%�
�����
;
����
Å?$���
�
��5$���
;
����
Å?$���
B��
���
)
�
������
��*��
�����
���!
���
*
�������
��� �#�
�
���
��
�� ����
�
�$�
)
�
������
�
�������
�������
���% ,��
�
���5
�
���!
����
���*��
�
��)�5
� �
��
�����$���
������
�
���
��$����
0#�
���
���
�
��
"
����%�� �,��
��!
�%����� ��
B��
�$�
���0��%�$�
%��*���@�
%���0�
!
��
���������
�������
��� �#�
�
���
���
8���!����
�#
���%��
��
%����+��+��
�
���%��
��
��!
$�)�����
����+���
�������% ,��
�
BAC
���
�#����)�!
�
�
��$
���� %�
�
221�NX�
�
��
��
&�
7���
��
��
$�
�
N �
�
�X
N
(
N
2
>
N
2
X
N
>
N �
2
1N
Y
2
1N
2
1N �
2
2
1N �
2
F
2
1N �
2
2
1N �
��
��������� �
����
����
����������������
���������
�
����
����������
�
����
������
������
����
�����
�
�
T����)����
���
���
�
���
�
���� %�
6
�0���
�:
�����%���
�
0����
0#�
��$�
����#����5
���������
$����
6�����$���
���
���
���� %�
7���
M
�
���� !
����
��
��$�,���
���
/:�
B��
�$�
���0��%�$�
��!
0�
�
��
�����)���5
�
�����
�
�������#�
$����
�
���)���5
������$��
�
�
�����
�
$����
�
$�
�%�
��
���#���� �
(��%��
�
$�
�
*�
)
�
�$�5
�
��
�
�����)���
������
�
�������
����
���
������*�#�
�
���
���
G
��
�
�%���
�
����#�
�����)����
���� %����
���
�
����$���$�)����$
����
���
���
����$�����
����!
���
������
�
%�����
;
��%0��
��
�$��*�#�
���
�!
���
������
���$�� �$#�
�
��)��
��
��0�)���
�
��
���!
��%�
�
����
*
��
��*��
��
��%
����� �
��
�
%�����
�������
���% ,��
�
���
��
�����0�
���#�
�#����!
�$����
���#�
���
��
���
�#%�� ���5,���
������!
��
��0�
�
-�.�
�$����
���
&��'(
0��
%����%�+���
��
������
�����%���#�
�����%������
0#��
���!
��0�
��#
�#����
�$����
���#�
%�
)���
A����
%�
��$�����
���� �����
��
$����
�#�
������
�"# $"
����$
�0����$�
�
����$���$�)����$
����
���
�
��$���
#$
%���"�$
����
�����
�����%���
�0��0�
!
��
�0���+��
���
������*�#�
������
��%�� �,��
��
!
��%
����� �
�
��������
���$� ���
*
�������
����
�
���
��
�
������%�� �,��
����$��
C����0�
���
$�!
�%���
��
�
���������
����
��� %�
�
��
��%�
���!
�� �
�����������
��
���"���
B��%�� ���
��������
�������
��� �#�
���!
������*�#�
�����
�
<=>
�
����)��#
������
�
���!
����
����
�����
%�
&��
Å?$���
B��������
)
�
����
����
�
��
��%�$
�����
��,����
7��
$�$
$���
0#
*
���
������#
)����
$����
��
�����
��,����
��H
$�$
�
�������+���
�������
���"������
��%�� ��
��
���0���
%�
���
$�$�
T�
���������
)
�
��������
���
������*�#�
���!
���
��%�� �,��
��
��%
����� �
�� �
�
%��
�
�)��
�""��
���#$
���
������ �
�����
���
�/�
B��
�����!
���
�
����$�
�
������ $�
�����
≥���
�/
�������%�
����#�����
���������
��,�
���
$�����
��$�)��#
��
�
�����)���
������
��
�������
��� �#�
���
����!
��*�#�
�
���
���
��%�� �,��
��
��%
����� �
��
������
�����%���#�
�����%������
�����0�
�!
�#
�#����
�$����
���#�
%�
)���
A����
%�
��$���!
���
���� �����
��
$����
�#�
������
D(BFZ[\F/M��]^
D(�FE�DJD
7�
_`ab=cdefg
h�
i��
hj`k
l�
h��
ifgVcedfVc
l�
m�
l=dfkV=1e
nkonfkdVfe
op
cVdkVqfe
??
3cdfkc=dVoc=1
ro`kc=1
op
YVsj
hnffq
m1ftdkocVte
oc
hbedfae�;
�����;
uo1�
7��
>
7�;
v�
7;7P�
��
I������
/�
���
I���)���
w�
M��
x����
��
M��
J�$����
8�
M�
8�,�#�
�#����
�$����
���#�
��%��+������
�����
(/E!���!
