Тепловые процессы в микролазерных устройствах информационных систем
Проведен комплексный анализ тепловых процессов в гетеролазерах и лазерных модулях скоростных волоконно-оптических систем. Приведена тепловая модель лазерного передатчика. Рассмотрены физико-технологические уровни обеспечения температурных режимов излучателя и устройства в целом. Обсуждаются механизм...
Gespeichert in:
| Datum: | 2000 |
|---|---|
| Hauptverfasser: | , , , , , |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | Russian |
| Veröffentlicht: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2000
|
| Schriftenreihe: | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| Schlagworte: | |
| Online Zugang: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/70924 |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Zitieren: | Тепловые процессы в микролазерных устройствах информационных систем / В.И. Осинский, В.Г. Вербицкий, Ю.Е. Николаенко, С.К. Жук, С.В. Бобженко, П.А. Мержвинский // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2000. — № 2-3. — С. 27-35. — Бібліогр.: 12 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-70924 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-709242025-02-09T15:01:14Z Тепловые процессы в микролазерных устройствах информационных систем Теплові процеси у мікролазерних пристроях інформаційних систем Heat processes in microlaser devices of information system Осинский, В.И. Вербицкий, В.Г. Николаенко, Ю.Е. Жук, С.К. Бобженко, С.В. Мержвинский, П.А. Обеспечение тепловых режимов аппаратуры Проведен комплексный анализ тепловых процессов в гетеролазерах и лазерных модулях скоростных волоконно-оптических систем. Приведена тепловая модель лазерного передатчика. Рассмотрены физико-технологические уровни обеспечения температурных режимов излучателя и устройства в целом. Обсуждаются механизмы тепловыделения в оптическом резонаторе лазера, показано их влияние на граничную частоту лазера и особенности сборки и герметизации элементов конструкции. Даны рекомендации по техническим и технологическим решениям для каждого из уровней термостабилизации микролазерных устройств. Предложена конструкция лазерного передатчика с тепловыми микротрубами. The comprehensive analysis of heat processes in heterolasers and laser modules of speed fiber-optic systems has been carried out. The heat model of laser transmitter has been given. The physic and process levels of temperature modes provision of emitter and device as a whole have been considered. The mechanisms of heat release in optical laser resonator is discussed, their influence on limit frequency of laser and peculiarity of assembly and hermetic encapsulation of design elements has been shown. The recommendations on engineering and technological solutions for every of from levels of heat setting of microlaser devices have been given. The construction of laser transmitter with heat micropipes has been proposed. Авторы выражают признательность к. т. н. А. А. Мержвинскому и А. А. Воронько за обсуждения и рекомендации при разработке модулей ВОЛС. 2000 Article Тепловые процессы в микролазерных устройствах информационных систем / В.И. Осинский, В.Г. Вербицкий, Ю.Е. Николаенко, С.К. Жук, С.В. Бобженко, П.А. Мержвинский // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2000. — № 2-3. — С. 27-35. — Бібліогр.: 12 назв. — рос. 2225-5818 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/70924 621.315.592 ru Технология и конструирование в электронной аппаратуре application/pdf Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| language |
Russian |
| topic |
Обеспечение тепловых режимов аппаратуры Обеспечение тепловых режимов аппаратуры |
| spellingShingle |
Обеспечение тепловых режимов аппаратуры Обеспечение тепловых режимов аппаратуры Осинский, В.И. Вербицкий, В.Г. Николаенко, Ю.Е. Жук, С.К. Бобженко, С.В. Мержвинский, П.А. Тепловые процессы в микролазерных устройствах информационных систем Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| description |
Проведен комплексный анализ тепловых процессов в гетеролазерах и лазерных модулях скоростных волоконно-оптических систем. Приведена тепловая модель лазерного передатчика. Рассмотрены физико-технологические уровни обеспечения температурных режимов излучателя и устройства в целом. Обсуждаются механизмы тепловыделения в оптическом резонаторе лазера, показано их влияние на граничную частоту лазера и особенности сборки и герметизации элементов конструкции. Даны рекомендации по техническим и технологическим решениям для каждого из уровней термостабилизации микролазерных устройств. Предложена конструкция лазерного передатчика с тепловыми микротрубами. |
| format |
Article |
| author |
Осинский, В.И. Вербицкий, В.Г. Николаенко, Ю.Е. Жук, С.К. Бобженко, С.В. Мержвинский, П.А. |
| author_facet |
Осинский, В.И. Вербицкий, В.Г. Николаенко, Ю.Е. Жук, С.К. Бобженко, С.В. Мержвинский, П.А. |
| author_sort |
Осинский, В.И. |
| title |
Тепловые процессы в микролазерных устройствах информационных систем |
| title_short |
Тепловые процессы в микролазерных устройствах информационных систем |
| title_full |
Тепловые процессы в микролазерных устройствах информационных систем |
| title_fullStr |
Тепловые процессы в микролазерных устройствах информационных систем |
| title_full_unstemmed |
Тепловые процессы в микролазерных устройствах информационных систем |
| title_sort |
тепловые процессы в микролазерных устройствах информационных систем |
| publisher |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| publishDate |
2000 |
| topic_facet |
Обеспечение тепловых режимов аппаратуры |
| url |
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/70924 |
| citation_txt |
Тепловые процессы в микролазерных устройствах информационных систем / В.И. Осинский, В.Г. Вербицкий, Ю.Е. Николаенко, С.К. Жук, С.В. Бобженко, П.А. Мержвинский // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2000. — № 2-3. — С. 27-35. — Бібліогр.: 12 назв. — рос. |
| series |
Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| work_keys_str_mv |
AT osinskijvi teplovyeprocessyvmikrolazernyhustrojstvahinformacionnyhsistem AT verbickijvg teplovyeprocessyvmikrolazernyhustrojstvahinformacionnyhsistem AT nikolaenkoûe teplovyeprocessyvmikrolazernyhustrojstvahinformacionnyhsistem AT žuksk teplovyeprocessyvmikrolazernyhustrojstvahinformacionnyhsistem AT bobženkosv teplovyeprocessyvmikrolazernyhustrojstvahinformacionnyhsistem AT meržvinskijpa teplovyeprocessyvmikrolazernyhustrojstvahinformacionnyhsistem AT osinskijvi teplovíprocesiumíkrolazernihpristroâhínformacíjnihsistem AT verbickijvg teplovíprocesiumíkrolazernihpristroâhínformacíjnihsistem AT nikolaenkoûe teplovíprocesiumíkrolazernihpristroâhínformacíjnihsistem AT žuksk teplovíprocesiumíkrolazernihpristroâhínformacíjnihsistem AT bobženkosv teplovíprocesiumíkrolazernihpristroâhínformacíjnihsistem AT meržvinskijpa teplovíprocesiumíkrolazernihpristroâhínformacíjnihsistem AT osinskijvi heatprocessesinmicrolaserdevicesofinformationsystem AT verbickijvg heatprocessesinmicrolaserdevicesofinformationsystem AT nikolaenkoûe heatprocessesinmicrolaserdevicesofinformationsystem AT žuksk heatprocessesinmicrolaserdevicesofinformationsystem AT bobženkosv heatprocessesinmicrolaserdevicesofinformationsystem AT meržvinskijpa heatprocessesinmicrolaserdevicesofinformationsystem |
| first_indexed |
2025-11-27T04:05:27Z |
| last_indexed |
2025-11-27T04:05:27Z |
| _version_ |
1849914904337711104 |
| fulltext |
Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 2000, ¹ 2�3 27
ÎÁÅÑÏÅ×ÅÍÈÅ ÒÅÏËÎÂÛÕ ÐÅÆÈÌΠÀÏÏÀÐÀÒÓÐÛ
Äàòà ïîñòóïëåíèÿ â ðåäàêöèþ
15.03 2000 ã.
Îïïîíåíòû ä. ò. í. Â. À. ÐÎÌÀÍÎÂ,
Â. Ì. ÌÀÐÊÓÑ
Ä. ò. í. Â. È. ÎÑÈÍÑÊÈÉ, ê. ò. í. Â. Ã. ÂÅÐÁÈÖÊÈÉ,
ê. ò. í. Þ. Å. ÍÈÊÎËÀÅÍÊÎ, ê. ò. í. Ñ. Ê. ÆÓÊ,
Ñ. Â. ÁÎÁÆÅÍÊÎ, Ï. À. ÌÅÐÆÂÈÍÑÊÈÉ
Óêðàèíà, ã. Êèåâ, ÍÈÈ Ìèêðîïðèáîðîâ, Ãîñêîìèòåò ïðîìûø-
ëåííîé ïîëèòèêè, ÍÒÓÓ "Êèåâñêèé ïîëèòåõí. èí-ò"
Ðàññìîòðåíû ôèçè÷åñêèå è êîíñòðóê-
òèâíî-òåõíîëîãè÷åñêèå àñïåêòû îõëàæ-
äåíèÿ è òåìïåðàòóðíîé ñòàáèëèçàöèè
ìèêðîëàçåðíûõ óñòðîéñòâ äëÿ âîëî-
êîííî-îïòè÷åñêèõ ëèíèé ñâÿçè.
Ïîòðåáíîñòè ñîâðåìåííîãî îáùåñòâà â îáðàáîò-
êå è ïåðåäà÷å áîëüøèõ îáúåìîâ èíôîðìàöèè óäîâ-
ëåòâîðÿþòñÿ óâåëè÷åíèåì ñòåïåíè èíòåãðàöèè òðàí-
çèñòîðíûõ ýëåìåíòîâ è îñâîåíèåì ñâåðõâûñîêî÷àñ-
òîòíîãî è îïòè÷åñêîãî äèàïàçîíîâ ÷àñòîò. Óìåíü-
øåíèå ðàçìåðîâ ýëåìåíòîâ è óâåëè÷åíèå èõ êîëè÷å-
ñòâà â çàìêíóòîì îáúåìå óñòðîéñòâà ïðèâîäèò ê
óâåëè÷åíèþ òåïëîâûäåëåíèÿ â åäèíèöå îáúåìà è
ðîñòó òåìïåðàòóðû àêòèâíûõ çîí ïîëóïðîâîäíèêî-
âûõ ïðèáîðîâ. Íåñìîòðÿ íà ðåêîðäíûé êïä ïðåîá-
ðàçîâàíèÿ ýëåêòðè÷åñêîé ýíåðãèè â îïòè÷åñêóþ, äî-
ñòèãàþùèé 70%, ïîëóïðîâîäíèêîâûå ëàçåðû ÿâëÿ-
þòñÿ íàèáîëåå ìîùíûìè ýëåìåíòàìè ìèêðîñõåì [1],
òåìïåðàòóðíàÿ ñòàáèëüíîñòü êîòîðûõ ñóùåñòâåííî
âëèÿåò íà èíôîðìàöèîííûå è ýêñïëóàòàöèîííûå õà-
ðàêòåðèñòèêè óñòðîéñòâ, èõ òåõíîëîãè÷åñêóþ è ôóí-
êöèîíàëüíóþ èíòåãðàöèþ [2]. Èññëåäîâàíèå òåïëî-
âûõ ïðîöåññîâ ñ öåëüþ òåðìîñòàáèëèçàöèè ìèêðî-
ëàçåðíûõ óñòðîéñòâ ìîæåò ïðîâîäèòüñÿ íà ðàçëè÷-
íûõ ôèçèêî-òåõíîëîãè÷åñêèõ óðîâíÿõ èõ ñîçäàíèÿ
è ôóíêöèîíèðîâàíèÿ:
1. Àòîìíî-ìîëåêóëÿðíûé óðîâåíü ïðåäïîëàãàåò
èçó÷åíèå âçàèìîäåéñòâèÿ ýëåêòðîíîâ ñ ôîíîíàìè
êðèñòàëëè÷åñêîé ðåøåòêè è åãî âëèÿíèÿ íà êâàíòî-
âûé âûõîä èçëó÷åíèÿ è ïîãëîùåíèÿ ýíåðãèè àòîìà-
ìè ðåøåòêè. Ýòîò óðîâåíü îïðåäåëÿåò, êàê îáðàçóåò-
ñÿ èñòî÷íèê òåïëîâûäåëåíèÿ.
