Плазмохимическое травление эпитаксиальных структур нитрида галлия

Описаны особенности технологии травления сложных наноструктур, содержащих эпитаксиальные слои нитрида галлия, нанесенные на подложки из сапфира. Изготовлены высокотемпературные датчики Холла....

Повний опис

Збережено в:
Бібліографічні деталі
Опубліковано в: :Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Дата:2005
Автори: Борисенко, А.Г., Полозов, Б.П., Федорович, О.А., Болтовец, Н.С., Иванов, В.Н., Свешников, Ю.Н.
Формат: Стаття
Мова:Російська
Опубліковано: Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 2005
Теми:
Онлайн доступ:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/53683
Теги: Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:Плазмохимическое травление эпитаксиальных структур нитрида галлия / А.Г. Борисенко, Б.П. Полозов, О.А. Федорович, Н.С. Болтовец, В.Н. Иванов, Ю.Н. Свешников // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2005. — № 6. — С. 42-46. — Бібліогр.: 10 назв. — рос.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
_version_ 1859863299315728384
author Борисенко, А.Г.
Полозов, Б.П.
Федорович, О.А.
Болтовец, Н.С.
Иванов, В.Н.
Свешников, Ю.Н.
author_facet Борисенко, А.Г.
Полозов, Б.П.
Федорович, О.А.
Болтовец, Н.С.
Иванов, В.Н.
Свешников, Ю.Н.
citation_txt Плазмохимическое травление эпитаксиальных структур нитрида галлия / А.Г. Борисенко, Б.П. Полозов, О.А. Федорович, Н.С. Болтовец, В.Н. Иванов, Ю.Н. Свешников // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2005. — № 6. — С. 42-46. — Бібліогр.: 10 назв. — рос.
collection DSpace DC
container_title Технология и конструирование в электронной аппаратуре
description Описаны особенности технологии травления сложных наноструктур, содержащих эпитаксиальные слои нитрида галлия, нанесенные на подложки из сапфира. Изготовлены высокотемпературные датчики Холла.
first_indexed 2025-12-07T15:46:58Z
format Article
fulltext c� ��������� � ���� ���� ���������������� ��������� � ���� ���������� � ���� ������ ������ ���� ����� � � ��U�� ����� ������������ �� �������� � �,��. N��� ����U ��� N ����������� �Y��� �� ����N���� ��� ����� � ������ $N1nW�ogOO) �Y��� U ��������. ���� ��� �,��N��� � ������ ����M ��o�gO�O" %�. �����O����� U ������������ �� �������� � �� �. N������ �,��N��� �� �M���� ��������� ��� ��� �� �� Y���� ��u" %�Y� ���O� � ������� ,��� ������ . �� ������ �Yx �� � � �ZZ�� �O O������N���� ��. ��Z������� � ���������� � ��� ���" A� ��� U ��. ��Z����������� ��� ��M �Y��������� ��� ��� � �N. �MO ��N�� ��O �� �N����� �Y��Y� �� Y����M� ��. ������� �� ���������� �� � �M����� ���������� U � ��� ��M ����N���M� �Y��,���" yyy %� ������ ��������M� ���������� YM�� �,�� ��. ���M ��,�� �� ��� � O� ����� ������N� W�×W�� ����. ��,��N���M� �� ������������ O�a��� � � �������. ��.�� �N����� ��� �O�� ��Z��O��������� �YO���" ? ��� ��� ��,�� �� �� �Y��,�� � �� �O ��������� ����������� ��������� � �����MO� �N�� ��O� ���. P���M� � � � �� �N����� ������� � ���O� ��O ����. �����M W��gO�O � N������� ���� ���� ����" &,O������� ,��N���� �����OM� �� ��U �,�� �����. ���� �Y��,�� ��,�� �� �� ��� ����� �� Y���� �g�w ��� �������O����� � ������������ �� �N����� O�a��. � � zW��g�w� N � ��� �� � ��� ��Y����� O� ����x �. � �OMO � ��,�� �� �� O �����O���MO� ���������. �� �N����O� ��� �O�O� ������N� ��Z��O����" &?B#C{E#@D%%LH &?�#A%&(& W" I� ������� @" �"� (� N��� %" �"� K������ F" K" F������. � ��M� ��,�� �� ��� �� ������ �����M� � ��� �� �, � ���� �� ���������.�� �N����� ��Z��O������M� ��� �O mm ?�� �OM � ����. � �� �� ,�� ��������� � �������a��� "l ����"l �gWh�"l ?" �ol!�" �"g(� N��� %" �"� k��U ��� D" @"� w�� ��� @" +" � ��" +��O�. ������� �� �N����� ����������� � ��� ��M� ��� N� a�� �Y. ��� U �, ������O��,� ���� O� ������ m %��� ��������� � Z�. ���M� ���� ���M" F� .