0��#
������
��������
��
@���������#�
��
���������%��
y1<=>?
<=>
??
F0���#
��
����
������
�������
(���
(/E!
�������;
���7�;
/#��
7�
��
Z�+����
^�
/��
\�0�����)
/�
\��
B���������
/�
�
�
%��
D$���*��#�
�����#
Tz!�����
�0���
�
����
��
��
������
��
���!
�
���
��
<=>�
�#��,���#�
��
���$����#�
��%�� ���
?
8�
!�#
$� %�����
���)�
@���#
{z�����
�$���*��#�
���� %��
�
���%��!
��������#�
���%��|�;
��������Q
M
����
�����;
(�
��;�&�
��
Wo1dogfde
l�
h��
3g=cog
u�
>��
yg}efcdbfg
y�
~`�
�d
=1�
YVsj
dfanfk=d`kf
tocd=tde
do
<=>
=cq
hV2
�=efq
oc
UVW
(
c=coedk`}d`kf
1=`fke
?
l=dfkV=1e
h}Vctf
4ok`a�
uo1�
�H�L�H��
Uk=ce�
Uftj
v`�1V}=!
dVoce�
h�Vd�fk1=cq�
�����;
C�
7��7;7����
��
u=eeV1fge}V
��
u��
hV�og
u�
m��
W=�=cVc
y�
r�
fd
=1�
�kbfdtjVcs
op
s=11V`a
cVdkVqf
̀ eVcs
221�4�
221��
=cq
djfVk
aV�d`kfe
�Vdj
>�
=cq
=Vk
?
r`ed�
vjbe�
2ocp��
hfk�
>
7���
2j=ndfk
��;
v=nfk
nkfefcdfq
=d
hV1V}oc
2=k�Vqf
=cq
_f1=dfq
l=dfkV=1e
7PP�
2ocp�;
�bodo�
r=n=c�;
v�
7��&L7����
��
J������
W�
l��
T�
����
/�
/��
z�%�����)
F�
M�
BAC
�
��$���
#$
%���"�$
����
�����
%�
�������%�
��
���$��
��
�
��0$������#$�
���$���$�
?
8�
!�#
�!�
8� %�����
J�#$����
$������������
���"����+��
{J�#8�J�!P�|�;
(����
����*�
J�#$�
T�������;
7PP��;
(�
�H�;�HH�
&�
J������
/�
8��
B����
M�
w��
T�
����
/�
/�
8�%��������!
����#�
����$���$�)�����
����
��
�
��$���
#$
%���"�$
����
!
�����
%�
�������
%�
)����
��������$�����
?
8�
!��
,���)��
�����
���"�
��I
�M�
T�������;
J����;
7PP��;
(�
7&�;7&��
H�
9����������
D�
���
���������
w�
B��
���� )
̂ �
z�
J��
���
������)���
��
��$���;
J���Q
D�%!��
M�
T((C�
7P���
P�
G0��
9�
J��
���
������)���
��
"������;
8�Q
9����%�
"���!$�
�
��
���
��#�
7P���
7��
J������
/�
8��
T�
����
/�
/��
z�%�����)
F�
M��
E�0��
��
D�
B���$���$�)�����
��������
��5$�����#�
������
�
$������#!
$�
�
��0$������#$�
���$���$�
���$��
��
���
������
������ �
�����
??
���%#
T����������
�����$����
�0,��
���;
7PP��;
��
7�;
(�
�&;���
#� % ��&'�'� �'$�!���� #� % ��&'�'� �'$�!���� #� % ��&'�'� �'$�!���� #� % ��&'�'� �'$�!���
�
�
�
�
�
�
�
#� % ��&'�'� �'$�!���� #� % ��&'�'� �'$�!���� #� % ��&'�'� �'$�!���� #� % ��&'�'� �'$�!���
B��0��
{C�����|
%�
���$�)������
�������$��
�
{J��*+�|
��
0��
�
8J(�
6T�������
���
F%�����
J����
C���� �
��
8�����:
F0���
$�������
�#���
��)�
�#�
���
�
6C���� �
��
(�!B�
��0���:
D�
�����*�#�
�����)�#�
����0������
��*
%������
��
������
���$��
�
���%���
��*���
$�$0������
6T�������
���
J����
/����+�:
T�
����
��
%�
���������
@����#$
%����
���$
��
BZD(�
6T�������
��
F%����:
B*�������$�)�����
����
������
�)�����
����0������
���
$�$0�������
����
6T�������
��
I���+�:
8�,�#�
0���������#�
lXh4mU!
������
��#
%�
���������
����
$��
� ��
6�������*�
��
8����:
G���
�������%���
*
������$����
��
�
���
�)�����
�
���
�����
6T�������
��
F%����:
D�"��$�+����#�
���������
)
���
$��������)�#�
��%�����
��$�����!
