Механические свойства нанокристаллических пленок Ti с малыми концентрациями кислорода и азота

• Published in: Наноструктурное материаловедение
• Date: 2011
• Main Authors: Фирстов, С.А., Куликовский, В.Ю., Рогуль, T.Г., Ctvrtlik, R., Пономарев, С.С., Ковыляев, В.В., Зелявский, В.Б.
• Format: Article
• Language: Russian
• Published: Інститут проблем матеріалознавства ім. І.М. Францевича НАН України 2011
• Subjects: Фуллерены, нанотрубки и одномерные нанообъекты
• Online Access: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/62778
• Journal Title: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Cite this: Механические свойства нанокристаллических пленок Ti с малыми концентрациями кислорода и азота / С.А. Фирстов, В.Ю. Куликовский, T.Г. Рогуль, R. Ctvrtlik, С.С. Пономарев, В.В. Ковыляев, В.Б. Зелявский // Наноструктурное материаловедение. — 2011. — № 2. — С. 28-36. — Бібліогр.: 20 назв. — рос.

В работе представлены результаты исследования влияния малых добавок кислорода и азота на структуру и механические свойства пленок титана, полученных магнетронным распылением. Показано, что увеличение в пленках концентрации атомов кислорода (азота) до ~6 ат.% ведет к уменьшению размера зерен, повышен...