Радиационное легирование сульфида кадмия и арсенида галлия

• Published in: Технология и конструирование в электронной аппаратуре
• Date: 2003
• Main Authors: Мокрицкий, В.А., Гаркавенко, А.С., Зубарев, В.В., Ленков, С.В.
• Format: Article
• Language: Russian
• Published: Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 2003
• Subjects: Материалы для микроэлектроники
• Online Access: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/70711
• Journal Title: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Cite this: Радиационное легирование сульфида кадмия и арсенида галлия / В.А. Мокрицкий, А.С. Гаркавенко, В.В. Зубарев, С.В. Ленков // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2003. — № 6. — С. 14-17. — Бібліогр.: 7 назв. — рос.

Выполнено экспериментальное исследование возможности получения слоев с дырочной проводимостью в монокристаллах CdS и GaAs с помощью радиационного легирования. Для этого использован моноэнергетический поток быстрых нейтронов с энергией 14,5 МэВ. Измерения подтвердили возникновение подобных слоев. Опи...