Особливості ефекту далекодії в кремнії при імплантації ядер водню та гелію

• Published in: Український фізичний журнал
• Date: 2010
• Main Authors: Гроза, А.А., Литовченко, П.Г., Старчик, М.І., Хіврич, В.І., Шматко, Г.Г.
• Format: Article
• Language: Ukrainian
• Published: Відділення фізики і астрономії НАН України 2010
• Subjects: Тверде тіло
• Online Access: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/56219
• Journal Title: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Cite this: Особливості ефекту далекодії в кремнії при імплантації ядер водню та гелію / А.А. Гроза, П.Г. Литовченко, М.І. Старчик, В.І. Хіврич, Г.Г. Шматко // Український фізичний журнал. — 2010. — Т. 55, № 6. — С. 699-705. — Бібліогр.: 17 назв. — укр.

У монокристалах кремнiю при iмплантацiї ядер водню (протонiв) з енергiєю E = 6; 8 МеВ (Φ = 1 - 3 х 10¹⁷ см⁻²), E = 43 МеВ (Φ = 1 х 10¹⁷ см⁻²), E = 50 МеВ (Φ = 5 х 10¹⁶ см⁻²) i ядер гелiю (альфа-частинок) з енергiєю E = 27; 2 МеВ, (Φ = 1 х 10¹⁷ см⁻²) виявлено радiацiйний вплив та поширення перiодично...