2. Ïðèáîðíûé óðîâåíü ðàññìàòðèâàåò îòâîä òåï-
ëà îò àêòèâíîé çîíû ÷èïà è êîðïóñà ìèêðîëàçåðà.
3. Ñõåìíûé óðîâåíü ïðåäóñìàòðèâàåò àíàëèç òåï-
ëîâîãî âçàèìîäåéñòâèÿ ìèêðîëàçåðà ñ äðóãèìè ýëå-
ìåíòàìè ìèêðîñõåì, ïå÷àòíûõ ïëàò è óñòðîéñòâ â
öåëîì.
4. Àðõèòåêòîííûé óðîâåíü îïðåäåëÿåò ïóòè òåð-
ìîñòàáèëèçàöèè õàðàêòåðèñòèê ìèêðîëàçåðîâ è óñò-
ðîéñòâ íà èõ îñíîâå. Ðåøåíèÿ ìîãóò áûòü ðåàëè-
çîâàíû íà àòîìíîì óðîâíå, òåïëîôèçè÷åñêîì è êèáåð-
íåòè÷åñêîì ñ àâòîìàòè÷åñêîé ñèñòåìîé ðåãóëèðîâàíèÿ.
Êàæäûé èç ýòèõ ïîäõîäîâ èìååò ìíîæåñòâî êîí-
êðåòíûõ ðåøåíèé, êîòîðûå çàâèñÿò îò óðîâíÿ òåõ-
íîëîãèè è òåõíèêî-ýêîíîìè÷åñêîé öåëåñîîáðàçíîñòè.
 íàñòîÿùåé ðàáîòå ðàññìîòðåíû ôèçè÷åñêèå è
êîíñòðóêòèâíî-òåõíîëîãè÷åñêèå àñïåêòû òåìïåðàòóð-
íîé ñòàáèëèçàöèè ìèêðîëàçåðíûõ óñòðîéñòâ äëÿ
âîëîêîííî-îïòè÷åñêèõ ëèíèé ñâÿçè (ÂÎËÑ). Ïî-
ýòîìó àíàëèçèðóþòñÿ ïðîöåññû â ãåòåðîëàçåðàõ íà
îñíîâå àðñåíèäà�ôîñôèäà ãàëëèÿ�èíäèÿ, èçëó÷à-
þùèå â îêíàõ ïðîçðà÷íîñòè êâàðöåâîãî îïòîâîëîê-
íà 1,3 è 1,55 ìêì.
Òåìïåðàòóðíàÿ ñòàáèëèçàöèÿ âíóòðåííåãî
êâàíòîâîãî âûõîäà èçëó÷àþùèõ ñòðóêòóð
Òåîðåòè÷åñêè ïðè íèçêèõ òåìïåðàòóðàõ âíóòðåí-
íèé êâàíòîâûé âûõîä ðåêîìáèíàöèîííîãî èçëó÷å-
íèÿ η ïðÿìîçîííûõ ïîëóïðîâîäíèêîâ òèïà àðñåíè-
äà ãàëëèÿ ðàâåí 100%, ò. å. èçëó÷àòåëüíàÿ ðåêîìáè-
íàöèÿ ïðîèñõîäèò áåç îáðàçîâàíèÿ ôîíîíîâ. Îäíà-
êî ñ ïîâûøåíèåì òåìïåðàòóðû T ÷àñòü ýíåðãèè êâàí-
òîâûõ ïåðåõîäîâ ðàñõîäóåòñÿ íà êîëåáàíèÿ êðèñ-
òàëëè÷åñêîé ðåøåòêè.
Ýíåðãèÿ òåïëîâûõ êîëåáàíèé êðèñòàëëè÷åñêîé
ðåøåòêè Eô õàðàêòåðèçóåòñÿ ñðåäíåêâàäðàòè÷íûìè
äèíàìè÷åñêèìè ñìåùåíèÿìè àòîìîâ Uäèí
2 è ñâÿçàíà
ñ õàðàêòåðèñòè÷åñêèìè òåìïåðàòóðàìè. Ñðàâíåíèå
îòíîñèòåëüíîãî êâàíòîâîãî âûõîäà èçëó÷àòåëüíîé
ðåêîìáèíàöèè ñ ñîîòâåòñòâóþùèìè çíà÷åíèÿìè õà-
ðàêòåðèñòè÷åñêèõ òåìïåðàòóð θ ïîçâîëÿåò ïîñòðî-
èòü çàâèñèìîñòü èíòåãðàëüíîé èíòåíñèâíîñòè ðåêîì-
áèíàöèîííîãî èçëó÷åíèÿ Ô îò ýíåðãèè ôîíîíîâ êðè-
ñòàëëè÷åñêîé ðåøåòêè Eô. Âåëè÷èíó Uäèí
2
ìîæíî
îïðåäåëèòü êàê
U
h T
km T Täèí
2
2
2 2
3
4 4
=
+
π θ
θ θΦ ,
Ñðàâíåíèå òåìïåðàòóðíîé çàâèñèìîñòè èíòåíñèâ-
íîñòè èçëó÷àòåëüíîé ðåêîìáèíàöèè p�n-ïåðåõîäîâ
â àðñåíèäå ãàëëèÿ, ôîñôèäå èíäèÿ è òâåðäûõ ðà-
ÒÅÏËÎÂÛÅ ÏÐÎÖÅÑÑÛ Â ÌÈÊÐÎËÀÇÅÐÍÛÕ
ÓÑÒÐÎÉÑÒÂÀÕ ÈÍÔÎÐÌÀÖÈÎÍÍÛÕ ÑÈÑÒÅÌ
ãäå h �
k �
m �
Φ θ
T
�
ïîñòîÿííàÿ Ïëàíêà;
ïîñòîÿííàÿ Áîëüöìàíà;
ñðåäíÿÿ ýôôåêòèâíàÿ ìàññà èîíîâ;
ôóíêöèÿ Äåáàÿ, îïðåäåëÿåòñÿ èç òàáëèö äëÿ
êàæäîãî çíà÷åíèÿ (θ/Ò).
Àâòîðû âûðàæàþò ïðèçíàòåëüíîñòü ê. ò. í. À. À. Ìåðæâèí-
ñêîìó è À. À. Âîðîíüêî çà îáñóæäåíèÿ è ðåêîìåíäàöèè ïðè
ðàçðàáîòêå ìîäóëåé ÂÎËÑ.
4*
Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 2000, ¹ 2�3
28
ñòâîðàõ InGaAsP ñ ñîîòâåòñòâóþùèìè òåìïåðàòóð-
íûìè èçìåíåíèÿìè ñðåäíåêâàäðàòè÷íûõ äèíàìè÷åñ-
êèõ ñìåùåíèé ïîêàçàëî, ÷òî ñóùåñòâåííîå óìåíüøå-
íèå èíòåíñèâíîñòè ïðîèñõîäèò ïðè òåõ æå òåìïåðà-
òóðàõ, ÷òî è ñóùåñòâåííîå âîçðàñòàíèå ñðåäíåêâàä-
ðàòè÷íûõ äèíàìè÷åñêèõ ñìåùåíèé [3, ñ. 217�220].
Ââåäåì äîïóùåíèå, ÷òî èíòåíñèâíîñòü èçëó÷àòåëü-
íîé ðåêîìáèíàöèè Ô(Ò) óìåíüøàåòñÿ ïî ýêñïîíåíöè-
àëüíîìó çàêîíó ïðè âîçðàñòàíèè âåëè÷èíû Uäèí
2 , ò. å.
Φ
Φ
( )
exp äèí
T
C R U
0
2=
,
Òîãäà â ïðÿìîçîííûõ ïîëóïðîâîäíèêàõ ñ êàíà-
ëàìè áåçûçëó÷àòåëüíîé ðåêîìáèíàöèè êâàíòîâûé âû-
õîä êðàåâîé ëþìèíåñöåíöèè îáðàòíî ïðîïîðöèîíà-
ëåí ñðåäíåêâàäðàòè÷íûì ñìåùåíèÿì àòîìîâ ðåøåòêè:
ln
( ) äèí
Φ
Φ
0 2
T
A R U= + ,
ãäå
Φ
Φ
0
( )T
� âåëè÷èíà, îáðàòíàÿ îòíîñèòåëüíîìó êâàí-
òîâîìó âûõîäó èçëó÷àòåëüíîé ðåêîìáèíàöèè, à êîíñòàí-
òà À=åõðÑ õàðàêòåðèçóåò èíòåíñèâíîñòü èçëó÷àòåëüíîé
ðåêîìáèíàöèè ïðè îòñóòñòâèè êîëåáàíèé êðèñòàëëè÷åñ-
êîé ðåøåòêè.
Ïðîâåäåííûå ñðàâíèòåëüíûå èññëåäîâàíèÿ òåì-
ïåðàòóðíîé çàâèñèìîñòè êâàíòîâîãî âûõîäà èçëó÷à-
òåëüíîé ðåêîìáèíàöèè íà äèîäàõ èç ìàòåðèàëîâ ñ
ðàçëè÷íîé äèíàìèêîé ðåøåòêè ïîêàçàëè, ÷òî îíà îêà-
çûâàåò ñóùåñòâåííîå âëèÿíèå íà çàâèñèìîñòü Ô(Ò)
÷åðåç ïîñðåäñòâî ïðîìåæóòî÷íûõ öåíòðîâ ðåêîìáè-
íàöèè. Ïðè íàëè÷èè äîïîëíèòåëüíîãî êàíàëà ðåêîì-
áèíàöèè êâàíòîâûé âûõîä èçëó÷åíèÿ η óìåíüøàåò-
ñÿ ñ ïîâûøåíèåì òåìïåðàòóðû ïî çàêîíó
η β
σ
β
β
= = + +np Ò
Ò
N
Ð
1 1á
è
( )
( )
,
Äàííîå ôåíîìåíîëîãè÷åñêîå ñîîòíîøåíèå ïîêà-
çûâàåò âîçìîæíîñòü ñìåíû õàðàêòåðà òåìïåðàòóð-
íîé çàâèñèìîñòè êâàíòîâîãî âûõîäà èçëó÷åíèÿ η(Ò)~
~βè(T) è, ñëåäîâàòåëüíî, Ô(Ò) èç îòðèöàòåëüíîé íà
ïîëîæèòåëüíóþ, ò. å. âîçìîæíî âîçðàñòàíèå èíòåí-
ñèâíîñòè èçëó÷åíèÿ ñ ïîâûøåíèåì òåìïåðàòóðû.