��
��)�
�#�
�����
�
���
�$��
��
�$�
������������
��
�)������
���
��� �
6T�������
��
F%����:
M�����
$
�������
������
����
��)��
��
����
��$����
���
���$��
�$��
�
CG(
M(T�
6C���� �
��
(�!B�
��0���:
F�
�$���+�
������
��!������$$����
�0����)���
%�
��
�$�
���+��
����!
��"�
�$�
��
(z!���
6T�������
��
E�����+#:
�
�
�
#
�
%
�
�
&
'
�
'
�
�
'
$
�
!
�
�
�#
�
%
�
�
&
'
�
'
�
�
'
$
�
!
�
�
�
|
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-53683 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 2225-5818 |
| language | Russian |
| last_indexed | 2025-12-07T15:46:58Z |
| publishDate | 2005 |
| publisher | Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Борисенко, А.Г. Полозов, Б.П. Федорович, О.А. Болтовец, Н.С. Иванов, В.Н. Свешников, Ю.Н. 2014-01-25T21:21:15Z 2014-01-25T21:21:15Z 2005 Плазмохимическое травление эпитаксиальных структур нитрида галлия / А.Г. Борисенко, Б.П. Полозов, О.А. Федорович, Н.С. Болтовец, В.Н. Иванов, Ю.Н. Свешников // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2005. — № 6. — С. 42-46. — Бібліогр.: 10 назв. — рос. 2225-5818 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/53683 Описаны особенности технологии травления сложных наноструктур, содержащих эпитаксиальные слои нитрида галлия, нанесенные на подложки из сапфира. Изготовлены высокотемпературные датчики Холла. ru Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України Технология и конструирование в электронной аппаратуре Технологические процессы и оборудование Плазмохимическое травление эпитаксиальных структур нитрида галлия Плазмохімічне травлення епітаксійних структур нітріда галію Plasmochemical etching of epitaxial nitride gallium structures Article published earlier |
| spellingShingle | Плазмохимическое травление эпитаксиальных структур нитрида галлия Борисенко, А.Г. Полозов, Б.П. Федорович, О.А. Болтовец, Н.С. Иванов, В.Н. Свешников, Ю.Н. Технологические процессы и оборудование |
| title | Плазмохимическое травление эпитаксиальных структур нитрида галлия |
| title_alt | Плазмохімічне травлення епітаксійних структур нітріда галію Plasmochemical etching of epitaxial nitride gallium structures |
| title_full | Плазмохимическое травление эпитаксиальных структур нитрида галлия |
| title_fullStr | Плазмохимическое травление эпитаксиальных структур нитрида галлия |
| title_full_unstemmed | Плазмохимическое травление эпитаксиальных структур нитрида галлия |
| title_short | Плазмохимическое травление эпитаксиальных структур нитрида галлия |
| title_sort | плазмохимическое травление эпитаксиальных структур нитрида галлия |
| topic | Технологические процессы и оборудование |
| topic_facet | Технологические процессы и оборудование |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/53683 |
| work_keys_str_mv | AT borisenkoag plazmohimičeskoetravlenieépitaksialʹnyhstrukturnitridagalliâ AT polozovbp plazmohimičeskoetravlenieépitaksialʹnyhstrukturnitridagalliâ AT fedorovičoa plazmohimičeskoetravlenieépitaksialʹnyhstrukturnitridagalliâ AT boltovecns plazmohimičeskoetravlenieépitaksialʹnyhstrukturnitridagalliâ AT ivanovvn plazmohimičeskoetravlenieépitaksialʹnyhstrukturnitridagalliâ AT svešnikovûn plazmohimičeskoetravlenieépitaksialʹnyhstrukturnitridagalliâ AT borisenkoag plazmohímíčnetravlennâepítaksíinihstrukturnítrídagalíû AT polozovbp plazmohímíčnetravlennâepítaksíinihstrukturnítrídagalíû AT fedorovičoa plazmohímíčnetravlennâepítaksíinihstrukturnítrídagalíû AT boltovecns plazmohímíčnetravlennâepítaksíinihstrukturnítrídagalíû AT ivanovvn plazmohímíčnetravlennâepítaksíinihstrukturnítrídagalíû AT svešnikovûn plazmohímíčnetravlennâepítaksíinihstrukturnítrídagalíû AT borisenkoag plasmochemicaletchingofepitaxialnitridegalliumstructures AT polozovbp plasmochemicaletchingofepitaxialnitridegalliumstructures AT fedorovičoa plasmochemicaletchingofepitaxialnitridegalliumstructures AT boltovecns plasmochemicaletchingofepitaxialnitridegalliumstructures AT ivanovvn plasmochemicaletchingofepitaxialnitridegalliumstructures AT svešnikovûn plasmochemicaletchingofepitaxialnitridegalliumstructures |