Влияние азота на механические свойства тонких пленок системы Та—В—N
Получены аморфно-кристаллические тонкие пленки системы Та—В—N на стальной подложке ВЧ-магнетронным реактивным распылением мишени ТаВ₂ в газовой смеси азота и аргона. Исследовано влияние содержания азота в смеси на механические свойства пленок. Установлено, что формирование аморфно-кристаллической ст...
Saved in:
| Published in: | Сверхтвердые материалы |
|---|---|
| Date: | 2009 |
| Main Authors: | , , |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Published: |
Інститут надтвердих матеріалів ім. В.М. Бакуля НАН України
2009
|
| Subjects: | |
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/63380 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Влияние азота на механические свойства тонких пленок системы Та—В—N / С.Н. Дуб, А.А. Гончаров, В.В. Петухов // Сверхтвердые материалы. — 2009. — № 2. — С. 3-11. — Бібліогр.: 16 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1862541031971487744 |
|---|---|
| author | Дуб, С.Н. Гончаров, А.А. Петухов, В.В. |
| author_facet | Дуб, С.Н. Гончаров, А.А. Петухов, В.В. |
| citation_txt | Влияние азота на механические свойства тонких пленок системы Та—В—N / С.Н. Дуб, А.А. Гончаров, В.В. Петухов // Сверхтвердые материалы. — 2009. — № 2. — С. 3-11. — Бібліогр.: 16 назв. — рос. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Сверхтвердые материалы |
| description | Получены аморфно-кристаллические тонкие пленки системы Та—В—N на стальной подложке ВЧ-магнетронным реактивным распылением мишени ТаВ₂ в газовой смеси азота и аргона. Исследовано влияние содержания азота в смеси на механические свойства пленок. Установлено, что формирование аморфно-кристаллической структуры приводит к снижению нанотвердости, модуля упругости и повышению пластичности пленок Ta—B—N по сравнению с нанокристаллическими пленками TaB₂. Образование аморфного нитрида бора также вызывает вязко-упругое механическое поведение тонких пленок системы Ta—B—N.
|
| first_indexed | 2025-11-24T16:13:12Z |
| format | Article |
| fulltext | |
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-63380 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 0203-3119 |
| language | Russian |
| last_indexed | 2025-11-24T16:13:12Z |
| publishDate | 2009 |
| publisher | Інститут надтвердих матеріалів ім. В.М. Бакуля НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Дуб, С.Н. Гончаров, А.А. Петухов, В.В. 2014-05-31T19:15:15Z 2014-05-31T19:15:15Z 2009 Влияние азота на механические свойства тонких пленок системы Та—В—N / С.Н. Дуб, А.А. Гончаров, В.В. Петухов // Сверхтвердые материалы. — 2009. — № 2. — С. 3-11. — Бібліогр.: 16 назв. — рос. 0203-3119 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/63380 549.2:539.1 Получены аморфно-кристаллические тонкие пленки системы Та—В—N на стальной подложке ВЧ-магнетронным реактивным распылением мишени ТаВ₂ в газовой смеси азота и аргона. Исследовано влияние содержания азота в смеси на механические свойства пленок. Установлено, что формирование аморфно-кристаллической структуры приводит к снижению нанотвердости, модуля упругости и повышению пластичности пленок Ta—B—N по сравнению с нанокристаллическими пленками TaB₂. Образование аморфного нитрида бора также вызывает вязко-упругое механическое поведение тонких пленок системы Ta—B—N. ru Інститут надтвердих матеріалів ім. В.М. Бакуля НАН України Сверхтвердые материалы Получение, структура, свойства Влияние азота на механические свойства тонких пленок системы Та—В—N Article published earlier |
| spellingShingle | Влияние азота на механические свойства тонких пленок системы Та—В—N Дуб, С.Н. Гончаров, А.А. Петухов, В.В. Получение, структура, свойства |
| title | Влияние азота на механические свойства тонких пленок системы Та—В—N |
| title_full | Влияние азота на механические свойства тонких пленок системы Та—В—N |
| title_fullStr | Влияние азота на механические свойства тонких пленок системы Та—В—N |
| title_full_unstemmed | Влияние азота на механические свойства тонких пленок системы Та—В—N |
| title_short | Влияние азота на механические свойства тонких пленок системы Та—В—N |
| title_sort | влияние азота на механические свойства тонких пленок системы та—в—n |
| topic | Получение, структура, свойства |
| topic_facet | Получение, структура, свойства |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/63380 |
| work_keys_str_mv | AT dubsn vliânieazotanamehaničeskiesvoistvatonkihplenoksistemytavn AT gončarovaa vliânieazotanamehaničeskiesvoistvatonkihplenoksistemytavn AT petuhovvv vliânieazotanamehaničeskiesvoistvatonkihplenoksistemytavn |