�M | F�P������" ��O�����"l }�Q���. #��3 F��k�J� ����"l ?" ��l��" �" ~=221<� ̂ " mm �" �442" ̀ 6�5"l W�o�"l \72" �!� b �"l ̀ " cccWl ccc�" c" �0;�6 _"� �>0;5= ]"� `0�;=: \" =: 02" `>74=>:1=5 7� `|[\]. �1�=>5 �1:6 4;>= T1S�.�7>=3 :6= 1<�2;=<�= 7� :6= 4>=�7>/ �722045= 4>7�=55 mm �" S4:" [7//;<"l W�o!"l \72" o� b c"l "̀ W�WlW�!" �� � ��� ������ � ������� ��"�! ���� �" #������ ��� � ������7����� �O�<���P $wkJ&*� �" F����) ��� � ��������� ��Q���7<�����Q���������R��� ��� � ������������S<������������ � ���������7��Q��T��<�� �����������������������������7�<������ J������� �" (���� &�. ����M� ������������� %&& �#�����j *���� � �" F������ �f�O�.O����� � -./0123 �7>159�1<>"�1=8";0� 1<:=>�=49�1<>"�1=8";0 BCDEF#G&F&AH?(#H �*D@CH%&H fB&�D(?&DC{%LG ?�*J(�J* %&�*&�D kDCC&K �.* !�$�) )(���) �*���+�)#),**���!" #��*-� #)U�$+��!�) ��&��&��� )���U! V*+�W.*�!� *!#'�$�� #)*��*��*�!�,!# #*-���!�� ���$���!�.)�#)U�&�*%� !. * �!���%,)�)"#��$�"$ )�)���.��!�&��$� �!�/*�*�M)##!� %� ��� ����� l ���� �, ���M� ������������. ���� �������� a�� � ��Y� � ��������� ���O ��� Y��UQ�� ���O���� �� � ����M ��������� ���� � ��. �������" f � �� ,��� � ����N��O � ���� �� OM� ,���. ,���.���������� Q����� Y��UQ�� ,����a����� ,��M �� ��M� l ���W �@ �� � ��� ��M � ��� � � ��� �@ �� ��Y�N����� � ��� ��M VWX" w������� � �� ���. Y����� � ��� ������U�M� � ��� ��M �� ���� ����� �� � ������� ���MO� �� ���O����� � �M��. �� �O���� ����� �� ����� ������� ?@A.O��������. ������� ��,����� ������ V�X" @ N�� ��� �� ��� ��. ���U,� � �� ��,��Y� �� �M�����ZZ�� ���M� ��. ,���� � �����,���O �,��N��� � ��U ��Z���� ���� �� ,������ �Y��� �� ���� ��" %� ��� ����� �����U,�� � ��P� �� �,�� ����. �� ������ �� �N����� ����O��� �,��N��� �� ����. ��O� Y��,��O � �����N��O�� �� ��M� �O� � ���. �M� O�O�� ���ZZ����� ����Y��,����� ���� ��N�. ���� ������� � ��� ���� �,��N���� rc�u � �������. �OMO (B� �� ��u V�X" B���� ��� � �� ���� � ��,. ��Y� �� �M���� �O���� ���M� �� N���� G���� �� �,O������ O���� �M� ������ �� ��M� O��� ��Y� � U ��� �O���� ���� �� ���t?" *�,��Y� �� �ZZ�� ����� ��������� ������� � �. �� ������ ������������������ O� ������ � ���� � � N���� �� ���U�M� ,���N" @ ��� � a�� ��Y� � ���. ���M ���Y����� � ��������� ������� ���P�M� ����� ��� ��� �����P�a�� ��� ������U�M� ���� �� . ���� ����� � ��������M� �� �����P�� �, ���Z���" &���������� ����������U ��� ��,��Y� �� �M. ���� �O���� ���M� �� N���� G����" &����U. ,������U ���P�M� ����� ��� ���M� ����� �����P�. a�� ��� ������U�M� ���� �� ���� ����� " f�� ����. ��U�M� � ��� ��M� �� ��M� �����������U ���,O���. O�N����O� ������� � YM�� ��������� ��U�� ������. �M �� �����P�� �, ���Z��� � �����P��� ����� a�� ��������3 D.� ��� ��� �� ���� ����� $D.e0b)� � ��� �� O����� Y���� � ��� $�1�8)� ,��� � ��� D.� ��� �. �� �� ���� ����� $D.e0b)� � ��� �� O����� � ��� ��������� � ���� ���������� � ���� ������ ������ ���� ����� � � �� ��������� � ���� ���� ���������������� ���� �� �� � �!���"�� � � ��� ��# ��� �� ��� ���! �$# %� � ����� � ��� �� ��� �$���� ��� &��'( � �)���� �� � $� �� �� ��*�� ������%� * ��� �� � ! %��*�#� ������ �� � �+��� * �� ��,��# -�.� / ��0� � -�. %� ������� �� ��%� ����� ���$�� ! ���* ((1�� 223�4� � �� �$��� � ��� �$� ��������� ���! ����%��� ��� ��%��+�����$ ���� %� � $����$��*��� $�,��� *5 �#����)�� � ���� ������ ��� 67���� 89+: ; � �/ � 8����$��*�#� ������ � ������� <=> ��� � �$ ��� ����� ��� Å? $��� / ��@�$ ���)�� �0��0� �� �0���+�� �����%����* � ����$���$�)����$ ���� ��� 6 ��: � ��$��� #$ %���"�$ ���� ����� -�.� A�$�)���� �� ���� ����! $� �0�����#�����* � BAC ��� �#����)�� � ��$ ���! � %� � )�� � �� 7���� 89+ � ����,����$ 6�� � ��! @���5 � ���� ��)����$�: � ������ �$�$ $���� ��$ ����� D����*������� /E!