Õàðàêòåð òåìïåðàòóðíîé çàâèñèìîñòè èçëó÷åíèÿ
îïðåäåëÿåòñÿ íåñêîëüêèìè ðåêîìáèíàöèîííûìè ïðî-
öåññàìè, îñíîâíûìè èç êîòîðûõ ÿâëÿþòñÿ:
� èçëó÷àòåëüíûå ìåæçîííûå ïåðåõîäû, êîòîðûå
îáóñëàâëèâàþò êðàåâîå èçëó÷åíèå;
� èçëó÷àòåëüíûå ïåðåõîäû ìåæäó óðîâíÿìè ëî-
âóøå÷íûõ êîìïëåêñîâ «âàêàíñèÿ�ïðèìåñü» è çî-
íîé èëè ìåæäó îñíîâíûì è âîçáóæäåííûì ñîñòîÿ-
íèåì öåíòðîâ çàõâàòà;
� áåçûçëó÷àòåëüíûå ïåðåõîäû, ýôôåêòèâíîñòü
êîòîðûõ âîçðàñòàåò ñ âîçðàñòàíèåì òåìïåðàòóðû.
Ýêñïåðèìåíòàëüíûìè èññëåäîâàíèÿìè ôîòîëþ-
ìèíåñöåíöèè àðñåíèäà ãàëëèÿ, èíæåêöèîííîé ëþìè-
íåñöåíöèè p�n- è p+�n-ïåðåõîäîâ, îäèíî÷íûõ è
äâîéíûõ ãåòåðîñòðóêòóð óñòàíîâëåíî, ÷òî ó÷àñòîê
ïîëîæèòåëüíîé òåìïåðàòóðíîé çàâèñèìîñòè ïðè ðà-
áî÷èõ òåìïåðàòóðàõ îïòîýëåêòðîííûõ ïðèáîðîâ íà-
áëþäàåòñÿ â àðñåíèäå ãàëëèÿ n-òèïà, à åãî òåìïåðà-
òóðíûé èíòåðâàë â äîïóùåíèè ïàðàáîëè÷åñêèõ êðà-
åâ çîí è íèçêîé êîíöåíòðàöèè íîñèòåëåé îïðåäåëÿ-
åòñÿ èç óðàâíåíèÿ [4]
E
kT
E
kT
Ò
Ò
n
n
g g
2 1
2
1
02
01
3− = −ln ln ,
 àðñåíèäå ãàëëèÿ p-òèïà â èññëåäóåìîì èí-
òåðâàëå òåìïåðàòóðíûé êîýôôèöèåíò èíòåíñèâíîñ-
òè âñåãäà îòðèöàòåëüíûé [4].
Äëÿ ìåæçîííûõ ïðÿìûõ ïåðåõîäîâ, äëÿ êîòî-
ðûõ âûïîëíÿåòñÿ ïðàâèëî îòáîðà ïî âîëíîâîìó âåê-
òîðó, ïðîâåäåí ìàøèííûé ýêñïåðèìåíò ïî îïðåäåëå-
íèþ âëèÿíèÿ òåìïåðàòóðû íà ñêîðîñòü èçëó÷àòåëü-
íîé ðåêîìáèíàöèè γ(E,T) àðñåíèäà ãàëëèÿ[5] è ôîñ-
ôèäà èíäèÿ. Äëÿ ðàñ÷åòîâ èñïîëüçîâàëîñü ñîîòíî-
øåíèå
γ
α
α
α
ν
ν
ν
ν ν
( , )
exp
exp ,
E T
A E T
m
m m
E T
kT
F E
kT
m
m m
E T
kT
F E
kT
c
c c
c
c
=
= ′ − +
−
+
−
−
×
× − −
−
+ − −
∆
∆
∆
1
1
Êîýôôèöèåíò
À′ îïðåäåëÿåòñÿ ÷åðåç êîíñòàíòû ìàòåðèà-
ëà è äëÿ àðñåíèäà ãàëëèÿ ðàâåí 3·1027 ýÂ�1ñ�1ñì�3, äëÿ
àðñåíèäà�ôîñôèäà èíäèÿ À′=7·1025 ýÂ�1ñ�1ñì�3; α � êà-
ëèáðîâî÷íûé êîýôôèöèåíò øêàëû òåìïåðàòóð.
Ìàøèííûé ðàñ÷åò ïîçâîëÿåò îïðåäåëèòü ïîëî-
æåíèÿ óðîâíÿ Ôåðìè, ïðè êîòîðûõ ðåàëèçóþòñÿ ïî-
ëîæèòåëüíàÿ, íóëåâàÿ èëè îòðèöàòåëüíàÿ òåìïåðà-
òóðíûå çàâèñèìîñòè èíòåíñèâíîñòè èçëó÷åíèÿ
èíòåíñèâíîñòü ðåêîìáèíàöèîííîãî èçëó÷åíèÿ
ïðè 77 Ê;
êîíñòàíòà;
êîýôôèöèåíò, êîòîðûé çàâèñèò îò êîíöåíòðà-
öèè ïðèìåñåé, äåôåêòîâ è êîíêðåòíîãî ìåõà-
íèçìà ðåêîìáèíàöèè.
ãäå Ô0 �
Ñ �
R �
ãäå Åg �
Ò1 è Ò2 �
n01, n02 �
øèðèíà çàïðåùåííîé çîíû;
òåìïåðàòóðû ìàêñèìóìîâ ðåêîìáèíàöèîí-
íîãî èçëó÷åíèÿ êîíêóðèðóþùåãî êàíàëà â
èññëåäóåìîì è êîíòðîëüíîì îáðàçöàõ, ñî-
îòâåòñòâåííî;
ñîîòâåòñòâóþùèå êîíöåíòðàöèè íîñèòåëåé.
âåðîÿòíîñòü ðåêîìáèíàöèè;
êîíöåíòðàöèè ñâîáîäíûõ ýëåêòðîíîâ è äûðîê,
ñîîòâåòñòâåííî;
ñêîðîñòü ãåíåðàöèè ýëåêòðîííî-äûðî÷íûõ ïàð;
âåðîÿòíîñòè èçëó÷àòåëüíîé è áåçûçëó÷àòåëüíîé
ðåêîìáèíàöèè, ñîîòâåòñòâåííî;
ïëîòíîñòü öåíòðîâ çàõâàòà äûðîê;
êîíöåíòðàöèÿ öåíòðîâ ãåíåðàöèè äûðîê.
ãäå β �
n, p �
σ �
βè, βá �
N1 �
Ð �
ãäå À′, α �
∆E �
mc, mν �
Fc, Fν �
Ec, Eν �
êîýôôèöèåíòû;
ðàçíîñòü ýíåðãèè èñïóùåííîãî êâàíòà è øè-
ðèíû çàïðåùåííîé çîíû;
ýôôåêòèâíûå ìàññû ýëåêòðîíîâ è äûðîê;
êâàçèóðîâíè Ôåðìè;
ñîîòâåòñòâóþùèå êðàÿ çîí ïðîâîäèìîñòè è
âàëåíòíîé.
ÎÁÅÑÏÅ×ÅÍÈÅ ÒÅÏËÎÂÛÕ ÐÅÆÈÌΠÀÏÏÀÐÀÒÓÐÛ
Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 2000, ¹ 2�3 29
(ðèñ. 1). Òàêèì îáðàçîì, âûáîð ïðèìåñíîãî ñîñòà-
âà è ñòåïåíè ëåãèðîâàíèÿ àêòèâíîé îáëàñòè èçëó÷à-
òåëåé ïîçâîëÿåò óìåíüøèòü âëèÿíèå òåìïåðàòóðû íà
âíóòðåííèé êâàíòîâûé âûõîä, à ñëåäîâàòåëüíî, íà
èíòåíñèâíîñòü èçëó÷åíèÿ.
 ëàçåðíûõ äèîäàõ ýíåðãèÿ áåçûçëó÷àòåëüíûõ
ïåðåõîäîâ ïåðåäàåòñÿ ïðîäîëüíûì îïòè÷åñêèì ôî-
íîíàì. Â ìíîãîêîìïîíåíòíîé ñèñòåìå InGaAsP ýíåð-
ãèÿ ïåðåäàåòñÿ ðåøåòêå ïðè ðàññåÿíèè íà àòîìàõ
èíäèÿ, ãàëëèÿ, ìûøüÿêà è ôîñôîðà. (Ñóùåñòâóåò è
îáðàòíûé ïðîöåññ îòáîðà ïîäâèæíûìè íîñèòåëÿìè
ýíåðãèè îò ðåøåòêè; â ñèñòåìå ìîæåò óñòàíîâèòüñÿ
ðàâíîâåñèå.) Äåòàëüíûé àíàëèç ìåõàíèçìîâ ïîãëî-
ùåíèÿ è èñïóñêàíèÿ ôîòîíîâ è ôîíîíîâ â òâåðäûõ
ðàñòâîðàõ AlGaAs è InGaAsP ïîêàçûâàåò, ÷òî ýíåð-
ãèÿ íîñèòåëåé (ýëåêòðîíîâ è äûðîê) âñåãäà áîëü-
øå ýíåðãèè ðåøåòêè, ÷òî ðàâíîñèëüíî ñîîòâåòñòâó-
þùèì çíà÷åíèÿì èõ òåìïåðàòóð (ðèñ. 2). Ïîýòîìó
ïðè êîíñòðóèðîâàíèè ãåòåðîñòðóêòóð ñâåòîäèîäîâ
è ëàçåðîâ ãîðÿ÷èå íîñèòåëè íåîáõîäèìî îòâîäèòü â
õîëîäíûå çîíû.
Ãåòåðîñòðóêòóðû ëàçåðîâ äëÿ ÂÎËÑ
Ðàññìîòðåííûå òåïëîâûå ïðîöåññû ñóùåñòâåííî
âëèÿþò íà ãðàíè÷íóþ ÷àñòîòó ëàçåðîâ, êîòîðàÿ óìåíü-
øàåòñÿ ïðè âîçðàñòàíèè òåìïåðàòóðû, îáóñëîâëåí-
íîì óâåëè÷åíèåì òîêà íàêà÷êè. Ýòî ÿâëÿåòñÿ ãëàâ-
íûì îãðàíè÷åíèåì áûñòðîäåéñòâèÿ ëàçåðíûõ ìîäó-
ëåé â îáëàñòè äî 2�5 ÃÃö, êîòîðîå íåîáõîäèìî ó÷è-
òûâàòü ïðè âûáîðå ñòðóêòóðû ëàçåðîâ è êîíñòðóê-
öèè ìîäóëåé äëÿ ñêîðîñòíûõ ÂÎËÑ.
