Голишников, А., & Путря, М. (2014). Разработка процесса глубокого плазменного травления кремния для технологии трехмерной интеграции кристаллов. Технология и конструирование в электронной аппаратуре.
Чикаго стиль цитування (17-те видання)Голишников, А.А, та М.Г Путря. "Разработка процесса глубокого плазменного травления кремния для технологии трехмерной интеграции кристаллов." Технология и конструирование в электронной аппаратуре 2014.
Стиль цитування MLA (8-ме видання)Голишников, А.А, та М.Г Путря. "Разработка процесса глубокого плазменного травления кремния для технологии трехмерной интеграции кристаллов." Технология и конструирование в электронной аппаратуре, 2014.
Попередження: стилі цитування не завжди правильні на всі 100%.