���� %� � ������)��$ $��! �� ��$ ���� �����)���� � ����* %����+��+�� $���! ��� ��0�)�� ����� � � ����* ������+�� � �$��� ) � �����%� � �����)���5 ��� ��� � ����$# � ��%���! ��� �� ��� �� � ������ ������ �� ������� �0��0�! #���$#� $� �������� F��0����� *5 %������ BAC �� � � ���$� ��� * ������������ ������� ��$�! )���� �� ���#� ����� � �� %� &�� �/ � ��$�,*5 ������ �$#� $���� �#� ����� 6��� ����$���#� %��! ��� ����$� ��� ���� %�:� 8���� ��� ���� ���%������* ��$ �� �@��$�� /���� � �� � �� �@�� � ������������ ��� ���5! )��# �����%��� ��*�� � ���"����� (��%� �� �@�� ���5)��� � %��*��� � ����)��� � ����������� ��� � ��� $� �� 0#�� �� � $�� *� B�� �$� � �����%�! ���� � ��$�� ���* �� ��*�� ���� ����� * $���� ! ���� ��� � �� � ��� ���"�����+� -&.� ) � ������ �� ���������� * ������5 ����� � @������ ���%����� ��� � $�)��� �#@�� G � %�� ���$� ��� * �����%� * ����$���$�)����� �������� ��� ������ ������ � ����� 0�� ��%��+����#� ����� %���� ��������� ! �#� ������ � �� � ����#����� �0��0� #���$#� $�! �������� B�� �0��0� �� ��� ������*�#� ����� �� ��%� ���! �� � �#��,���#� �� ���"����#� ��%�� ���� �����! ��� ������*�� ���0��$� /�!����#�� �� ��% ����� ��� �������� � ��$�)���� �� ����� ����$�� �0����5,��! � � ���� ��� ��� /E!���� %� � ����� )� #���������! ��� ������%�� $� � �0�����#�� * �� ��������� � �0��0� #���$��� �0���+� ��� ���%������ <=21� � �$! ���� ���� �������� ��7��'(� �� � <=21� � �$����! ���� �������� ���'( -H� �� ��� ��.� I� �%����� � �� ���%������ � ��������� � �0��0� #���$��� $� ������ �� �� ��,�� ����#� ������ ��%�� �� ��� �� %�� � �)�� $�,�� ����� � �$�� +� � ���0��%�! $� %� ���)@��� ���+���� %����0+�� ���%�� �� ����+�� <=> � ��%�����$�� � �$�$� � ����$�� ���! ����5,�$� � BAC ��� /E!���� %� � ����� 221�� D�! ���*���� * %� ������� <=> " ����%�� �,�� ��! �%����� ��+������0������ � �� �0����5,��� �� ��������� � <=4� �$�� �$���� ��� �������� 7���'( -H� �$ �.� � ��� ���� �#����� �$���� �! ��� �%������ ���%�� �� ����+�� � ��������� � �� ! ��%� ����� 0�� ����� %��� ��������� $���� ��! ,���� ���;7�� $�$ � ����� � ���0��$� �)�#$� / ��� � 0���� ��,�� ����� ���0��$� ; � � ��! �0��%�$�� * �� � � ���+���� ������� � ������! ��� � �0���+� ���� � ��*���� ���� ��)������ ��� ! %�� �� ��#� ���� � ��� ����%���5 ����� ����� �� ��������� *� ) � �����%� � ������,���5 ���+���� ������� � I� �� � ��������� ���� ��� %� ���$�� ���* ���+���*�� ���$� �%�����$������ ��%��5)��� � BAC %��� �#����)�� � �#� ������ ���� ; �������! �� � )�� � �� 7���� 89+ � %������ ��*���� � )�� �! �� ��� �9+� B���#� ������ �� ���%���� ��$�)���� �� ����5 ����$�� ��� � ,�5 �� ������ ���� ����� � ��%������� / ���� ������ �� � )�� � �� ��� �9+ ��! ���� � ���$� * ��� % � ��������� � �� ��%� ����� � /�� ��� �%���� ������ ��� �� %����� � ���+���� ��! �$�� ��� ��0� # ���%����* � $���$�$� ���+���*! �#$� �����0� ���#$� � ���� ������#$� "��* ��$�� D����%����� �� �������5 ��� �#� ��� ��! ����*�#� ����� �����%����* � �� � ��� 6�$� �������:� B���#� � �� � 0#� ���� ,�� �����%���! �� $ ���$� ��� � ������� �� ��%� ����� � � ��! 0� �� ����$��$�� ��������� ��� ������� � / ���� � �� � 0#� ��������� �� �����0� �� ��������� ��! ��)��� ���� #� � ��� ��� ��%�� �,�� �� ��% ���! �� � � ���$������$ $���� �� ��������� ������ ��! ,���� ≈��� $�$� D� ������+� �� �� � �� � ; �����! %������ ���$� ��� � ������� ��� �#� ��� ����! ��*�#� ����� ��� ��� ��%�� �,�� �� ��% ����� � J� %#� �� � �� � ���� �����%������ ��0���� ����! %�����#� ��$������ � ��������)����� +���)��� � �� �����%����* ��@� * �����@���� ����#� ��%�)� � ��! �� * %����� ��������)����� ����� / ��)�� �� ��0�)�� ����� ��� �������� �����*! �������* )� #��������� #� ������%� � �� � ��� �$��� � �������%�$ ��� � ������$ � ����#� ��� ��! @��� �� I������� ��0�)��� ���� � ���� ��� ���*���! �����* � ���%���� 67���&:K7�L� $$ � � � � C����%# ��! ��� ��$�� ���* ��� ��$�,� %��� �%��� �#� ���! ��%�$���� � �%������#$� ����$� ��$�� C����� * �#�� ������� �����$���� $���� � �����%�$���� ��$�� ���* � $$� � � ��@���� �#�� � �� ��$$� %�� ���+�� ��� � ��@���� �� ��� ����� � BAC� G����� ����� �������������* � ��$�,*5 �����! � �$#� $���� �#� ����� � H� %� ��� �/� 8�,��� * ��������� ������ ��� ���� 67���� 89+: � %��� ���! �#� ���� � �����%������ �� ����#@��� 7 �/ ��� ��$$����$ ��� ����� � ���� %� H M � ��� �%��� ���%�! ���$�$ %������ ��*�#$ ������ ���$ 6��� �9+:� �� 0���� ��� M� B�� ������ ������ � ����� 6H� �/: � ���� %� � ((1� ���+��� ������� <=> �����%� �)��* $�%����� � ��������� * �0���+� ��� � �$ � ����� ! � )����� 6���� �������: 6 �0��� �:� /�%�$�� � � �� ! ���� � ��� %����$ ������%� ��� ����$���#� ������ �� �0��0� #���$�� ��������� �� �� $���!���� �����$$��� ����)���#� � ���+��! �� ������� 6�$� ����� !:� ��0�5%�5 � ���� (21N�� 221� N� 221N� (1N� (N � %������ G �� � �%��� � ����#� ���%� ��*� ��� � �#����� �""�� ����� � ��0� # BAC ��� %����+��+�� ����%���� ��0�)��� ����� � � %����� ; �����#��� ����)�� � �$�� ������%�� ��! ��#� $��� ���0����� *� �� ��������� � �0��0�! #���$#� � ��� ��� B�� ���@�"����� $���!���� ! �� ��������� � ���� ���� ���������������� ��������� � ���� ���������� � ���� ������ ������ ���� ����� � � ��� ���%�� �)� #�� *� ) � ���� �$�� %�� �� ��)�! �#� ��� ��� ; ���� � $����� �� 6&���O: � ���� � $����� �& 6����O: -P.� B�� �$� �� $���!���� ��� ��0�5%�5 � �%������#� ���%����� � ����#$� $��! ��$�� �����$��� (21� � $����$� 77&� 77P � 7�7� 2F21� � $����$� PH� 7�� � 7��� 221� ; H�� H� � H�� 21� ; &�� &� � &�� 21 ; ��� �&� �21 ; ��� �H � � %� I� �� ������ �� ��� ��*�#� �0��������� 6��! ��$���#� ������:� �0����5,��� �� ��������� � �0! ���+� ����� ���+���� ������� <=>� �����*������ ���� % � �������%� � �)���� �;7� $�� ��� ������! � ����� �������%� ≈7�� �/� / �����* � � ���� �0! ��0� �� ��������� * �0���+�� � ��������* )�� �� 6 �0��� �:Q � ��������� � �%�� ���* �� � ��� ��%�! ���# � ����� �� ��#� $���� �����0� ���� * �����! @���5 �0���+�� ��� ����%���� �� ��� ����� ��� %��*! ���@�$ �������� ��� ��0� � � ��$�� I� ���%� ���,��� �0�������� ����$���#� ������ �� ��������� � �0���+�� � ���+���� �����! �� �� ��%� ����� ��� ���� %� � )� #��������� �$ ������%� � ���� �� %�0��� �� �������% � ��� ��! @���� �Q7� B��%���������*� ) � � �����* � � ���*��! ���� ��$�)����� ����+�� ���%����� ������%� � ���! ����%�$ (NFR(FN77�77 �/ ��� �(NF�R�(FN7&�7 �/ 0�%� �0�����#�� *� �� �)�� ���%������ (F� � ��! ������� *� ���$ �0����$� �� 0�%� ���� �� *� � 6(��! %�� �)� #�� *� ) � ���$������ � �� �$��� $� � %��� * ����@�� �����* � # ��� �������� �� ��%� �������� � � �� ��� ���� �� CCl4 O2, Ar �������� � ���� ���������� �������� � � � , � �� �� � �� � �� � ! I " � # �� $ �% % & �� � ! I�� �, $ � �# � ' ( �� � �� � �) �� � ' �� � � � � ' �� � �� � �* � � ' �� � � +������,� ������* ��'� - �� .�� ������ � 1 130 — 0,065 800 2,0 6,0 150 15 … ��"�������� 1 130 — 0,067 900 2,4 6,5 220 30 … ���#��'���'� ���� 2 130 — 0,067 800 2,0 6,0 150 55 … ��"�������� 2 80 50 (O2) 0,067 800 2,0 6,0 150 7+3 … �� ������,�����/2 3 50 15 (O2) 0,040 900 3,0 7,0 100 20 … .����0����,� � �' ���� 3 — 90 (O2) 0,035 900 3,2 8,0 150 5 … .����0����,����������, 3 50 15 (O2) 0,040 900 3,0 8,0 150 20 … .����0����,� � �' ���� 3 — 50 (O2) 0,040 900 3,0 8,0 150 10 … .����0����,����������, 3 50 15 (O2) 0,040 900 3,2 8,0 150 30 … .����0����,� � �' ���� 3 — 100 (O2) 0,030 800 3,6 7,5 200 22 … /��������� ���� 3 — 100 (O2) 0,035 800 3,6 7,5 200 10 … .����0����,����������, 4 50 15 (O2) 0,040 900 3,0 7,0 100 32 … .����0����,� � �' ���� 4 — 90 (O2) 0,040 900 3,0 8,0 150 10 … .����0����,����������, 4 60 20 (O2) 0,042 900 2,8 7,0 150 20 … ��"�������� 4 60 20 (O2) 0,042 900 2,8 7,0 150 5 … .�������"��#�"��(�� � 5 100 — 0,010 1000 2,0 6,5 200 30 ... .