Ионизационный отжиг полупроводниковых кристаллов. Часть первая: Теоретические предпосылки

При облучении полупроводниковых кристаллов мощными (сильноточными) импульсными электронными пучками высоких энергий получен новый вид отжига, названный авторами «ионизационным», дано его теоретическое обоснование. При опроміненні напівпровідникових кристалів потужними (сильнострумовими) імпульсними...

Full description

Saved in:
Bibliographic Details
Published in:Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Date:2014
Main Authors: Гаркавенко, А.С., Мокрицкий, В.А., Банзак, О.В., Завадский, В.А.
Format: Article
Language:Russian
Published: Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 2014
Subjects:
Online Access:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/70572
Tags: Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
Journal Title:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Cite this:Ионизационный отжиг полупроводниковых кристаллов. Часть первая: Теоретические предпосылки / А.С. Гаркавенко, В.А. Мокрицкий, О.В. Банзак, В.А. Завадский // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2014. — № 4. — С. 50-55. — Бібліогр.: 14 назв. — рос.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
id nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-70572
record_format dspace
spelling Гаркавенко, А.С.
Мокрицкий, В.А.
Банзак, О.В.
Завадский, В.А.
2014-11-08T13:40:19Z
2014-11-08T13:40:19Z
2014
Ионизационный отжиг полупроводниковых кристаллов. Часть первая: Теоретические предпосылки / А.С. Гаркавенко, В.А. Мокрицкий, О.В. Банзак, В.А. Завадский // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2014. — № 4. — С. 50-55. — Бібліогр.: 14 назв. — рос.
2225-5818
DOI: 10.15222/TKEA2014.4.50
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/70572
535.14:621.365.826
При облучении полупроводниковых кристаллов мощными (сильноточными) импульсными электронными пучками высоких энергий получен новый вид отжига, названный авторами «ионизационным», дано его теоретическое обоснование.
При опроміненні напівпровідникових кристалів потужними (сильнострумовими) імпульсними електронними пучками високих енергій отримано новий вид відпалу, названий авторами «іонізаційним», надано його теоретичне обгрунтування.
During irradiation of semiconductor crystals with powerful (high current) pulsed high-energy electron beams, a new type of annealing has been obtained. We could obtain new results and to find out physical nature of this phenomenon due to short and powerful bunches of electrons with high energy. Given its theoretical justification, the new annealing type has been called the "ionization annealing".
ru
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Материалы электроники
Ионизационный отжиг полупроводниковых кристаллов. Часть первая: Теоретические предпосылки
Іонізаційний відпал напівпровідникових кристалів. Частина перша: Теоретичні передумови
Ionization annealing of semiconductor crystals. Part one: Theoretical background
Article
published earlier
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection DSpace DC
title Ионизационный отжиг полупроводниковых кристаллов. Часть первая: Теоретические предпосылки
spellingShingle Ионизационный отжиг полупроводниковых кристаллов. Часть первая: Теоретические предпосылки
Гаркавенко, А.С.
Мокрицкий, В.А.
Банзак, О.В.
Завадский, В.А.
Материалы электроники
title_short Ионизационный отжиг полупроводниковых кристаллов. Часть первая: Теоретические предпосылки
title_full Ионизационный отжиг полупроводниковых кристаллов. Часть первая: Теоретические предпосылки
title_fullStr Ионизационный отжиг полупроводниковых кристаллов. Часть первая: Теоретические предпосылки
title_full_unstemmed Ионизационный отжиг полупроводниковых кристаллов. Часть первая: Теоретические предпосылки
title_sort ионизационный отжиг полупроводниковых кристаллов. часть первая: теоретические предпосылки
author Гаркавенко, А.С.
Мокрицкий, В.А.
Банзак, О.В.
Завадский, В.А.
author_facet Гаркавенко, А.С.
Мокрицкий, В.А.
Банзак, О.В.
Завадский, В.А.
topic Материалы электроники
topic_facet Материалы электроники
publishDate 2014
language Russian
container_title Технология и конструирование в электронной аппаратуре
publisher Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
format Article
title_alt Іонізаційний відпал напівпровідникових кристалів. Частина перша: Теоретичні передумови
Ionization annealing of semiconductor crystals. Part one: Theoretical background
description При облучении полупроводниковых кристаллов мощными (сильноточными) импульсными электронными пучками высоких энергий получен новый вид отжига, названный авторами «ионизационным», дано его теоретическое обоснование. При опроміненні напівпровідникових кристалів потужними (сильнострумовими) імпульсними електронними пучками високих енергій отримано новий вид відпалу, названий авторами «іонізаційним», надано його теоретичне обгрунтування. During irradiation of semiconductor crystals with powerful (high current) pulsed high-energy electron beams, a new type of annealing has been obtained. We could obtain new results and to find out physical nature of this phenomenon due to short and powerful bunches of electrons with high energy. Given its theoretical justification, the new annealing type has been called the "ionization annealing".
issn 2225-5818
url https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/70572
citation_txt Ионизационный отжиг полупроводниковых кристаллов. Часть первая: Теоретические предпосылки / А.С. Гаркавенко, В.А. Мокрицкий, О.В. Банзак, В.А. Завадский // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2014. — № 4. — С. 50-55. — Бібліогр.: 14 назв. — рос.
work_keys_str_mv AT garkavenkoas ionizacionnyiotžigpoluprovodnikovyhkristallovčastʹpervaâteoretičeskiepredposylki
AT mokrickiiva ionizacionnyiotžigpoluprovodnikovyhkristallovčastʹpervaâteoretičeskiepredposylki
AT banzakov ionizacionnyiotžigpoluprovodnikovyhkristallovčastʹpervaâteoretičeskiepredposylki
AT zavadskiiva ionizacionnyiotžigpoluprovodnikovyhkristallovčastʹpervaâteoretičeskiepredposylki
AT garkavenkoas íonízacíiniivídpalnapívprovídnikovihkristalívčastinaperšateoretičníperedumovi
AT mokrickiiva íonízacíiniivídpalnapívprovídnikovihkristalívčastinaperšateoretičníperedumovi
AT banzakov íonízacíiniivídpalnapívprovídnikovihkristalívčastinaperšateoretičníperedumovi
AT zavadskiiva íonízacíiniivídpalnapívprovídnikovihkristalívčastinaperšateoretičníperedumovi
AT garkavenkoas ionizationannealingofsemiconductorcrystalspartonetheoreticalbackground
AT mokrickiiva ionizationannealingofsemiconductorcrystalspartonetheoreticalbackground
AT banzakov ionizationannealingofsemiconductorcrystalspartonetheoreticalbackground
AT zavadskiiva ionizationannealingofsemiconductorcrystalspartonetheoreticalbackground
first_indexed 2025-12-07T17:59:48Z
last_indexed 2025-12-07T17:59:48Z
_version_ 1850873362449956864