Моделирование процессов тепломассопереноса при жидкофазной эпитаксии соединений А³В⁵ методом импульсного охлаждения насыщенного раствора-расплава

• Datum: 2007
• Hauptverfasser: Андронова, Е.В., Баганов, Е.А., Курак, В.В.
• Format: Artikel
• Sprache: Russian
• Veröffentlicht: Інститут технічної теплофізики НАН України 2007
• Schriftenreihe: Промышленная теплотехника
• Schlagworte: Тепло- и массообменные процессы
• Online Zugang: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/61264
• Назва журналу: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Zitieren: Моделирование процессов тепломассопереноса при жидкофазной эпитаксии соединений А³В⁵ методом импульсного охлаждения насыщенного раствора-расплава / Е.В. Андронова, Е.А. Баганов, В.В. Курак // Промышленная теплотехника. — 2007. — Т. 29, № 4. — С. 38-44. — Бібліогр.: 8 назв. — рос.

Рассмотрены процессы тепломассопереноса, происходящие при эпитаксии структур методом импульсного охлаждения насыщенного раствора-расплава с учетом слоя технологического газа между подложкой и теплопоглотителем. Получены зависимости времени появления и величины максимума переохлаждения на фронте крис...