�"� �������#� ���!1� ��������'���� 5 100 — 0,067 1000 2,6 6,0 300 30 ≈400 �1� �2�������������'� ∆3��4� � 5 125 — 0,042 1000 4,4 8,5 140 30 ... �1�#�'�����,����)��� 6 130 — 0,070 1000 4,4 9,0 80÷130 40 ... �1�#���������������������' 6 130 — 0,060 1000 4,2 8,5 80÷220 30 ... �1�#�������#�����#����5 7 130 %&��$r) 0,067 900 3,8 7,0 400 20 ... �1����,�Ni����#�����' 8 130 �&��$r) 0,048 900 4,5 8,0 250 20 ≈400 �1�∆3��4� � 9 130 �&��$r) 0,067 900 4,4 8,0 250 30 ≈670 6�#��'���"����1�#����0����,� �����'��Ni ���� ∆34� � � 10 100 �&��$r) 0,067 1000 3,8 7,5 260 40 500 �1�#����0����,������', ∆3&�47� � 11 120 4&��$r) 0,080 ... ... 12 250 20 125 M: ∆ = 0,75 � � 12 70 4&��$r) 0,090 ... ... 12 240 30 250 �1 ∆= 0,75 � 13 70 4&��$r) 0,075 ... ... 11 260 30 250 ���"���&8+��∆3&�7�� � 14 70 4&��$r) 0,055 ... ... 12 240—260 70 ... ���"��7&8+����'��'�Ni 15 70 4&��$r) 0,075 ... ... 10 200 30 ... ���"� ��8+����'��'�Ni 16 70 4&��$r) 0,042 0,090 ... ... 4,5 3,2 10 … 190 … 25 + 10 700 540 ���"��7&8+��Ni������∆3���� � ���"� 50°+��∆3���� � � Ni����#�����'�#������,9 Å ���� �� �������� �� ������ ��� ����� ����� ��������� ������ �������������� ���� ��������!"#$����� ���������� ������!"#$������ ��������%���������&� ��������!"# ��������� � ���� ���������� � ���� ������ ������ ���� ����� � � �� ��������� � ���� ���� ���������������� ����� � �� ��� �������� � ���� ��5$��� ���� �$ 0����� ���"��� 6α!M1�F�: %�0���� �������%� $� � ������ *5 0�������� * ���+��� ������� �: B�����! ��� *� ����)���� ����� ������� � %��� �� ��*�� ������*�� ���)@����* 6 �0��� �:� �� %� �#0��� ��! �$��*���� �� �$� ��0�� � %��*���@� � ��0� �� ���������� /$�� � � �$ ��� ��0� � BAC �� �$��� ����� 221� NF� �� $���!���� ��� ��0�5%�� � 2F21� 6"�����:� �� ��#� �� � � �)��* ����)�#$ � ���%�#$ %� �0��� ���5,��� ���������� B�� �$� %� ���)@�! �� �������)��� � ��������� � �����)��� 0������! ��� � ��0� # �� BAC 0#�� � ��0� ��� �������� ������� ��� ������*�#� ����� �� ��%� ����� 0�� %�0���� �������%�� ( +��*5 �����)��� ������ � �$�� +�� ������! ��� � �0���+� � ��$��� BAC %�0��� �� ����� � ��! ��)�� �� %� ��O � �0S�$� ��������� ��0�)��� ����� ) � �� � �����%��� � �$��*@���5 ����$����� ����! �� �� ��������� � �0���+��� T����)���� ������� ����� %� ��� �/ �����%��� � �����$� �����@���5 6����#����5: ��������� $��! �� � � ��� �������+� �� �� ����#@�5,�� �� $�� 6 �0��� �:� F� �$��*�#$� ��������* �� �$# �0��! 0� �� ��� ������*�#� � ��� �� ��� ������ � ����� ���;��� �/� ��� �� ��#� �,� �� �������%��� ��! ,�� ������� ����#���� $���� �� ����� � �� %�� �! �)�� �""�� ���� �������%��� �������� � ��� ��� ��%�� �,�� �� ��% ����� � ��������#� �� ���"���! ��5 ��%�� ��� J�� � � � $�)����* �#@�� �$���� ��� ������! �� ���$� �#� ���%�� �� ����+�� <=> � �����$ � ��������� � �0���+� ��� ��� � %�� � �)�� 0��*! @�� ����)��# 6���;���'(:� ��� �$� ��� %� � ��! ��$���#$� ������$� �� ��������� � �0���+� $�! �� � ���� ��� ����%� *� � ���%�� # ����+�� ����� � �� ��%�$ ����� 6<=21� � <=21�:� I� � �$�� +�� �� %����0+�� � �0��0� #���$�� ��������� � ���! ����%��� ��%����� ��%#� �����*���$�� %� ���� ! %��� ���� ���� ����$ �0����$� ��� $�,��� � ��������� ����! �� ��� 7 �/ � ��$$����$ ��� � ���� %� H M� ��� %������ ��*���� ������ ��� ��H M� %������� ��0�! )��� ���� � ��$��� &K7�L� $$ � � � � ��� ��� ��@�! ��� ((1�QM� 7�Q7 � �$���� ��� ���� %�5,�� ��%# N��'( ������ * ������� �� ��%� ����� ��� ��! � �� ��� Å?$��� � ��� ��%������ ��%�� �� 6 �$��! �� ��� ���� %�5,�� ��%# ��'(: ������ * �����! �� <=> ������ ��� %� �&� Å?$�� 6 �0��� �:� B�� �������+�� �� $�� %���#� �� �$ �� � �0����)�! ��� ��� ���������� ���"������ ��%�� �� �� ���! 0��� %� ��� $�$� �� ���� ���0��%�$� %� �� ����! �� ���$� �#� �� � ��� <=>� ���%����#� � ��%! �� ��� (�� �#� ��� ������*�#� ����� ��� ��#� ��� � ! $�)����* �#@�� ��%�� ��� '!� ��� ��� �� ��%� ���! �� � � ��� ��5$����� 0���% � ��� 6UVW ( :� ���� � ��� '!