Êàê âèäíî èç ðèñ. 2, òåìïåðàòóðà äûðîê íèæå
òåìïåðàòóðû ýëåêòðîíîâ ïðè òåõ æå óñëîâèÿõ âîç-
áóæäåíèÿ. Ýòî îçíà÷àåò, ÷òî äëÿ óâåëè÷åíèÿ ãðà-
íè÷íîé ÷àñòîòû íåîáõîäèìî àêòèâíóþ îáëàñòü ëàçå-
ðîâ ëåãèðîâàòü ïðèìåñÿìè p-òèïà. Óñèëåíèå â ëàçå-
ðàõ ïðÿìî ïðîïîðöèîíàëüíî ðàçíîñòè ýíåðãèé óðîâ-
íåé Ôåðìè çîíû ïðîâîäèìîñòè è âàëåíòíîé çîíû.
Èç-çà ìåíüøåé êðèâèçíû ïëîòíîñòü ñîñòîÿíèé âà-
ëåíòíîé çîíû íàìíîãî áîëüøå, ÷åì â çîíå ïðîâîäè-
ìîñòè.  ýòîì ñëó÷àå êâàçèóðîâåíü Ôåðìè îñòàåòñÿ
â çàïðåùåííîé çîíå ïðè áîëåå âûñîêèõ ïëîòíîñòÿõ
íîñèòåëåé, ÷åì â ñëó÷àå, êîãäà êðèâèçíà âàëåíòíîé
çîíû àíàëîãè÷íà êðèâèçíå çîíû ïðîâîäèìîñòè. Ýòîãî
ìîæíî äîñòèãíóòü â íàïðÿæåííûõ ñòðóêòóðàõ, â êî-
òîðûõ ïðîèñõîäèò ìåõàíè÷åñêàÿ äåôîðìàöèÿ êðèñ-
òàëëè÷åñêîé ðåøåòêè.  ñòðóêòóðàõ ñ êâàíòîâûìè
ÿìàìè íàíîîáëàñòü ÿìû îêàçûâàåòñÿ çàæàòîé â ìàò-
ðèöå äðóãîãî ñîñòàâà ñ áîëüøåé Eg. Íà ïðàêòèêå
êâàíòîâûå ÿìû ñîäåðæàò âûñîêóþ êîíöåíòðàöèþ
èíäèÿ, à îêðóæàþùèå îáëàñòè èìåþò ïîâûøåííóþ
êîíöåíòðàöèþ ãàëëèÿ è ôîñôîðà. Îöåíêè ïîëó÷åí-
íûõ íàìè ñòðóêòóð ñ êâàíòîâûìè òî÷êàìè â ñèñòå-
ìå InGaAsP [6] äàþò çíà÷åíèå äèôôåðåíöèàëüíîãî
óñèëåíèÿ 7·10�16 ñì2, ÷òî ÿâëÿåòñÿ ïðèåìëåìîé âå-
ëè÷èíîé äëÿ ëàçåðîâ ñ ãðàíè÷íûìè ÷àñòîòàìè äî
~20 ÃÃö. Îäíàêî â ðåàëüíûõ ïðèáîðàõ áîëåå ñóùå-
ñòâåííûìè ÿâëÿþòñÿ îãðàíè÷åíèÿ RC-ïàðàçèòíûìè
öåïÿìè è òåïëîâûì ñîïðîòèâëåíèåì ñòðóêòóð.
Ñïåöèàëüíûå ìåòîäû ìîíòàæà êðèñòàëëîâ ëàçå-
ðîâ ïîçâîëÿþò ìèíèìèçèðîâàòü òåïëîâîå ñîïðîòèâ-
ëåíèå è ðåàëèçîâûâàòü ÷àñòîòû, ñîñòàâëÿþùèå 70�
80% îò ãðàíè÷íîé. Äëÿ ìîäóëåé ÂÎËÑ äî íåñêîëü-
êèõ ñîòåí ÌÃö îáû÷íî ïðèìåíÿþòñÿ ñòðóêòóðû íà
ñèëüíîëåãèðîâàííûõ ïîäëîæêàõ n+-InP (ðèñ. 3, à).
Äëÿ áîëåå âûñîêèõ ÷àñòîò, îñîáåííî â ãèãàáèòíîì
äèàïàçîíå, ëó÷øèå ðåçóëüòàòû ïî ãðàíè÷íîé ÷àñòîòå
äàþò ìåçàïîëîñêîâûå ñòðóêòóðû (ðèñ. 3, á), êîòî-
ðûå ïîëó÷àþòñÿ ïðåöèçèîííûì ïëàçìåííûì òðàâ-
ëåíèåì ÷åðåç ìàñêó èç òóãîïëàâêîãî ìàòåðèàëà [7].
Íàèáîëüøåå ïðèìåíåíèå íàõîäÿò ïîëóïðîâîäíè-
êîâûå ëàçåðû íà îñíîâå òâåðäûõ ðàñòâîðîâ InGaAsP,
óæå â ïåðâîé ðàáîòå ïî êîòîðûì [3] óñòàíîâëåíà
áîëåå ñëàáàÿ òåìïåðàòóðíàÿ çàâèñèìîñòü èçëó÷åíèÿ,
÷åì â ôîñôèäå èíäèÿ è àðñåíèäå ãàëëèÿ. Êîíñòðóê-
òèâíî ëàçåðû äëÿ ÂÎËÑ îáû÷íî ïðåäñòàâëÿþò ñî-
áîé ìåçàïîëîñêîâóþ çàðîùåííóþ ñòðóêòóðó ñ øè-
ðèíîé ïîëîñêà îêîëî 1 ìêì (ðèñ. 3). Âàòò-àìïåðíûå
õàðàêòåðèñòèêè ÿâëÿþòñÿ ëèíåéíûìè â øèðîêîì äè-
àïàçîíå òîêîâ è â äèàïàçîíå òåìïåðàòóð îò �40 äî
+70îÑ (ðèñ. 4). Òàêèå ëàçåðû â ðàáî÷åé òî÷êå, êî-
òîðàÿ îáû÷íî âûáèðàåòñÿ ïðè òîêàõ, â 1,5�2 ðàçà
áîëüøèõ ïîðîãîâîãî çíà÷åíèÿ Iïîð, ÿâëÿþòñÿ îäíî-
ìîäîâûìè, îäíàêî ïðè ìåíüøèõ òîêàõ èìååòñÿ ìíî-
ãî ìîä, ÷èñëî êîòîðûõ âîçðàñòàåò ïðè ïîâûøåíèè
òåìïåðàòóðû ëàçåðà (ðèñ. 4, âñòàâêè).
ÎÁÅÑÏÅ×ÅÍÈÅ ÒÅÏËÎÂÛÕ ÐÅÆÈÌΠÀÏÏÀÐÀÒÓÐÛ
300
350
400
450
500
0 5 10 15 20 25 30
I í, ìÀ
Ò
,
Ê
Al e
In e
In ðåø
Al ðåø
Al ä
In ä
Ðèñ. 2. Ñðàâíåíèå çàâèñèìîñòåé òåìïåðàòóð ýëåêòðî-
íîâ (å), äûðîê (ä) è êðèñòàëëè÷åñêîé ðåøåòêè (ðåø)
îò òîêà íàêà÷êè Ií äëÿ ëàçåðîâ AlGaAs/GaAs (Al) è
InGaAsP/InP (In) ñ îäíîé êâàíòîâîé ÿìîé
2
4
3
1
Ðèñ. 1. Òåìïåðàòóðíûå çàâèñèìîñòè èçëó÷åíèÿ:
1 � p-InGaAs; 2 �ïðèìåñíàÿ ïîëîñà â n-InGaAs; 3 �îñíîâ-
íàÿ ïîëîñà n-InGaAs ñ êîìïåíñèðóþùèì ïðèìåñíûì êàíàëîì
ðåêîìáèíàöèè; 4 �ñâåòîèçëó÷àþùèé äèîä ñ âíåøíåé òåìïå-
ðàòóðíîé ñòàáèëèçàöèåé
100 200 300 400
Òåìïåðàòóðà, Ê
3
2
1
0
ln
(Ô
/
Ô
0)
Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 2000, ¹ 2�3
30
Óñòîé÷èâûé îäíîìîäîâûé ðåæèì, êîòîðûé ñëàáî
çàâèñèò îò òåìïåðàòóðû, îáåñïå÷èâàåòñÿ â ëàçåðàõ ñ
ðàñïðåäåëåííîé îáðàòíîé ñâÿçüþ. Íàèáîëåå êà÷åñòâåí-
íûå äèôðàêöèîííûå ðåøåòêè íà ïîâåðõíîñòè ëàçåðà
äàåò ìåòîä ýëåêòðîííîé ëèòîãðàôèè. Â òî æå âðåìÿ
èìåþò ìåñòî èçìåíåíèå ëèíåéíûõ ðàçìåðîâ ðåøåòêè
â çàâèñèìîñòè îò òåìïåðàòóðû è ñîîòâåòñòâóþùåå
èçìåíåíèå ÷àñòîòû èçëó÷åíèÿ ëàçåðà.  ñèñòåìàõ ñ
÷àñòîòíûì óïëîòíåíèåì êàíàëîâ ýòîò ýôôåêò èñïîëü-
çóåòñÿ êàê ïîëåçíûé. Çíà÷åíèå ÷àñòîòû èçëó÷åíèÿ
ëàçåðà êàæäîãî êàíàëà óñòàíàâëèâàåòñÿ ñõåìîé óï-
ðàâëåíèÿ òåìïåðàòóðîé ëàçåðà ïóòåì èçìåíåíèÿ óñ-
òàâêè â ñõåìå êîíòóðà ñòàáèëèçàöèè òåìïåðàòóðû.
Òåïëîâûå îñîáåííîñòè ñáîðêè è ãåðìåòèçàöèè
ñâåòîäèîäîâ, ìèêðîëàçåðîâ è ìîäóëåé ÂÎËÑ
Íàðÿäó ñ îñíîâíûìè òåïëîâûìè õàðàêòåðèñòè-
êàìè ìàòåðèàëîâ ëàçåðîâ è èõ òâåðäîòåëüíîé ñòðóê-
òóðû, ñâÿçàííûìè â îñíîâíîì ñ àòîìíûì ñîñòàâîì
ïîëóïðîâîäíèêîâûõ ñëîåâ è ìèêðîýëåêòðîííîé òåõ-
íîëîãèåé èõ ïîëó÷åíèÿ, âàæíîå çíà÷åíèå äëÿ òåðìî-
ñòàáèëèçàöèè êðèñòàëëîâ èìååò îòâîä òåïëà îò àê-
òèâíûõ çîí ïîëóïðîâîäíèêîâûõ ñòðóêòóð, êîòîðûé
îñóùåñòâëÿåòñÿ â êîíñòðóêöèÿõ êîðïóñîâ, îáåñïå÷è-
âàþùèõ âûñîêîå òåïëîâîå âçàèìîäåéñòâèå èçëó÷àþ-
ùèõ ÷èïîâ ñ îêðóæàþùåé ñðåäîé. Ê íàñòîÿùåìó âðå-
ìåíè íàêîïëåí çíà÷èòåëüíûé ýêñïåðèìåíòàëüíûé ìà-
òåðèàë ïî ñáîðêå è ãåðìåòèçàöèè ìèêðîëàçåðîâ è
ìîäóëåé ÂÎËÑ, íî òåì íå ìåíåå ñèñòåìàòè÷åñêîå èç-
ëîæåíèå òåïëîâûõ àñïåêòîâ ïðîáëåìû îòñóòñòâóåò.
