Моделирование процессов тепломассопереноса при жидкофазной эпитаксии соединений А³В⁵ методом импульсного охлаждения насыщенного раствора-расплава
Рассмотрены процессы тепломассопереноса, происходящие при эпитаксии структур методом импульсного охлаждения насыщенного раствора-расплава с учетом слоя технологического газа между подложкой и теплопоглотителем. Получены зависимости времени появления и величины максимума переохлаждения на фронте крис...
Saved in:
| Published in: | Промышленная теплотехника |
|---|---|
| Date: | 2007 |
| Main Authors: | , , |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Published: |
Інститут технічної теплофізики НАН України
2007
|
| Subjects: | |
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/61264 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Моделирование процессов тепломассопереноса при жидкофазной эпитаксии соединений А³В⁵ методом импульсного охлаждения насыщенного раствора-расплава / Е.В. Андронова, Е.А. Баганов, В.В. Курак // Промышленная теплотехника. — 2007. — Т. 29, № 4. — С. 38-44. — Бібліогр.: 8 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1862591665937580032 |
|---|---|
| author | Андронова, Е.В. Баганов, Е.А. Курак, В.В. |
| author_facet | Андронова, Е.В. Баганов, Е.А. Курак, В.В. |
| citation_txt | Моделирование процессов тепломассопереноса при жидкофазной эпитаксии соединений А³В⁵ методом импульсного охлаждения насыщенного раствора-расплава / Е.В. Андронова, Е.А. Баганов, В.В. Курак // Промышленная теплотехника. — 2007. — Т. 29, № 4. — С. 38-44. — Бібліогр.: 8 назв. — рос. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Промышленная теплотехника |
| description | Рассмотрены процессы тепломассопереноса, происходящие при эпитаксии структур методом импульсного охлаждения насыщенного раствора-расплава с учетом слоя технологического газа между подложкой и теплопоглотителем. Получены зависимости времени появления и величины максимума переохлаждения на фронте кристаллизации от технологических параметров процесса. Показано, что область оптимального применения данного метода – субмикронные слои толщиной менее 100…200 нм.
Розглянуто процеси тепломасопереносу, що відбуваються при епітаксії структур методом імпульсного охолодження насиченого розчину-розплаву з урахуванням шару технологічного газу між підкладкою та теплопоглиначем. Отримано залежності часу появлення та величини максимуму переохолодження на фронті кристалізації від технологічних параметрів процесу. Показано, що область оптимального використання даного методу – субмікронні шари, що мають товщину меншу ніж 100…200 нм.
Heat-mass transfer processes at epitaxy by the method of pulse cooling of saturated solution-melt with consideration of technological gas layer between substrate and heat absorber are examined. Value and appearance time of maximum supercooling dependences on technological parameters are obtained. It is shown, that optimum use area of this method is submicron layers with width less than 100-200 nm.
|
| first_indexed | 2025-11-27T08:15:55Z |
| format | Article |
| fulltext | |
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-61264 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 0204-3602 |
| language | Russian |
| last_indexed | 2025-11-27T08:15:55Z |
| publishDate | 2007 |
| publisher | Інститут технічної теплофізики НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Андронова, Е.В. Баганов, Е.А. Курак, В.В. 2014-04-29T16:26:48Z 2014-04-29T16:26:48Z 2007 Моделирование процессов тепломассопереноса при жидкофазной эпитаксии соединений А³В⁵ методом импульсного охлаждения насыщенного раствора-расплава / Е.В. Андронова, Е.А. Баганов, В.