� ��� ��� �� ��%� ����� � � ��� ��5$����� � ��� ���� � -�.� J�� � $�)����* � ��0� � -7�.� %�0���� 7�O �������%� ��� �������� ��5$��� � ����$� ����� 221� ������ *5 0������� ���+��� BA�� B�� �0��! 0� �� � ��� �� 0#�� ���0��%�$� �� � �������� ���! "��� �� ���0��� ���L��� $�$ 6α!M1�F�:� � ����)�� ���! ����%� 0������� �������� � ��� $� ������ ��!�� 0��*@�� ������� �� �� �������%� � ��5$����$ 6�; & �/: -P� �� ���.� B�� �$� ���0��%�$� 0#�� � ��0� � * ��������5 ������� ��� ��� � ��� ��# � ��0�)�� ������ �� ��%�� �,�� �������%� / � � ���$ %� �)�� �� ��������� � � ���)@�! �� %����0+�� ���%�� �� ����+�� ���0��%�$� %����! �� ��*�� ����� � �$�� +� ��������� �� I� � ��� �����*�������* %�0���� ������ � ����$� 221�� ���$� ! � �� �� ) � �� ��+��� ������+�� ������ 7��&� �/� � ����� ; 7���7 G� -P� �$ �.� %� ����)��� ���� ������ ��0�� � $��*@� ������ � � �� %� �0����! ���� ���� ����� ���)��� ���0��%�$� %����+����! �� * $������� 221'� J��$� ���� ������ � � ��)�� � �������%�� ��$�)���� ��� ����� � �����0� ��� ��*! �� � �$�� +�� ��������� � � %����0+�� � ��� ���! %�� �� ����+��� ����$ �0����$� �%����* ����@�� ��� ���� * ��� �#� ��� ������*�#� � ��� ��# � �� ��%�$ ���! �� �0,�� ��,���� ���$���� 7 $�$ � �%��� * ��! ��� � ���"�� �� ��� $�$ �� �� $��� B�� � �$ ���%! � ������ * ������� ��� ������*�#� � ��� �� ��! � ����� &�� Å?$��� � ��� �������� ���"��� ���%! � ������ * �$��*@����* %� ��� Å?$�� 6 �0�� �:� I� �������� Q ��� � �� � ������ � ������ * ���! �#���� ����� 0#�� ��� Å?$��� ������ * �����! �� ������%� ����� ; ���� Å?$��� � ��5$��� ; ���� Å?$��� B�� ��� ) � ������ ��*�� ����� ���! ��� * ������� ��� �#� � ��� �� �� ���� � �$� ) � ������ � ������� ������� ���% ,�� � ���5 � ���! ���� ���*�� � ��)�5 � � �� �����$��� ������ � ��� ��$���� 0#� ��� ��� � �� " ����%�� �,�� ��! �%����� �� B�� �$� ���0��%�$� %��*���@� %���0� ! �� ��������� ������� ��� �#� � ��� ��� 8���!���� �# ���%�� �� %����+��+�� � ���%�� �� ��! $�)����� ����+��� �������% ,�� � BAC ��� �#����)�! � � ��$ ���� %� � 221�NX� � �� �� &� 7��� �� �� $� � N � � �X N ( N 2 > N 2 X N > N � 2 1N Y 2 1N 2 1N � 2 2 1N � 2 F 2 1N � 2 2 1N � �� ��������� � ���� ���� ���������������� ��������� � ���� ���������� � ���� ������ ������ ���� ����� � � T����)���� ��� ��� � ��� � ���� %� 6 �0��� �: �����%��� � 0���� 0#� ��$� ����#����5 ��������� $���� 6�����$��� ��� ��� ���� %� 7��� M � ���� ! ���� �� ��$�,��� ��� /:� B�� �$� ���0��%�$� ��! 0� � �� �����)���5 � ����� � �������#� $���� � ���)���5 ������$�� � � ����� � $���� � $� �%� �� ���#���� � (��%�� � $� � *� ) � �$�5 � �� � �����)��� ������ � ������� ���� ��� ������*�#� � ��� ��� G �� � �%��� � ����#� �����)���� ���� %���� ��� � ����$���$�)����$ ���� ��� ��� ����$����� ����! ��� ������ � %����� ; ��%0�� �� �$��*�#� ��� �! ��� ������ ���$�� �$#� � ��)�� �� ��0�)��� � �� ���! ��%� � ���� * �� ��*�� �� ��% ����� � �� � %����� ������� ���% ,�� � ��� �� �����0� ���#� �#����! �$���� ���#� ��� �� ��� �#%�� ���5,��� ������! �� ��0� � -�.� �$���� ��� &��'( 0�� %����%�+��� �� ������ �����%���#� �����%������ 0#�� ���! ��0� ��# �#���� �$���� ���#� %� )��� A���� %� ��$����� ���� ����� �� $���� �#� ������ �"# $" ����$ �0����$� � ����$���$�)����$ ���� ��� � ��$��� #$ %���"�$ ���� ����� �����%��� �0��0� ! �� �0���+�� ��� ������*�#� ������ ��%�� �,�� �� ! ��% ����� � � �������� ���$� ��� * ������� ���� � ��� �� � ������%�� �,�� ����$�� C����0� ��� $�! �%��� �� � ��������� ���� ��� %� � �� ��%� ���! �� � ����������� �� ���"��� B��%�� ��� �������� ������� ��� �#� ���! ������*�#� ����� � <=> � ����)��# ������ � ���! ���� ���� ����� %� &�� Å?