Êîíñòðóêöèÿ êîðïóñîâ èçëó÷àþùèõ ïðèáîðîâ è
ìîäóëåé ÂÎËÑ íà èõ îñíîâå îïðåäåëÿåòñÿ èõ íà-
çíà÷åíèåì è ñîñòàâîì. ×àùå âñåãî ïðèåìíûå è ïå-
ðåäàþùèå ìîäóëè èçãîòàâëèâàþòñÿ â îòäåëüíûõ
êîðïóñàõ. Ýòî ïîâûøàåò âûõîä ãîäíûõ ïðèáîðîâ è
óìåíüøàåò ýëåêòðîìàãíèòíîå âëèÿíèå ïåðåäàò÷èêà
íà ïðèåìíèê.
Äëÿ êîðîòêèõ (äî 10 êì) è ìàëîñêîðîñòíûõ (äî
10 ÌÃö) ëèíèé ñâÿçè øèðîêîå ïðèìåíåíèå íàõîäÿò
ñâåòîäèîäû, ÷òî îáóñëîâëåíî èõ áîëåå íèçêîé ñòî-
èìîñòüþ è íàìíîãî áîëåå âûñîêîé íàäåæíîñòüþ.
Íà ðèñ. 5 èçîáðàæåíû äâà îñíîâíûõ òèïà êîíñò-
ðóêöèè ñâåòîäèîäíîãî óçëà: ñâåòîäèîä â êîðïóñå
ÒÎ-18, ãäå èçëó÷åíèå ôîêóñèðóåòñÿ äâóìÿ ëèíçàìè
äëÿ ââîäà â îïòîâîëîêíî, è ñîåäèíåíèå, íàçûâàåìîå
"áàððàñ-äèîä", ãäå âîëîêíî ïðèáëèæåíî ê èçëó÷àþ-
ùåé îáëàñòè ñâåòîäèîäà. Òàêèå óçëû íå òðåáóþò
òî÷íîé þñòèðîâêè ýëåìåíòîâ, îäíàêî êîýôôèöèåíò
ââîäà èçëó÷åíèÿ ñâåòîäèîäà â âîëîêíî íå ïðåâû-
øàåò 0,05. ×èï ñâåòîäèîäà îáû÷íî ìîíòèðóåòñÿ íà
ìåäíûé òåïëîîòâîä, êîòîðûé ïðèâàðèâàåòñÿ ê îñíî-
âàíèþ êîðïóñà, ÷òî îáåñïå÷èâàåò íîðìàëüíûé òåïëî-
âîé ðåæèì ñòðóêòóðû.
ÎÁÅÑÏÅ×ÅÍÈÅ ÒÅÏËÎÂÛÕ ÐÅÆÈÌΠÀÏÏÀÐÀÒÓÐÛ
�40oC �20 0 +20 +40 +60 +70
+90oC
5
4
3
2
1
0 10 20 30
Ií, ìÀ
Ô
, ì
Â
ò
Ðèñ. 4. Âàòò-àìïåðíûå õàðàêòåðèñòèêè ëàçåðîâ
InGaAsP/InP ïðè ðàçëè÷íûõ òåìïåðàòóðàõ (íà âñòàâ-
êàõ � ñîîòâåòñòâóþùèå ìîäîâûå ñòðóêòóðû èçëó÷åíèÿ)
n+-InP
i-InP i-InP
p-InP
InGaAsP
+
i-InP
Ïëàçìåííîå
òðàâëåíèå
n+
Àêòèâíàÿ îáëàñòü
InGaAsP +
p
Ðèñ. 3. Ñòðóêòóðû ëàçåðîâ äëÿ ìîäóëåé ÂÎËÑ íà ïðî-
âîäÿùåé ïîäëîæêå n+-InP (a) è íà ïîëóèçîëèðóþùåé
ïîäëîæêå ñ ïðåöèçèîííûì ïëàçìåííûì òðàâëåíèåì ìåçà-
ñòðóêòóð (á)
à)
á)
+
à)
á)
Ýïîêñèäíûå
êîìïîçèöèè
Îïòîâîëîêíî
×èï
ñâåòîäèîäà
Êîðïóñ
ìîäóëÿ
Êîëëèìèðóþ-
ùàÿ ëèíçà
Òåïëîîòâîä
Ôîêóñèðóþ-
ùàÿ ëèíçà
×èï
ñâåòîäèîäà
Ðèñ. 5. Êîíñòðóêöèè ñâåòîäèîäíûõ èçëó÷àòåëåé â êîðïó-
ñå ÒÎ-18 (à) è â ïåðåäàþùåì ìîäóëå ñ îïòîâîëîêíîì (á)
Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 2000, ¹ 2�3 31
Ñ ðîñòîì ñêîðîñòè è äàëüíîñòè ïåðåäà÷è äàííûõ
îñíîâíûì òèïîì èçëó÷àòåëÿ ñòàíîâèòñÿ ëàçåðíûé
äèîä. Íà ðèñ. 6 èçîáðàæåíû êîíñòðóêöèè ëàçåðíûõ
óçëîâ: â îòäåëüíîì êîðïóñå ñ ôîòîïðèåìíèêîì îá-
ðàòíîé ñâÿçè è èçëó÷åíèåì, âûõîäÿùèì ÷åðåç ïëîñ-
êîå îêíî, è â êîðïóñå ìîäóëÿ, ãäå èçëó÷åíèå ïîëó-
ïðîâîäíèêîâîãî ëàçåðà, îõëàæäàåìîãî ñ ïîìîùüþ
ýëåìåíòà Ïåëüòüå, ÷åðåç ìèêðîëèíçó âõîäèò â îïòî-
âîëîêíî.
Òåïëîâûå óñëîâèÿ ðàáîòû ëàçåðîâ îïðåäåëÿþò
îñíîâíûå èíôîðìàöèîííûå õàðàêòåðèñòèêè ïåðåäà-
þùèõ ìîäóëåé. Ñ ðîñòîì òåìïåðàòóðû óâåëè÷èâàåò-
ñÿ ïîðîãîâûé òîê èçëó÷åíèÿ ëàçåðà è óìåíüøàåòñÿ
êðóòèçíà âàòò-àìïåðíîé õàðàêòåðèñòèêè äèîäà, ðàñ-
òåò äëèíà âîëíû èçëó÷åíèÿ. Äëÿ ïîääåðæàíèÿ ìè-
íèìàëüíî íåîáõîäèìîãî ðàáî÷åãî òîêà èñïîëüçóþò
êîððåêòèðîâêó åãî ñ ïîìîùüþ ôîòîäèîäà îáðàòíîé
ñâÿçè, óëàâëèâàþùåãî ÷àñòü èçëó÷åíèÿ ëàçåðà. Ñ
ðîñòîì òåìïåðàòóðû ïðèõîäèòñÿ ïîâûøàòü òîê ÷å-
ðåç ëàçåð, ÷òî âåäåò ê åùå áîëüøåìó åãî íàãðåâó è
ñíèæåíèþ ðåñóðñà ðàáîòû.
Ðàññåèâàåìàÿ ìîäóëåì îïòè÷åñêîãî ïåðåäàò÷èêà
ìîùíîñòü ìîæåò áûòü îðèåíòèðîâî÷íî îïðåäåëåíà êàê
Ð=UI�Pèçë+Ðèíò,
 ñâÿçè ñ íåîáõîäèìîñòüþ îáåñïå÷åíèÿ ðàáîòû
ìîäóëÿ â äèàïàçîíå òåìïåðàòóð îêðóæàþùåé ñðåäû
(Òîêð) îò �40 äî +85îÑ [6�8] â îñîáî îòâåòñòâåí-
íûõ ñâåðõâûñîêî÷àñòîòíûõ ìîäóëÿõ ïðèìåíÿþòñÿ
òåðìîýëåêòðè÷åñêèå ìèêðîîõëàäèòåëè (ÒÝÌÎ)
(ðèñ. 6, á).
Íà ðèñ. 7 ïðèâåäåíà îáîáùåííàÿ ñõåìà ðàñïîëî-
æåíèÿ òåõ ýëåìåíòîâ ëàçåðíîãî ïåðåäàò÷èêà, êîòî-
ðûå îïðåäåëÿþò òåïëîâûå ïðîöåññû â íåì. Â íåé
âûäåëåíû ñëåäóþùèå èñòî÷íèêè òåïëîâûäåëåíèÿ:
Ð1 � òåïëîâàÿ ìîùíîñòü, âûäåëÿåìàÿ â ëàçåðíîì ÷èïå
� Ð1=UI �Ðèçë ïðÿì+Ðèçë îáð, ãäå Ðèçë ïðÿì è Ðèçë îáð � ìîù-
íîñòü, èçëó÷àåìàÿ â ïðÿìîì è îáðàòíîì íàïðàâëåíèè;
Ð2 � òåïëîâàÿ ìîùíîñòü, âûäåëÿåìàÿ â óçëå êîíò-
ðîëüíîãî ôîòîïðèåìíèêà;
ÎÁÅÑÏÅ×ÅÍÈÅ ÒÅÏËÎÂÛÕ ÐÅÆÈÌΠÀÏÏÀÐÀÒÓÐÛ
íàïðÿæåíèå ïèòàíèÿ;
ïîòðåáëÿåìûé òîê;
ìîùíîñòü, ââîäèìàÿ â îïòîâîëîêíî;
ìîùíîñòü, âûäåëÿåìàÿ íà èíòåðôåéñíûõ ýëå-
ìåíòàõ (ñîãëàñóþùèå ðåçèñòîðû Rñîãë öåïåé ïå-
ðåäà÷è äàííûõ, öåïè êîíòðîëÿ, óïðàâëåíèÿ).
ãäå U �
I �
Ðèçë �
Ðèíò �
Ð3 � òåïëîâàÿ ìîùíîñòü, âûäåëÿåìàÿ â óçëå ââåäåíèÿ
îïòè÷åñêîãî èçëó÷åíèÿ â îïòîâîëîêíî (âñëåäñòâèå ïî-
òåðü îïòè÷åñêîé ìîùíîñòè ïðè ââåäåíèè è â îáúåìå îï-
òîýëåêòðîííîãî ìîäóëÿ çà ñ÷åò ïîãëîùåíèÿ ïðÿìîãî è
îáðàòíîãî èçëó÷åíèÿ);
Ð4 � òåïëîâàÿ ìîùíîñòü, âûäåëÿåìàÿ â ýëåêòðè÷åñêîé
ïëàòå �
Ð4=UïèòIïèò+Ðèíò;
Ð5 � ìîùíîñòü, âûäåëÿåìàÿ ñõåìîé óïðàâëåíèÿ ìèê-
ðîõîëîäèëüíèêîì.
