Влияние азота на механические свойства тонких пленок системы Та—В—N

Получены аморфно-кристаллические тонкие пленки системы Та—В—N на стальной подложке ВЧ-магнетронным реактивным распылением мишени ТаВ₂ в газовой смеси азота и аргона. Исследовано влияние содержания азота в смеси на механические свойства пленок. Установлено, что формирование аморфно-кристаллической ст...

Повний опис

Збережено в:
Бібліографічні деталі
Опубліковано в: :Сверхтвердые материалы
Дата:2009
Автори: Дуб, С.Н., Гончаров, А.А., Петухов, В.В.
Формат: Стаття
Мова:Російська
Опубліковано: Інститут надтвердих матеріалів ім. В.М. Бакуля НАН України 2009
Теми:
Онлайн доступ:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/63380
Теги: Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:Влияние азота на механические свойства тонких пленок системы Та—В—N / С.Н. Дуб, А.А. Гончаров, В.В. Петухов // Сверхтвердые материалы. — 2009. — № 2. — С. 3-11. — Бібліогр.: 16 назв. — рос.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
_version_ 1862541031971487744
author Дуб, С.Н.
Гончаров, А.А.
Петухов, В.В.
author_facet Дуб, С.Н.
Гончаров, А.А.
Петухов, В.В.
citation_txt Влияние азота на механические свойства тонких пленок системы Та—В—N / С.Н. Дуб, А.А. Гончаров, В.В. Петухов // Сверхтвердые материалы. — 2009. — № 2. — С. 3-11. — Бібліогр.: 16 назв. — рос.
collection DSpace DC
container_title Сверхтвердые материалы
description Получены аморфно-кристаллические тонкие пленки системы Та—В—N на стальной подложке ВЧ-магнетронным реактивным распылением мишени ТаВ₂ в газовой смеси азота и аргона. Исследовано влияние содержания азота в смеси на механические свойства пленок. Установлено, что формирование аморфно-кристаллической структуры приводит к снижению нанотвердости, модуля упругости и повышению пластичности пленок Ta—B—N по сравнению с нанокристаллическими пленками TaB₂. Образование аморфного нитрида бора также вызывает вязко-упругое механическое поведение тонких пленок системы Ta—B—N.
first_indexed 2025-11-24T16:13:12Z
format Article
fulltext
id nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-63380
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
issn 0203-3119
language Russian
last_indexed 2025-11-24T16:13:12Z
publishDate 2009
publisher Інститут надтвердих матеріалів ім. В.М. Бакуля НАН України
record_format dspace
spelling Дуб, С.Н.
Гончаров, А.А.
Петухов, В.В.
2014-05-31T19:15:15Z
2014-05-31T19:15:15Z
2009
Влияние азота на механические свойства тонких пленок системы Та—В—N / С.Н. Дуб, А.А. Гончаров, В.В. Петухов // Сверхтвердые материалы. — 2009. — № 2. — С. 3-11. — Бібліогр.: 16 назв. — рос.
0203-3119
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/63380
549.2:539.1
Получены аморфно-кристаллические тонкие пленки системы Та—В—N на стальной подложке ВЧ-магнетронным реактивным распылением мишени ТаВ₂ в газовой смеси азота и аргона. Исследовано влияние содержания азота в смеси на механические свойства пленок. Установлено, что формирование аморфно-кристаллической структуры приводит к снижению нанотвердости, модуля упругости и повышению пластичности пленок Ta—B—N по сравнению с нанокристаллическими пленками TaB₂. Образование аморфного нитрида бора также вызывает вязко-упругое механическое поведение тонких пленок системы Ta—B—N.
ru
Інститут надтвердих матеріалів ім. В.М. Бакуля НАН України
Сверхтвердые материалы
Получение, структура, свойства
Влияние азота на механические свойства тонких пленок системы Та—В—N
Article
published earlier
spellingShingle Влияние азота на механические свойства тонких пленок системы Та—В—N
Дуб, С.Н.
Гончаров, А.А.
Петухов, В.В.
Получение, структура, свойства
title Влияние азота на механические свойства тонких пленок системы Та—В—N
title_full Влияние азота на механические свойства тонких пленок системы Та—В—N
title_fullStr Влияние азота на механические свойства тонких пленок системы Та—В—N
title_full_unstemmed Влияние азота на механические свойства тонких пленок системы Та—В—N
title_short Влияние азота на механические свойства тонких пленок системы Та—В—N
title_sort влияние азота на механические свойства тонких пленок системы та—в—n
topic Получение, структура, свойства
topic_facet Получение, структура, свойства
url https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/63380
work_keys_str_mv AT dubsn vliânieazotanamehaničeskiesvoistvatonkihplenoksistemytavn
AT gončarovaa vliânieazotanamehaničeskiesvoistvatonkihplenoksistemytavn
AT petuhovvv vliânieazotanamehaničeskiesvoistvatonkihplenoksistemytavn