Особливості ефекту далекодії в кремнії при імплантації ядер водню та гелію
У монокристалах кремнiю при iмплантацiї ядер водню (протонiв) з енергiєю E = 6; 8 МеВ (Φ = 1 - 3 х 10¹⁷ см⁻²), E = 43 МеВ (Φ = 1 х 10¹⁷ см⁻²), E = 50 МеВ (Φ = 5 х 10¹⁶ см⁻²) i ядер гелiю (альфа-частинок) з енергiєю E = 27; 2 МеВ, (Φ = 1 х 10¹⁷ см⁻²) виявлено радiацiйний вплив та поширення перiодично...
Gespeichert in:
| Veröffentlicht in: | Український фізичний журнал |
|---|---|
| Datum: | 2010 |
| Hauptverfasser: | , , , , |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | Ukrainian |
| Veröffentlicht: |
Відділення фізики і астрономії НАН України
2010
|
| Schlagworte: | |
| Online Zugang: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/56219 |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Zitieren: | Особливості ефекту далекодії в кремнії при імплантації ядер водню та гелію / А.А. Гроза, П.Г. Литовченко, М.І. Старчик, В.І. Хіврич, Г.Г. Шматко // Український фізичний журнал. — 2010. — Т. 55, № 6. — С. 699-705. — Бібліогр.: 17 назв. — укр. |