Получение аморфных пленок гидрогенизированного углерода низкотемпературной плазме тлеющего разряда
Исследовано осаждение пленок гидрогенизированного аморфного углерода из смеси циклогексанаргона и метана в низкотемпературной плазме тлеющего разряда при использовании двух электрических разрядов: частотой 50 Гц для создания проводящей среды и активации газа в положительном столбе тлеющего разряда,...
Збережено в:
| Опубліковано в: : | Породоразрушающий и металлообрабатывающий инструмент – техника и технология его изготовления и применения |
|---|---|
| Дата: | 2011 |
| Автори: | , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Russian |
| Опубліковано: |
Інститут надтвердих матеріалів ім. В.М. Бакуля НАН України
2011
|
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/63269 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Получение аморфных пленок гидрогенизированного углерода низкотемпературной плазме тлеющего разряда / И.Г. Варшавская, В.Л. Буховец // Породоразрушающий и металлообрабатывающий инструмент – техника и технология его изготовления и применения: Сб. науч. тр. — К.: ІНМ ім. В.М. Бакуля НАН України, 2011. — Вип. 14. — С. 385-389. — Бібліогр.: 6 назв. — рос. |