Òåïëîâûå ïîòîêè ïðèâåäåííîé ìîäåëè ìîãóò áûòü
îòðàæåíû íà ýêâèâàëåíòíîé ñõåìå, ïîêàçàííîé íà
ðèñ. 8, íà êîòîðîé
+Ðìo � ìîùíîñòü, âûäåëÿåìàÿ ìèêðîîõëàäèòåëåì;
�Ðìo � ìîùíîñòü, ïîãëîùàåìàÿ ìèêðîîõëàäèòåëåì;
rìî � òåïëîâîå ñîïðîòèâëåíèå ìèêðîîõëàäèòåëÿ;
r÷1 � òåïëîâîå ñîïðîòèâëåíèå ìàòåðèàëà ÷èïà ìåæäó
ïîëîñêîé îïòè÷åñêîãî ðåçîíàòîðà è áîêîâîé ïîâåðõíîñ-
òüþ ïîñàäêè íà ïüåäåñòàë;
rï � òåïëîâîå ñîïðîòèâëåíèå ïüåäåñòàëà;
rîñí � òåïëîâîå ñîïðîòèâëåíèå îñíîâàíèÿ;
rêîíò îñí � òåïëîâîå ñîïðîòèâëåíèå êîíòàêòà îñíîâà-
íèÿ ñ êîðïóñîì;
róââ � òåïëîâîå ñîïðîòèâëåíèå óçëà âûâîäà îïòè÷åñ-
êîãî èçëó÷åíèÿ;
rêîíò óââ � òåïëîâîå ñîïðîòèâëåíèå êîíòàêòà óçëà ââî-
äà-âûâîäà ñ êîðïóñîì;
rôïï � òåïëîâîå ñîïðîòèâëåíèå êîíòðîëüíîãî ôîòîïðè-
åìíîãî ïüåäåñòàëà;
râûâ ôï � òåïëîâîå ñîïðîòèâëåíèå âûâîäîâ ôîòîïðèåì-
íèêà;
rýëï � òåïëîâîå ñîïðîòèâëåíèå ýëåêòðè÷åñêîé ïëàòû;
rêîíò ýëï � òåïëîâîå ñîïðîòèâëåíèå êîíòàêòà ýëåêòðè-
÷åñêîé ïëàòû ñ êîðïóñîì;
rýë âûâ � òåïëîâîå ñîïðîòèâëåíèå ýëåêòðè÷åñêîãî âû-
âîäà ïüåäåñòàëà;
rýëâ1, rýëâ2 � òåïëîâîå ñîïðîòèâëåíèå ñîîòâåòñòâåííî
ýëåêòðè÷åñêèõ âûâîäîâ 1 è 2 ìèêðîîõëàäèòåëÿ ê ýëåêò-
ðè÷åñêîé ïëàòå;
rèçë, rêîíâ, ròåïë � êîìïîíåíòà òåïëîâîãî ñîïðîòèâëå-
íèÿ ñîîòâåòñòâåííî äëÿ òåïëîâîãî èçëó÷åíèÿ, êîíâåêöèè
è êîíäóêòèâíîãî òåïëîîáìåíà.
Ïîñêîëüêó êîðïóñ îïòè÷åñêîãî ïåðåäàò÷èêà äëÿ
ïîâûøåíèÿ òåïëîïåðåäàþùåé ñïîñîáíîñòè âûïîë-
íÿåòñÿ ìåòàëëè÷åñêèì, òî ïðè ðàáîòå ïåðåäàò÷èêà
òåïëî îò íàãðåòîãî êîðïóñà ðàññåèâàåòñÿ â îêðó-
Îêíî
Òåïëî-
îòâîä
Ëàçåðíûé
äèîä
Ôîòîäèîä
îáðàòíîé
ñâÿçè
à) á)
Ðèñ. 6. Êîíñòðóêöèè ëàçåðíûõ èçëó÷àòåëåé â êîðïóñå ÒÎ-18 (à) è â ïåðåäàþùåì ìîäóëå ñ òåðìîýëåêòðè÷åñêèì
ýëåìåíòîì Ïåëüòüå è îïòîâîëîêíîì (á)
Îïòîâî-
ëîêíî
Ëàçåðíûé
äèîä
Òåðìî-
äàò÷èê
Ôîòîäèîä
îáðàòíîé
ñâÿçè
Ýïîê-
ñèäíûå
êîìïî-
çèöèè
Êîðïóñ Òåðìîýëåêòðè÷åñêèé
ìèêðîîõëàäèòåëü
Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 2000, ¹ 2�3
32
æàþùóþ ñðåäó òðåìÿ ñïîñîáàìè � èçëó÷åíèåì, êîí-
âåêöèåé è êîíäóêöèåé êîíòàêòèðóþùèõ ñ êîðïóñîì
ýëåìåíòîâ. Ñóììàðíîå òåïëîâîå ñîïðîòèâëåíèå îò
êîðïóñà ïåðåäàò÷èêà ê îêðóæàþùåìó âîçäóõó áó-
äåò îïðåäåëÿòüñÿ òðåìÿ ïàðàëëåëüíî âêëþ÷åííûìè
òåïëîâûìè ñîïðîòèâëåíèÿìè � rèçë, rêîíâ è ròåïë, îï-
ðåäåëÿþùèìè ñîáîé îáùèé êîýôôèöèåíò òåïëîïå-
ðåäà÷è k, ïðè÷åì ïðîèçâåäåíèå kF∆t äîëæíî áûòü
äîñòàòî÷íûì äëÿ îòâîäà âûäåëÿåìîãî ïåðåäàò÷è-
êîì òåïëà â îêðóæàþùóþ ñðåäó (çäåñü k � êîýô-
ôèöèåíò òåïëîïåðåäà÷è, Âò/(ì2·îÑ), F � ïëîùàäü
ïîâåðõíîñòè, ì2, ∆t � òåïëîâîé íàïîð «êîðïóñ�
îêðóæàþùàÿ ñðåäà», îÑ).
Óçåë òåðìîýëåêòðè÷åñêîãî ìèêðîîõëàäèòåëÿ ñî-
ñòîèò èç äàò÷èêà òåìïåðàòóðû, âêëþ÷åííîãî â ïëå-
÷î ìîñòà, îïåðàöèîííîãî óñèëèòåëÿ è óïðàâëÿåìîãî
ãåíåðàòîðà òîêà, âêëþ÷åííîãî ïîñëåäîâàòåëüíî ñ òåð-
ìîýëåêòðè÷åñêèì ýëåìåíòîì (ðèñ. 9). Ïðè ïîâûøå-
íèè òåìïåðàòóðû âûøå çàäàííîé ïîðî-
ãîâîé ìîñò ðàçáàëàíñèðóåòñÿ è ÷åðåç
òåðìîýëåêòðè÷åñêèé ýëåìåíò íà÷èíàåò
ïðîòåêàòü òîê ìèêðîîõëàäèòåëÿ, ïðîïîð-
öèîíàëüíûé âåëè÷èíå ðàññîãëàñîâàíèÿ.
Èñõîäÿ èç íåîáõîäèìîñòè ñíèæåíèÿ
òåïëîâîãî ñîïðîòèâëåíèÿ ìåæäó èçëó-
÷àþùåé îáëàñòüþ ëàçåðíîãî ÷èïà è êîð-
ïóñîì âûáèðàþòñÿ êîíñòðóêöèÿ èçëó-
÷àòåëÿ, ìàòåðèàë äåòàëåé è ñïîñîá ìîí-
òàæà. Íà ðèñ. 10 ïðèâåäåíî êà÷åñòâåí-
íîå ðàñïðåäåëåíèå òåìïåðàòóðû â ëà-
çåðíîì ìîäóëå.
Èç ðèñ. 10 âèäíî, ÷òî èñïîëüçîâà-
íèå òåðìîýëåêòðè÷åñêîãî ìèêðîîõëàäè-
òåëÿ, ðàñïîëîæåííîãî âíóòðè êîðïóñà
îïòè÷åñêîãî ïåðåäàò÷èêà õîëîäíîé ïëà-
ñòèíîé íåïîñðåäñòâåííî ïîä òåïëîîòâî-
äÿùèì ïüåäåñòàëîì, íà êîòîðîì óñòàíîâ-
ëåí ëàçåðíûé ÷èï, ïîçâîëÿåò ìàêñèìàëü-
íî ñíèçèòü òåìïåðàòóðó p�n-ïåðåõîäà
ïî ñðàâíåíèþ ñ äðóãèìè ðàññìîòðåííûìè
âàðèàíòàìè ìîíòàæà ÷èïà. Òåïëî îò ãî-
ðÿ÷åé ïëàñòèíû ÒÝÌÎ ïåðåäàåòñÿ òåï-
ëîïðîâîäíîñòüþ êîðïóñà ê íèæíåé ïî-
âåðõíîñòè åãî îñíîâàíèÿ. Ïîñêîëüêó â
èçäåëèè îïòè÷åñêèé ïåðåäàò÷èê ñâîèì íèæíèì îñ-
íîâàíèåì ÷àùå âñåãî óñòàíàâëèâàåòñÿ íà ïå÷àòíóþ
ïëàòó èç ñòåêëîòåêñòîëèòà, îáëàäàþùåãî ïëîõîé òåï-
ëîïðîâîäíîñòüþ, òî îòâîä òåïëà îò îñíîâàíèÿ êîð-
ïóñà ïåðåäàò÷èêà êàê êîíâåêöèåé âîçäóõà, òàê è òåï-
ëîïðîâîäíîñòüþ ïëàòû, çàòðóäíåí, ÷òî íå ïîçâîëÿåò
ìàêñèìàëüíî ðåàëèçîâàòü ïîòåíöèàëüíûå âîçìîæíî-
ñòè ÒÝÌÎ äëÿ òåðìîñòàáèëèçàöèè ëàçåðíîãî ÷èïà.
Äëÿ ïîâûøåíèÿ ýôôåêòèâíîñòè òåïëîîòâîäà ðàç-
ðàáîòàíà íîâàÿ êîíñòðóêöèÿ îïòè÷åñêîãî ïåðåäàò-
÷èêà ñ òåïëîâûìè ìèêðîòðóáàìè, ñõåìà êîòîðîãî
ïîêàçàíà íà ðèñ. 11. Âèäû íåêîòîðûõ èçâåñòíûõ
êîíñòðóêöèé òåïëîâûõ ìèêðîòðóá ïðèâåäåíû â [9].
Íàèáîëåå ïðèåìëåìûìè ÿâëÿþòñÿ ìèêðîòðóáû êðóã-
ëîãî è ïðÿìîóãîëüíîãî ñå÷åíèÿ.
