Влияние обработки поверхности и нагрева на высоту потенциального барьера контактов к SiC

Проведен обзор работ, в которых исследовались контактные системы на карбиде кремния. Рассмотрено влияние различных факторов на выпрямляющие свойства контактов, а именно, влияние предварительной обработки поверхности образца до нанесения металла и термообработки сформированной системы "металл—ка...

Повний опис

Збережено в:
Бібліографічні деталі
Опубліковано в: :Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Дата:2001
Автори: Агеев, О.А., Светличный, А.М., Ковалев, Н.А., Разгонов, Р.Н.
Формат: Стаття
Мова:Russian
Опубліковано: Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 2001
Теми:
Онлайн доступ:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/70839
Теги: Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:Влияние обработки поверхности и нагрева на высоту потенциального барьера контактов к SiC / О.А. Агеев, А.М. Светличный, Н.А. Ковалев, Р.Н. Разгонов // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2001. — № 2. — С. 37-41. — Бібліогр.: 24 назв. — рос.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
id nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-70839
record_format dspace
spelling Агеев, О.А.
Светличный, А.М.
Ковалев, Н.А.
Разгонов, Р.Н.
2014-11-15T10:49:39Z
2014-11-15T10:49:39Z
2001
Влияние обработки поверхности и нагрева на высоту потенциального барьера контактов к SiC / О.А. Агеев, А.М. Светличный, Н.А. Ковалев, Р.Н. Разгонов // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2001. — № 2. — С. 37-41. — Бібліогр.: 24 назв. — рос.
2225-5818
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/70839
621.315.592
Проведен обзор работ, в которых исследовались контактные системы на карбиде кремния. Рассмотрено влияние различных факторов на выпрямляющие свойства контактов, а именно, влияние предварительной обработки поверхности образца до нанесения металла и термообработки сформированной системы "металл—карбид кремния" на высоту барьера. Проведен анализ экспериментальных данных.
ru
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Технология производства
Влияние обработки поверхности и нагрева на высоту потенциального барьера контактов к SiC
Article
published earlier
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection DSpace DC
title Влияние обработки поверхности и нагрева на высоту потенциального барьера контактов к SiC
spellingShingle Влияние обработки поверхности и нагрева на высоту потенциального барьера контактов к SiC
Агеев, О.А.
Светличный, А.М.
Ковалев, Н.А.
Разгонов, Р.Н.
Технология производства
title_short Влияние обработки поверхности и нагрева на высоту потенциального барьера контактов к SiC
title_full Влияние обработки поверхности и нагрева на высоту потенциального барьера контактов к SiC
title_fullStr Влияние обработки поверхности и нагрева на высоту потенциального барьера контактов к SiC
title_full_unstemmed Влияние обработки поверхности и нагрева на высоту потенциального барьера контактов к SiC
title_sort влияние обработки поверхности и нагрева на высоту потенциального барьера контактов к sic
author Агеев, О.А.
Светличный, А.М.
Ковалев, Н.А.
Разгонов, Р.Н.
author_facet Агеев, О.А.
Светличный, А.М.
Ковалев, Н.А.
Разгонов, Р.Н.
topic Технология производства
topic_facet Технология производства
publishDate 2001
language Russian
container_title Технология и конструирование в электронной аппаратуре
publisher Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
format Article
description Проведен обзор работ, в которых исследовались контактные системы на карбиде кремния. Рассмотрено влияние различных факторов на выпрямляющие свойства контактов, а именно, влияние предварительной обработки поверхности образца до нанесения металла и термообработки сформированной системы "металл—карбид кремния" на высоту барьера. Проведен анализ экспериментальных данных.
issn 2225-5818
url https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/70839
citation_txt Влияние обработки поверхности и нагрева на высоту потенциального барьера контактов к SiC / О.А. Агеев, А.М. Светличный, Н.А. Ковалев, Р.Н. Разгонов // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2001. — № 2. — С. 37-41. — Бібліогр.: 24 назв. — рос.
work_keys_str_mv AT ageevoa vliânieobrabotkipoverhnostiinagrevanavysotupotencialʹnogobarʹerakontaktovksic
AT svetličnyiam vliânieobrabotkipoverhnostiinagrevanavysotupotencialʹnogobarʹerakontaktovksic
AT kovalevna vliânieobrabotkipoverhnostiinagrevanavysotupotencialʹnogobarʹerakontaktovksic
AT razgonovrn vliânieobrabotkipoverhnostiinagrevanavysotupotencialʹnogobarʹerakontaktovksic
first_indexed 2025-12-07T17:48:36Z
last_indexed 2025-12-07T17:48:36Z
_version_ 1850872658053300224