$��� B�������� ) � ���� ���� � �� ��%�$ ����� ��,���� 7�� $�$ $��� 0# * ��� ������# )���� $���� �� ����� ��,���� ��H $�$ � �������+��� ������� ���"������ ��%�� �� �� ���0��� %� ��� $�$� T� ��������� ) � �������� ��� ������*�#� ���! ��� ��%�� �,�� �� ��% ����� � �� � � %�� � �)�� �""�� ���#$ ��� ������ � ����� ��� �/� B�� �����! ��� � ����$� � ������ $� ����� ≥��� �/ �������%� ����#����� ��������� ��,� ��� $����� ��$�)��# �� � �����)��� ������ �� ������� ��� �#� ��� ����! ��*�#� � ��� ��� ��%�� �,�� �� ��% ����� � �� ������ �����%���#� �����%������ �����0� �! �# �#���� �$���� ���#� %� )��� A���� %� ��$���! ��� ���� ����� �� $���� �#� ������ D(BFZ[\F/M��]^ D(�FE�DJD 7� _`ab=cdefg h� i�� hj`k l� h�� ifgVcedfVc l� m� l=dfkV=1e nkonfkdVfe op cVdkVqfe ?? 3cdfkc=dVoc=1 ro`kc=1 op YVsj hnffq m1ftdkocVte oc hbedfae�; �����; uo1� 7�� > 7�; v� 7;7P� �� I������ /� ��� I���)��� w� M�� x���� �� M�� J�$���� 8� M� 8�,�#� �#���� �$���� ���#� ��%��+������ ����� (/E!���! 0��# ������ �������� �� @���������#� �� ���������%�� y1<=>? <=> ?? F0���# �� ���� ������ ������� (��� (/E! �������; ���7�; /#�� 7� �� Z�+���� ^� /�� \�0�����) /� \�� B��������� /� � � %�� D$���*��#� �����# Tz!����� �0��� � ���� �� �� ������ �� ���! � ��� �� <=>� �#��,���#� �� ���$����#� ��%�� ��� ? 8� !�# $� %����� ���)� @���# {z����� �$���*��#� ���� %�� � ���%��! ��������#� ���%��|�; ��������Q M ���� �����; (� ��;�&� �� Wo1dogfde l� h�� 3g=cog u� >�� yg}efcdbfg y� ~`� �d =1� YVsj dfanfk=d`kf tocd=tde do <=> =cq hV2 �=efq oc UVW ( c=coedk`}d`kf 1=`fke ? l=dfkV=1e h}Vctf 4ok`a� uo1� �H�L�H�� Uk=ce� Uftj v`�1V}=! dVoce� h�Vd�fk1=cq� �����; C� 7��7;7���� �� u=eeV1fge}V �� u�� hV�og u� m�� W=�=cVc y� r� fd =1� �kbfdtjVcs op s=11V`a cVdkVqf ̀ eVcs 221�4� 221�� =cq djfVk aV�d`kfe �Vdj >� =cq =Vk ? r`ed� vjbe� 2ocp�� hfk� > 7��� 2j=ndfk ��; v=nfk nkfefcdfq =d hV1V}oc 2=k�Vqf =cq _f1=dfq l=dfkV=1e 7PP� 2ocp�; �bodo� r=n=c�; v� 7��&L7���� �� J������ W� l�� T� ���� /� /�� z�%�����) F� M� BAC � ��$��� #$ %���"�$ ���� ����� %� �������%� �� ���$�� �� � ��0$������#$� ���$���$� ? 8� !�# �!� 8� %����� J�#$���� $������������ ���"����+�� {J�#8�J�!P�|�; (���� ����*� J�#$� T�������; 7PP��; (� �H�;�HH� &� J������ /� 8�� B���� M� w�� T� ���� /� /� 8�%��������! ����#� ����$���$�)����� ���� �� � ��$��� #$ %���"�$ ���� ! ����� %� ������� %� )���� ��������$����� ? 8� !�� ,���)�� ����� ���"� ��I �M� T�������; J����; 7PP��; (� 7&�;7&�� H� 9���������� D� ��� ��������� w� B�� ���� ) ̂ � z� J�� ��� ������)��� �� ��$���; J���Q D�%!�� M� T((C� 7P��� P� G0�� 9� J�� ��� ������)��� �� "������; 8�Q 9����%� "���!$� � �� ��� ��#� 7P��� 7�� J������ /� 8�� T� ���� /� /�� z�%�����) F� M�� E�0�� �� D� B���$���$�)����� �������� ��5$�����#� ������ � $������#! $� � ��0$������#$� ���$���$� ���$�� �� ��� ������ ������ � ����� ?? ���%# T���������� �����$���� �0,�� ���; 7PP��; �� 7�; (� �&;��� #� % ��&'�'� �'$�!���� #� % ��&'�'� �'$�!���� #� % ��&'�'� �'$�!���� #� % ��&'�'� �'$�!��� � � � � � � � #� % ��&'�'� �'$�!���� #� % ��&'�'� �'$�!���� #� % ��&'�'� �'$�!���� #� % ��&'�'� �'$�!��� B��0�� {C�����| %� ���$�)������ �������$�� � {J��*+�| �� 0�� � 8J(� 6T������� ��� F%����� J���� C���� � �� 8�����: F0��� $������� �#��� ��)� �#� ��� � 6C���� � �� (�!B� ��0���: D� �����*�#� �����)�#� ����0������ ��* %������ �� ������ ���$�� � ���%��� ��*��� $�$0������ 6T������� ��� J���� /����+�: T� ���� �� %� ��������� @����#$ %���� ���$ �� BZD(� 6T������� �� F%����: B*�������$�)����� ���� ������ �)����� ����0������ ��� $�$0������� ���� 6T������� �� I���+�: 8�,�#� 0���������#� lXh4mU! ������ ��# %� ��������� ���� $�� � �� 6�������*� �� 8����: G��� �������%��� * ������$���� �� � ��� �)����� � ��� ����� 6T������� �� F%����: D�"��$�+����#� ��������� ) ��� $��������)�#� ��%����� ��$�����! �� ��)� �#� ����� � ��� �$�� �� �$� ������������ �� �)������ ��� ��� � 6T������� �� F%����: M����� $ ������� ������ ���� ��)�� �� ���� ��$���� ��� ���$�� �$�� � CG( M(T� 6C���� � �� (�!B� ��0���: F� �$���+� ������ ��!������$$���� �0����)��� %� �� �$� ���+�� ����! ��"� �$� �� (z!��� 6T������� �� E�����+#: � � � # � % � � & ' � ' � � ' $ � ! � � �# � % � � & ' � ' � � ' $ � ! � � �
id nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-53683
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
issn 2225-5818
language Russian
last_indexed 2025-12-07T15:46:58Z
publishDate 2005
publisher Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
record_format dspace
spelling Борисенко, А.Г.
Полозов, Б.П.
Федорович, О.А.
Болтовец, Н.С.
Иванов, В.Н.
Свешников, Ю.Н.
2014-01-25T21:21:15Z
2014-01-25T21:21:15Z
2005
Плазмохимическое травление эпитаксиальных структур нитрида галлия / А.Г. Борисенко, Б.П. Полозов, О.А. Федорович, Н.С. Болтовец, В.Н. Иванов, Ю.Н. Свешников // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2005. — № 6. — С. 42-46. — Бібліогр.: 10 назв. — рос.
2225-5818
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/53683
Описаны особенности технологии травления сложных наноструктур, содержащих эпитаксиальные слои нитрида галлия, нанесенные на подложки из сапфира. Изготовлены высокотемпературные датчики Холла.
ru
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Технологические процессы и оборудование
Плазмохимическое травление эпитаксиальных структур нитрида галлия
Плазмохімічне травлення епітаксійних структур нітріда галію
Plasmochemical etching of epitaxial nitride gallium structures
Article
published earlier
spellingShingle Плазмохимическое травление эпитаксиальных структур нитрида галлия
Борисенко, А.Г.
Полозов, Б.П.
Федорович, О.А.
Болтовец, Н.С.
Иванов, В.Н.
Свешников, Ю.Н.
Технологические процессы и оборудование
title Плазмохимическое травление эпитаксиальных структур нитрида галлия
title_alt Плазмохімічне травлення епітаксійних структур нітріда галію
Plasmochemical etching of epitaxial nitride gallium structures
title_full Плазмохимическое травление эпитаксиальных структур нитрида галлия
title_fullStr Плазмохимическое травление эпитаксиальных структур нитрида галлия
title_full_unstemmed Плазмохимическое травление эпитаксиальных структур нитрида галлия
title_short Плазмохимическое травление эпитаксиальных структур нитрида галлия
title_sort плазмохимическое травление эпитаксиальных структур нитрида галлия
topic Технологические процессы и оборудование
topic_facet Технологические процессы и оборудование
url https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/53683
work_keys_str_mv AT borisenkoag plazmohimičeskoetravlenieépitaksialʹnyhstrukturnitridagalliâ
AT polozovbp plazmohimičeskoetravlenieépitaksialʹnyhstrukturnitridagalliâ
AT fedorovičoa plazmohimičeskoetravlenieépitaksialʹnyhstrukturnitridagalliâ
AT boltovecns plazmohimičeskoetravlenieépitaksialʹnyhstrukturnitridagalliâ
AT ivanovvn plazmohimičeskoetravlenieépitaksialʹnyhstrukturnitridagalliâ
AT svešnikovûn plazmohimičeskoetravlenieépitaksialʹnyhstrukturnitridagalliâ
AT borisenkoag plazmohímíčnetravlennâepítaksíinihstrukturnítrídagalíû
AT polozovbp plazmohímíčnetravlennâepítaksíinihstrukturnítrídagalíû
AT fedorovičoa plazmohímíčnetravlennâepítaksíinihstrukturnítrídagalíû
AT boltovecns plazmohímíčnetravlennâepítaksíinihstrukturnítrídagalíû
AT ivanovvn plazmohímíčnetravlennâepítaksíinihstrukturnítrídagalíû
AT svešnikovûn plazmohímíčnetravlennâepítaksíinihstrukturnítrídagalíû
AT borisenkoag plasmochemicaletchingofepitaxialnitridegalliumstructures
AT polozovbp plasmochemicaletchingofepitaxialnitridegalliumstructures
AT fedorovičoa plasmochemicaletchingofepitaxialnitridegalliumstructures
AT boltovecns plasmochemicaletchingofepitaxialnitridegalliumstructures
AT ivanovvn plasmochemicaletchingofepitaxialnitridegalliumstructures
AT svešnikovûn plasmochemicaletchingofepitaxialnitridegalliumstructures