 ñîñòàâ ïåðåäàò÷èêà âõîäèò íåñêîëüêî òåïëî-
âûõ ìèêðîòðóá. Çîíà èñïàðåíèÿ îäíèõ òåïëîâûõ
ìèêðîòðóá óñòàíîâëåíà ñ îáåñïå÷åíèåì õîðîøåãî
ÎÁÅÑÏÅ×ÅÍÈÅ ÒÅÏËÎÂÛÕ ÐÅÆÈÌΠÀÏÏÀÐÀÒÓÐÛ
ròåïë
rêîíò ýëï
rýëâ2
rýëï
râûâ ôï
rýëâ1
rýë âûâ
rôïï
rêîíò îñí
rêîíâ
rîñí
rìî
rï
r÷1
rèçë
rêîíò óââ
róââ
Ñðåäà
Ð3 Ð1 Ð2 Ð4 Ð5
�Ðìî
+Ðìî
Ðèñ. 8. Ýêâèâàëåíòíàÿ òåïëîâàÿ ñõåìà êîíñòðóêöèè îïòè÷åñêîãî
ïåðåäàò÷èêà
Ïðèåì-
íèê
Óçåë ââî-
äà â îïòî-
âîëîêíî
Ð3
Ð1 Ð2
Ëàçåðíûé
÷èï
Êîíòðîëü-
íûé ôîòî-
äèîä
Äðàéâåð
Ð4
Rñîãë
Ýëåêòðè÷åñêàÿ
ïëàòà
Ñõåìà óïðàâëåíèÿ
ìèêðîõîëîäèëüíèêîì
Ð5
Ïüåäåñòàë
ÎñíîâàíèåÌèêðî-
îõëàäèòåëü
Ðèñ. 7. Òåïëîâàÿ ìîäåëü êîíñòðóêöèè îïòè÷åñêîãî ïåðåäàò÷èêà
Êîðïóñ
Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 2000, ¹ 2�3 33
òåïëîâîãî êîíòàêòà â òåïëîïðîâîäíîì îñíîâàíèè, ïðè-
ïàÿííîì ê ãîðÿ÷åé ïëàñòèíå ÒÝÌÎ, à äðóãèõ � íà
ïå÷àòíîé ïëàòå ñ îñòàëüíûìè ýëåêòðîðàäèîýëåìåí-
òàìè ïåðåäàò÷èêà, îñíîâàíèå êîòîðîé âûïîëíåíî èç
òåïëîïðîâîäíîãî ìàòåðèàëà, íàïðèìåð ïî òåõíîëî-
ãèè, îïèñàííîé â [10, ñ. 52]. Òðàíñïîðòíûå çîíû âñåõ
òåïëîâûõ ìèêðîòðóá âûâåäåíû ñêâîçü ñòåíêè êîð-
ïóñà çà åãî ïðåäåëû, à çîíû êîíäåíñàöèè èçîãíóòû
ââåðõ è ïðèïàÿíû ê ðàäèàòîðíûì ïëàñòèíàì, ðàñïî-
ëîæåííûì ñ äâóõ ñòîðîí êîðïóñà ïåðåäàò÷èêà.
Òàêàÿ êîíñòðóêöèÿ ïîçâîëÿåò îáåñïå÷èòü ýôôåê-
òèâíûé îòâîä òåïëà èç òåïëîíàïðÿæåííûõ çîí, ðàñ-
ïîëîæåííûõ âíóòðè êîðïóñà ïåðåäàò÷èêà, è ýôôåê-
òèâíîå ðàññåÿíèå åå â îêðóæàþùóþ ñðåäó � íåçàâè-
ñèìî îò òåïëîïðîâîäíîñòè îñíîâàíèÿ, íà êîòîðîì ñìîí-
òèðîâàí îïòè÷åñêèé ïåðåäàò÷èê â èçäåëèè.
Òåïëîâîå è ýëåêòðîìàãíèòíîå âçàèìîäåéñòâèå
ýëåìåíòîâ ëàçåðíûõ ìîäóëåé è òðàíñèâåðîâ
Òåïëîâûå è ýëåêòðîìàãíèòíûå õàðàêòåðèñòèêè ëà-
çåðíûõ ìîäóëåé è òðàíñèâåðîâ âî ìíîãîì îïðåäåëÿ-
þòñÿ èõ êîíñòðóêöèåé. Ìîæíî âûäåëèòü ñëåäóþùèå
òèïû êîðïóñîâ îïòè÷åñêèõ ïåðåäàþùèõ ìîäóëåé.
1. Íàèáîëåå ïðîñòîé ìîäóëü: èçëó÷àþùèé ïðè-
áîð (ñâåòîäèîä, ñóïåðëþìèíåñöåíòíûé èëè ëàçåð-
íûé äèîä) èëè ôîòîïðèåìíèê (ìîæåò áûòü ñ ïðåäó-
ñèëèòåëåì) ñîâìåùåí ñ îïòè÷åñêîé îñüþ êàáåëÿ è
ìîæåò áûòü áûñòðî ñìîíòèðîâàí â îïòè÷åñêóþ öåïü:
à) Êðèñòàëë, çàãåðìåòèçèðîâàííûé â ñòàíäàðòíîì
êîðïóñå òèïà ÒÎ-18, ÒÎ-46, âñòàâëåí è îòúþñòèðîâàí â
îïòè÷åñêîì ðàçúåìå òèïà ST, FC, SC, SMA è íåñòàíäàðò-
íûõ ôèðìåííûõ (RSD, FSD, IBM, E-2000...). Íà
ðèñ. 12, à èçîáðàæåí òàêîé ìîäóëü ñ ðàçúåìîì FC. Ïðè
ñòûêîâêå ñ âîëîêîííîé ÷àñòüþ ðàçúåìà ïðîèñõîäèò ñî-
âìåùåíèå âûïóêëîé ïîâåðõíîñòè ìèêðîëèíçû ñ îáðàáî-
òàííûì òîðöîì îïòîâîëîêíà.
á) Ñáîðêà òèïà "ïèã-òåéë". Ìåíåå óíèâåðñàëüíà, íî
ïðè áëèçêîì ðàñïîëîæåíèè ïðèåìíèêà è ïåðåäàò÷èêà
ñíèæàåò ïîòåðè â îïòè÷åñêîì òðàêòå çà ñ÷åò óìåíüøåíèÿ
÷èñëà ðàçúåìíûõ ñîåäèíåíèé. Íà ðèñ. 12, á ïîêàçàíà
ñáîðêà, â êîòîðîé çàãåðìåòèçèðîâàííûé êîíåö âîëîêíà
çàêðåïëåí âáëèçè èçëó÷àþùåé èëè ïðèåìíîé çîíû êðèñ-
òàëëà. Äðóãîé êîíåö çàêàí÷èâàåòñÿ ñòàíäàðòíûì ðàçúå-
ìîì ST.
ÎÁÅÑÏÅ×ÅÍÈÅ ÒÅÏËÎÂÛÕ ÐÅÆÈÌΠÀÏÏÀÐÀÒÓÐÛ
5
1
R1 R2
R3 R4
Uïèò
Iïèò
ð
n
2 3
4
Ðèñ. 9. Ñõåìà óïðàâëåíèÿ òåðìîýëåêòðè÷åñêèì ìèêðî-
õîëîäèëüíèêîì:
1 � äàò÷èê òåìïåðàòóðû; 2 � îïåðàöèîííûé óñèëèòåëü;
3 � óïðàâëÿåìûé ãåíåðàòîð òîêà; 4 � òåðìîýëåêòðè÷åñêèé
ìèêðîîõëàäèòåëü; R1�R4 � ðåçèñòîðû ìîñòà
1 2 3à)
á)
4
5
2
3
6 7 8 9
Ðèñ. 11. Êîíñòðóêöèÿ îïòè÷åñêîãî ïåðåäàò÷èêà ñ
òåïëîâûìè ìèêðîòðóáàìè:
à � âèä ñïåðåäè; á � âèä ñâåðõó (êðûøêà ñíÿòà)
1 � êîðïóñ; 2 � ïëîñêèå òåïëîâûå ìèêðîòðóáû; 3 � îõëàæ-
äàþùèå ðåáðà; 4 � ýëåêòðè÷åñêèå âûâîäû; 5 � òåïëîïðî-
âîäíàÿ ïå÷àòíàÿ ïëàòà ñ ýëåêòðîýëåìåíòàìè; 6 � êîíòðîëüíûé
ôîòîäèîä; 7 � ëàçåðíûé ÷èï; 8 � îïòè÷åñêèé ðàçúåì;
9 � ïüåäåñòàë
T
Tîêð
Ò
Òîêð
Êîðïóñ Òåïëîîòâîä Äèîä
â
á
à
Êîðïóñ Òåïëîîòâîä Äèîä
ã
ÒÝ
Ì
Î
Ðèñ. 10. Äèàãðàììû ðàñïðåäåëåíèÿ òåìïåðàòóðû â
ëàçåðíîì ìîäóëå:
à � ìîíòàæ p�n-ïåðåõîäà ê òåïëîîòâîäó, á � ìîíòàæ ïîä-
ëîæêîé íà òåïëîîòâîä; â � íåêà÷åñòâåííàÿ ïàéêà êðèñòàëëà
íà òåïëîîòâîä ñ îáðàçîâàíèåì òåïëîâîãî çàçîðà; ã � ïðè
èñïîëüçîâàíèè ÒÝÌÎ
Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 2000, ¹ 2�3
34
Äëÿ ðàññìîòðåííûõ ïðîñòåéøèõ êîíñòðóêöèé
ìîäóëåé ÂÎËÑ ïðîáëåìû ýëåêòðîìàãíèòíîãî âçàè-
ìîäåéñòâèÿ íå ÿâëÿþòñÿ ñóùåñòâåííûìè.
2.Ñïåöèàëüíûå ìåòàëëè÷åñêèå êîðïóñà.
×àùå âñåãî îíè èçãîòàâëèâàþòñÿ ñ ðàçúåìîì òèïà
"ïèã-òåéë" ñ âûñîêîýôôåêòèâíûì ïîäêëþ÷åíèåì îï-
òîâîëîêíà íåïîñðåäñòâåííî ê êðèñòàëëó èçëó÷àòåëÿ
èëè ôîòîïðèåìíèêà. Ðåæå ðàçúåì óñòàíàâëèâàåòñÿ
íà êîðïóñå.
Ïî ñðàâíåíèþ ñ ïëàñòìàññîâûìè ìåòàëëè÷åñêèå
êîðïóñà áîëåå ýôôåêòèâíû ñ òî÷êè çðåíèÿ òåïëîîò-
âîäà è èñïîëüçîâàíèÿ äëÿ ýòîé öåëè ýëåìåíòîâ Ïåëü-
òüå, ÷òî ïîçâîëÿåò ïðèìåíÿòü èõ äëÿ áîëåå ìîùíûõ
èñòî÷íèêîâ èçëó÷åíèÿ. Èçáûòî÷íîå êîëè÷åñòâî ìå-
òàëëîñòåêëÿííûõ âûâîäîâ äàåò âîçìîæíîñòü â òîì
æå êîðïóñå ðàçìåùàòü ñáîðêè ðàçëè÷íîé ñëîæíîñ-
òè: ñ ýëåìåíòàìè Ïåëüòüå, ôîòîïðèåìíèêàìè îáðàò-
íîé ñâÿçè, ýëåêòðè÷åñêîé ñõåìîé îáðàáîòêè ñèãíàëà.
