APA (7th ed.) Citation

Голишников, А., & Путря, М. (2014). Разработка процесса глубокого плазменного травления кремния для технологии трехмерной интеграции кристаллов. Технология и конструирование в электронной аппаратуре.

Chicago Style (17th ed.) Citation

Голишников, А.А, and М.Г Путря. "Разработка процесса глубокого плазменного травления кремния для технологии трехмерной интеграции кристаллов." Технология и конструирование в электронной аппаратуре 2014.

MLA (8th ed.) Citation

Голишников, А.А, and М.Г Путря. "Разработка процесса глубокого плазменного травления кремния для технологии трехмерной интеграции кристаллов." Технология и конструирование в электронной аппаратуре, 2014.

Warning: These citations may not always be 100% accurate.