Механические свойства нанокристаллических пленок Ti с малыми концентрациями кислорода и азота
В работе представлены результаты исследования влияния малых добавок кислорода и азота на структуру и механические свойства пленок титана, полученных магнетронным распылением. Показано, что увеличение в пленках концентрации атомов кислорода (азота) до ~6 ат.% ведет к уменьшению размера зерен, повышен...
Збережено в:
| Опубліковано в: : | Наноструктурное материаловедение |
|---|---|
| Дата: | 2011 |
| Автори: | , , , , , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Російська |
| Опубліковано: |
Інститут проблем матеріалознавства ім. І.М. Францевича НАН України
2011
|
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/62778 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Механические свойства нанокристаллических пленок Ti с малыми концентрациями кислорода и азота / С.А. Фирстов, В.Ю. Куликовский, T.Г. Рогуль, R. Ctvrtlik, С.С. Пономарев, В.В. Ковыляев, В.Б. Зелявский // Наноструктурное материаловедение. — 2011. — № 2. — С. 28-36. — Бібліогр.: 20 назв. — рос. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1862733066661789696 |
|---|---|
| author | Фирстов, С.А. Куликовский, В.Ю. Рогуль, T.Г. Ctvrtlik, R. Пономарев, С.С. Ковыляев, В.В. Зелявский, В.Б. |
| author_facet | Фирстов, С.А. Куликовский, В.Ю. Рогуль, T.Г. Ctvrtlik, R. Пономарев, С.С. Ковыляев, В.В. Зелявский, В.Б. |
| citation_txt | Механические свойства нанокристаллических пленок Ti с малыми концентрациями кислорода и азота / С.А. Фирстов, В.Ю. Куликовский, T.Г. Рогуль, R. Ctvrtlik, С.С. Пономарев, В.В. Ковыляев, В.Б. Зелявский // Наноструктурное материаловедение. — 2011. — № 2. — С. 28-36. — Бібліогр.: 20 назв. — рос. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Наноструктурное материаловедение |
| description | В работе представлены результаты исследования влияния малых добавок кислорода и азота на структуру и механические свойства пленок титана, полученных магнетронным распылением. Показано, что увеличение в пленках концентрации атомов кислорода (азота) до ~6 ат.% ведет к уменьшению размера зерен, повышению сжимающих напряжений и значительному росту твердости материала.
У роботі наведено результати дослідження впливу малих добавок кисню й азоту на структуру та механічні властивості плівок титану, отриманих магнетронным розпиленням. Показано, що збільшення у плівках концентрації атомів кисню (азоту) до ~6 ат.% призводить до зменшення розмірів зерен, підвищення стискальної напруги й значного зростання твердості матеріалу.
Influence of small concentrations of oxygen and nitrogen on the structure and mechanical properties of sputtered titanium films are presented. The increase of oxygen (nitrogen) concentration up to ~6 at.% results in grain size decrease, increase of compressive stress and significant growth of film hardness.
|
| first_indexed | 2025-12-07T19:34:46Z |
| format | Article |
| fulltext | |
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-62778 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 1996-9988 |
| language | Russian |
| last_indexed | 2025-12-07T19:34:46Z |
| publishDate | 2011 |
| publisher | Інститут проблем матеріалознавства ім. І.М. Францевича НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Фирстов, С.А. Куликовский, В.Ю. Рогуль, T.Г. Ctvrtlik, R. Пономарев, С.С. Ковыляев, В.В. Зелявский, В.Б. 2014-05-25T19:34:36Z 2014-05-25T19:34:36Z 2011 Механические свойства нанокристаллических пленок Ti с малыми концентрациями кислорода и азота / С.А. Фирстов, В.Ю. Куликовский, T.Г. Рогуль, R. Ctvrtlik, С.С. Пономарев, В.В. Ковыляев, В.Б. Зелявский // Наноструктурное материаловедение. — 2011. — № 2. — С. 28-36. — Бібліогр.: 20 назв. — рос. 1996-9988 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/62778 538.9 В работе представлены результаты исследования влияния малых добавок кислорода и азота на структуру и механические свойства пленок титана, полученных магнетронным распылением. Показано, что увеличение в пленках концентрации атомов кислорода (азота) до ~6 ат.% ведет к уменьшению размера зерен, повышению сжимающих напряжений и значительному росту твердости материала. У роботі наведено результати дослідження впливу малих добавок кисню й азоту на структуру та механічні властивості плівок титану, отриманих магнетронным розпиленням. Показано, що збільшення у плівках концентрації атомів кисню (азоту) до ~6 ат.% призводить до зменшення розмірів зерен, підвищення стискальної напруги й значного зростання твердості матеріалу. Influence of small concentrations of oxygen and nitrogen on the structure and mechanical properties of sputtered titanium films are presented. The increase of oxygen (nitrogen) concentration up to ~6 at.% results in grain size decrease, increase of compressive stress and significant growth of film hardness. ru Інститут проблем матеріалознавства ім. І.М. Францевича НАН України Наноструктурное материаловедение Фуллерены, нанотрубки и одномерные нанообъекты Механические свойства нанокристаллических пленок Ti с малыми концентрациями кислорода и азота Article published earlier |
| spellingShingle | Механические свойства нанокристаллических пленок Ti с малыми концентрациями кислорода и азота Фирстов, С.А. Куликовский, В.Ю. Рогуль, T.Г. Ctvrtlik, R. Пономарев, С.С. Ковыляев, В.В. Зелявский, В.Б. Фуллерены, нанотрубки и одномерные нанообъекты |
| title | Механические свойства нанокристаллических пленок Ti с малыми концентрациями кислорода и азота |
| title_full | Механические свойства нанокристаллических пленок Ti с малыми концентрациями кислорода и азота |
| title_fullStr | Механические свойства нанокристаллических пленок Ti с малыми концентрациями кислорода и азота |
| title_full_unstemmed | Механические свойства нанокристаллических пленок Ti с малыми концентрациями кислорода и азота |
| title_short | Механические свойства нанокристаллических пленок Ti с малыми концентрациями кислорода и азота |
| title_sort | механические свойства нанокристаллических пленок ti с малыми концентрациями кислорода и азота |
| topic | Фуллерены, нанотрубки и одномерные нанообъекты |
| topic_facet | Фуллерены, нанотрубки и одномерные нанообъекты |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/62778 |
| work_keys_str_mv | AT firstovsa mehaničeskiesvoistvananokristalličeskihplenoktismalymikoncentraciâmikislorodaiazota AT kulikovskiivû mehaničeskiesvoistvananokristalličeskihplenoktismalymikoncentraciâmikislorodaiazota AT rogulʹtg mehaničeskiesvoistvananokristalličeskihplenoktismalymikoncentraciâmikislorodaiazota AT ctvrtlikr mehaničeskiesvoistvananokristalličeskihplenoktismalymikoncentraciâmikislorodaiazota AT ponomarevss mehaničeskiesvoistvananokristalličeskihplenoktismalymikoncentraciâmikislorodaiazota AT kovylâevvv mehaničeskiesvoistvananokristalličeskihplenoktismalymikoncentraciâmikislorodaiazota AT zelâvskiivb mehaničeskiesvoistvananokristalličeskihplenoktismalymikoncentraciâmikislorodaiazota |