В. Курак // Промышленная теплотехника. — 2007. — Т. 29, № 4. — С. 38-44. — Бібліогр.: 8 назв. — рос. 0204-3602 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/61264 536.24:532.785 Рассмотрены процессы тепломассопереноса, происходящие при эпитаксии структур методом импульсного охлаждения насыщенного раствора-расплава с учетом слоя технологического газа между подложкой и теплопоглотителем. Получены зависимости времени появления и величины максимума переохлаждения на фронте кристаллизации от технологических параметров процесса. Показано, что область оптимального применения данного метода – субмикронные слои толщиной менее 100…200 нм. Розглянуто процеси тепломасопереносу, що відбуваються при епітаксії структур методом імпульсного охолодження насиченого розчину-розплаву з урахуванням шару технологічного газу між підкладкою та теплопоглиначем. Отримано залежності часу появлення та величини максимуму переохолодження на фронті кристалізації від технологічних параметрів процесу. Показано, що область оптимального використання даного методу – субмікронні шари, що мають товщину меншу ніж 100…200 нм. Heat-mass transfer processes at epitaxy by the method of pulse cooling of saturated solution-melt with consideration of technological gas layer between substrate and heat absorber are examined. Value and appearance time of maximum supercooling dependences on technological parameters are obtained. It is shown, that optimum use area of this method is submicron layers with width less than 100-200 nm. ru Інститут технічної теплофізики НАН України Промышленная теплотехника Тепло- и массообменные процессы Моделирование процессов тепломассопереноса при жидкофазной эпитаксии соединений А³В⁵ методом импульсного охлаждения насыщенного раствора-расплава Simulation of the heat and mass transfer processes in the liquid phase epitaxy of А³В⁵ compounds by the method of pulse cooling of saturated solution-melt Article published earlier |
| spellingShingle | Моделирование процессов тепломассопереноса при жидкофазной эпитаксии соединений А³В⁵ методом импульсного охлаждения насыщенного раствора-расплава Андронова, Е.В. Баганов, Е.А. Курак, В.В. Тепло- и массообменные процессы |
| title | Моделирование процессов тепломассопереноса при жидкофазной эпитаксии соединений А³В⁵ методом импульсного охлаждения насыщенного раствора-расплава |
| title_alt | Simulation of the heat and mass transfer processes in the liquid phase epitaxy of А³В⁵ compounds by the method of pulse cooling of saturated solution-melt |
| title_full | Моделирование процессов тепломассопереноса при жидкофазной эпитаксии соединений А³В⁵ методом импульсного охлаждения насыщенного раствора-расплава |
| title_fullStr | Моделирование процессов тепломассопереноса при жидкофазной эпитаксии соединений А³В⁵ методом импульсного охлаждения насыщенного раствора-расплава |
| title_full_unstemmed | Моделирование процессов тепломассопереноса при жидкофазной эпитаксии соединений А³В⁵ методом импульсного охлаждения насыщенного раствора-расплава |
| title_short | Моделирование процессов тепломассопереноса при жидкофазной эпитаксии соединений А³В⁵ методом импульсного охлаждения насыщенного раствора-расплава |
| title_sort | моделирование процессов тепломассопереноса при жидкофазной эпитаксии соединений а³в⁵ методом импульсного охлаждения насыщенного раствора-расплава |
| topic | Тепло- и массообменные процессы |
| topic_facet | Тепло- и массообменные процессы |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/61264 |
| work_keys_str_mv | AT andronovaev modelirovanieprocessovteplomassoperenosaprižidkofaznoiépitaksiisoedineniia3v5metodomimpulʹsnogoohlaždeniânasyŝennogorastvorarasplava AT baganovea modelirovanieprocessovteplomassoperenosaprižidkofaznoiépitaksiisoedineniia3v5metodomimpulʹsnogoohlaždeniânasyŝennogorastvorarasplava AT kurakvv modelirovanieprocessovteplomassoperenosaprižidkofaznoiépitaksiisoedineniia3v5metodomimpulʹsnogoohlaždeniânasyŝennogorastvorarasplava AT andronovaev simulationoftheheatandmasstransferprocessesintheliquidphaseepitaxyofa3v5compoundsbythemethodofpulsecoolingofsaturatedsolutionmelt AT baganovea simulationoftheheatandmasstransferprocessesintheliquidphaseepitaxyofa3v5compoundsbythemethodofpulsecoolingofsaturatedsolutionmelt AT kurakvv simulationoftheheatandmasstransferprocessesintheliquidphaseepitaxyofa3v5compoundsbythemethodofpulsecoolingofsaturatedsolutionmelt |