Влияние обработки поверхности и нагрева на высоту потенциального барьера контактов к SiC

Проведен обзор работ, в которых исследовались контактные системы на карбиде кремния. Рассмотрено влияние различных факторов на выпрямляющие свойства контактов, а именно, влияние предварительной обработки поверхности образца до нанесения металла и термообработки сформированной системы "металл—ка...

Full description

Saved in:
Bibliographic Details
Published in:Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Date:2001
Main Authors: Агеев, О.А., Светличный, А.М., Ковалев, Н.А., Разгонов, Р.Н.
Format: Article
Language:Russian
Published: Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 2001
Subjects:
Online Access:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/70839
Tags: Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
Journal Title:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Cite this:Влияние обработки поверхности и нагрева на высоту потенциального барьера контактов к SiC / О.А. Агеев, А.М. Светличный, Н.А. Ковалев, Р.Н. Разгонов // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2001. — № 2. — С. 37-41. — Бібліогр.: 24 назв. — рос.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
_version_ 1862714075810627584
author Агеев, О.А.
Светличный, А.М.
Ковалев, Н.А.
Разгонов, Р.Н.
author_facet Агеев, О.А.
Светличный, А.М.
Ковалев, Н.А.
Разгонов, Р.Н.
citation_txt Влияние обработки поверхности и нагрева на высоту потенциального барьера контактов к SiC / О.А. Агеев, А.М. Светличный, Н.А. Ковалев, Р.Н. Разгонов // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2001. — № 2. — С. 37-41. — Бібліогр.: 24 назв. — рос.
collection DSpace DC
container_title Технология и конструирование в электронной аппаратуре
description Проведен обзор работ, в которых исследовались контактные системы на карбиде кремния. Рассмотрено влияние различных факторов на выпрямляющие свойства контактов, а именно, влияние предварительной обработки поверхности образца до нанесения металла и термообработки сформированной системы "металл—карбид кремния" на высоту барьера. Проведен анализ экспериментальных данных.
first_indexed 2025-12-07T17:48:36Z
format Article
fulltext
id nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-70839
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
issn 2225-5818
language Russian
last_indexed 2025-12-07T17:48:36Z
publishDate 2001
publisher Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
record_format dspace
spelling Агеев, О.А.
Светличный, А.М.
Ковалев, Н.А.
Разгонов, Р.Н.
2014-11-15T10:49:39Z
2014-11-15T10:49:39Z
2001
Влияние обработки поверхности и нагрева на высоту потенциального барьера контактов к SiC / О.А. Агеев, А.М. Светличный, Н.А. Ковалев, Р.Н. Разгонов // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2001. — № 2. — С. 37-41. — Бібліогр.: 24 назв. — рос.
2225-5818
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/70839
621.315.592
Проведен обзор работ, в которых исследовались контактные системы на карбиде кремния. Рассмотрено влияние различных факторов на выпрямляющие свойства контактов, а именно, влияние предварительной обработки поверхности образца до нанесения металла и термообработки сформированной системы "металл—карбид кремния" на высоту барьера. Проведен анализ экспериментальных данных.
ru
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Технология производства
Влияние обработки поверхности и нагрева на высоту потенциального барьера контактов к SiC
Article
published earlier
spellingShingle Влияние обработки поверхности и нагрева на высоту потенциального барьера контактов к SiC
Агеев, О.А.
Светличный, А.М.
Ковалев, Н.А.
Разгонов, Р.Н.
Технология производства
title Влияние обработки поверхности и нагрева на высоту потенциального барьера контактов к SiC
title_full Влияние обработки поверхности и нагрева на высоту потенциального барьера контактов к SiC
title_fullStr Влияние обработки поверхности и нагрева на высоту потенциального барьера контактов к SiC
title_full_unstemmed Влияние обработки поверхности и нагрева на высоту потенциального барьера контактов к SiC
title_short Влияние обработки поверхности и нагрева на высоту потенциального барьера контактов к SiC
title_sort влияние обработки поверхности и нагрева на высоту потенциального барьера контактов к sic
topic Технология производства
topic_facet Технология производства
url https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/70839
work_keys_str_mv AT ageevoa vliânieobrabotkipoverhnostiinagrevanavysotupotencialʹnogobarʹerakontaktovksic
AT svetličnyiam vliânieobrabotkipoverhnostiinagrevanavysotupotencialʹnogobarʹerakontaktovksic
AT kovalevna vliânieobrabotkipoverhnostiinagrevanavysotupotencialʹnogobarʹerakontaktovksic
AT razgonovrn vliânieobrabotkipoverhnostiinagrevanavysotupotencialʹnogobarʹerakontaktovksic