Ïðè ýòîì âûâîäû ìîæíî ðàñïîëàãàòü âåðòèêàëüíî
èëè ãîðèçîíòàëüíî (ðèñ. 12, â, ã). Ðàçìåùåíèå ïåðå-
äàþùåãî è ïðèåìíîãî ìîäóëåé â îòäåëüíûõ ìåòàë-
ëè÷åñêèõ êîðïóñàõ èñêëþ÷àåò èõ ýëåêòðîìàãíèòíîå
âçàèìîäåéñòâèå [10].
Êîðïóñà èìåþò âûñîêóþ ñòîèìîñòü.
3.Îáúåäèíåííûé ïðèåìîïåðåäàò÷èê � òðàíñèâåð
(transmitter + receiver).
Ðàñøèðåíèå èñïîëüçîâàíèÿ îïòîýëåêòðîííûõ
ìîäóëåé â êîìïüþòåðíûõ è òåëåôîííûõ ñåòÿõ ïðè-
âåëî ê ñîâåðøåíñòâîâàíèþ è óäåøåâëåíèþ òåõíî-
ëîãèè, ÷òî ïîçâîëèëî âûïóñêàòü áîëåå óäîáíûå ïðè-
åìîïåðåäàþùèå ìîäóëè. Â íèõ èñïîëüçóþòñÿ êîð-
ïóñíûå ðàçúåìû SÒ, FC, SÑ (ðèñ. 12, ä, å) (íàèáî-
ëåå óäîáíû â ýòîì ñëó÷àå äóïëåêñíûå ðàçúåìû SC).
Ðàññòîÿíèå ìåæäó îñÿìè îïòè÷åñêèõ âõîäà è âûõî-
äà ñîñòàâëÿåò 0,5 èëè 0,7 äþéìà. Âûñîòà ìîäóëÿ,
êàê ïðàâèëî, íå ïðåâûøàåò 0,5 äþéìà. Âûâîäû âåð-
òèêàëüíûå. Ìîäóëü ñîäåðæèò ýëåêòðè÷åñêóþ ñõåìó
äðàéâåðà è óñèëèòåëÿ�ôîðìèðîâàòåëÿ ëîãè÷åñêèõ
óðîâíåé.
Ìîæíî âûäåëèòü äâà òèïà êîíñòðóêòèâîâ:
à) ìåõàíè÷åñêîå ñîåäèíåíèå ïðèåìíèêà è ïåðå-
äàò÷èêà â îòäåëüíûõ êîðïóñàõ (ðèñ. 12, ä) [6];
á) ñáîðêà â åäèíîì êîðïóñå (òðàíñèâåð) ñ ýêðà-
íàìè, ïðåïÿòñòâóþùèìè ýëåêòðîìàãíèòíîìó âëèÿíèþ
äðàéâåðà íà óñèëèòåëü [11, 12] (ðèñ. 12, å).
Äëÿ ïðèìåíåíèÿ â êîìïüþòåðíûõ ñåòÿõ êîðïóñà,
êàê ïðàâèëî, ïîëèìåðíûå, ñ îòâåðñòèÿìè äëÿ âåíòè-
ëÿöèè èëè áåç íèõ. Èçëó÷àòåëü è ôîòîïðèåìíèêè
èñïîëüçóþòñÿ â ãåðìåòè÷íûõ êîðïóñàõ òèïà ÒÎ-18
è þñòèðóþòñÿ àíàëîãè÷íî êîíñòðóêöèè, ïîêàçàííîé
íà ðèñ. 6, á.
Ïîñêîëüêó â íàèáîëåå ïîëíîì âèäå âñå êîíñò-
ðóêòèâíî-òåïëîâûå ïðîáëåìû ñîñðåäîòî÷åíû â
òðàíñèâåðå, ðàññìîòðèì ïóòè èõ ïðåîäîëåíèÿ áîëåå
äåòàëüíî íà ïðèìåðå êîíñòðóèðîâàíèÿ ïîñëåäíèõ.
 ðàçðàáîòàííîé êîíñòðóêöèè òðàíñèâåðà, âûïîëíåí-
íîé â åäèíîì êîðïóñå, àíàëîãè÷íîì ïðèâåäåííîìó íà
ðèñ. 12, å, ýëåìåíòû ñõåìû èçëó÷àòåëÿ è ôîòîïðèåìíèêà
ðàñïîëîæåíû íà îäíîé ïëàòå è óäàëåíû îò êîðïóñîâ èç-
ëó÷àòåëÿ è ôîòîïðèåìíèêà íà ðàññòîÿíèå 0,7 ñì. Îò èç-
ëó÷àþùåãî è ôîòîïðèåìíîãî óçëîâ ê ïëàòå ïîäñîåäèíå-
íû òðàâåðñû òîëùèíîé 150 ìêì. Ìåæäó ôîòîïðèåìíîé è
ÎÁÅÑÏÅ×ÅÍÈÅ ÒÅÏËÎÂÛÕ ÐÅÆÈÌΠÀÏÏÀÐÀÒÓÐÛ
Ðèñ. 12. Êîíñòðóêöèè ìîäóëåé ÂÎËÑ
ïåðåäàþùåé ÷àñòüþ ïå÷àòíîé ïëàòû óñòàíàâëèâàåòñÿ ìå-
òàëëè÷åñêàÿ ïëàñòèíà, êîòîðàÿ ñëóæèò ýëåêòðîìàãíèò-
íûì ýêðàíîì è òåïëîîòâîäîì.
Äëÿ êîìïüþòåðíûõ ñåòåé äëèíîé äî 2 êì èç ìèêðî-
ïðîöåññîðíûõ íàáîðîâ â ñòàíäàðòå FDDI óäîáíî èñïîëü-
çîâàòü òðàíñèâåðû ñ SC-ðàçúåìàìè [9]. Ïîñêîëüêó â îä-
íîì êîðïóñå ðàçìåùàþòñÿ ïåðåäàþùàÿ è ïðèåìíàÿ ñõå-
ìû, âîçíèêàþò ïðîáëåìû ýëåêòðîìàãíèòíîé ñîâìåñòèìî-
ñòè, êîòîðûå óñëîæíÿþòñÿ ñ ïðèìåíåíèåì ïëàò ñ îñîáî
ïëîòíîé ïå÷àòüþ (ðàçìåðû ýëåìåíòîâ 15 ìêì). Âûõîä-
íàÿ ìîùíîñòü ïåðåäàò÷èêà ñîñòàâëÿåò 15�20 äÁ, îïòè-
÷åñêàÿ ÷óâñòâèòåëüíîñòü ïðèåìíèêà äî 35 äÁ·ì.
Ñêîðîñòíûå ìèêðîñõåìû ýìèòòåðíî-ñâÿçàííîé ëîãè-
êè (ÝÑË) îáåñïå÷èâàþò ñêîðîñòè äî 1 Ãáèò/ñ, ÷òî ÿâëÿ-
åòñÿ ïðåäåëîì òåõíîëîãèè áèïîëÿðíûõ òðàíçèñòîðîâ íà
êðåìíèè. Ïðè òàêèõ ñêîðîñòÿõ ÝÑË-ñèãíàëüíûå ëèíèè
ïåðåäà÷è äîëæíû îáåñïå÷èâàòü èìïåäàíñû îò 50 äî 75
Îì äëÿ ñîãëàñîâàíèÿ ñ èìïåäàíñàìè âíåøíèõ öåïåé âî
èçáåæàíèå îòðàæåíèé. Ýòî äîñòèãàåòñÿ èñïîëüçîâàíèåì
ñïåöèàëüíûõ RC-ôèëüòðîâ ìåæäó ñèãíàëüíûìè, ïèòàþ-
ùèìè è "çåìëÿíûìè" øèíàìè. Äëèíà ñèãíàëüíûõ ÝÑË-
øèí âûáèðàåòñÿ èç óñëîâèÿ èäåíòè÷íîñòè ôàç äèôôå-
ðåíöèàëüíûõ ñèãíàëîâ: íå äîëæíî áûòü ñäâèãà ôàç, îáóñ-
ëîâëåííîãî îïåðåæåíèåì âî âðåìåíè îäíîãî ñèãíàëà
îòíîñèòåëüíîãî äðóãîãî. Äëÿ ýòîãî ñëåäóåò âûáèðàòü ñõå-
ìó òàê, ÷òîáû íå äîïóñêàòü áîëüøèõ êîëåáàíèé òîêà ïè-
òàíèÿ, à âûâîäû ïèòàíèÿ (øòûðè) äîëæíû îáåñïå÷èâàòü
ìèíèìàëüíîå ñîïðîòèâëåíèå. Âîçíèêàþùèå ïðè ýòîì ïî-
ìåõè ôèëüòðóþòñÿ ñïåöèàëüíûìè êîíäåíñàòîðàìè, ðàç-
ìåùàåìûìè íà ïå÷àòíûõ ïëàòàõ ìåæäó "çåìëåé" è øè-
íîé ïèòàíèÿ. Íàèáîëüøåå èçìåíåíèå òîêà ïèòàíèÿ âîç-
íèêàåò â ïåðåäàò÷èêå ïðè ãåíåðàöèè ëàçåðîì ñèãíàëüíî-
ãî îïòè÷åñêîãî èìïóëüñà.
Êðîìå ôèëüòðàöèè íàïðÿæåíèÿ ïèòàíèÿ, äëÿ çàùèòû
îò ïîìåõ, âîçíèêàþùèõ â ëèíèÿõ ïèòàíèÿ ëàçåðà, ïåðå-
à) á)
â) ã)
ä) å)
Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 2000, ¹ 2�3 35
äàþùàÿ ÷àñòü ìîäóëÿ ýêðàíèðóåòñÿ îò ïðèåìíîé ìåòàë-
ëè÷åñêèì ýêðàíîì, êîòîðûé óäîáíî èñïîëüçîâàòü òàêæå
êàê òåïëîîòâîä. Íàèáîëåå ÷óâñòâèòåëüíîé ÷àñòüþ òðàíñè-
âåðà ÿâëÿþòñÿ âõîäíûå öåïè óñèëåíèÿ ñèãíàëà ôîòîïðè-
åìíèêà. Êàê ïðàâèëî, íåïîñðåäñòâåííî ðÿäîì ñ ôîòî-
ïðèåìíèêîì ìîíòèðóåòñÿ òðàíçèñòîð ïåðâîãî êàñêàäà
óñèëåíèÿ. ×àñòî ôîòîïðèåìíèê è òðàíçèñòîð èíòåãðè-
ðóþòñÿ â ìîíîëèòíîé ñõåìå íà îñíîâå ãåòåðîýïèòàêñè-
àëüíûõ ñòðóêòóð InP/InGaAsP.
Êîíñòðóêòèâíî ôîòîïðèåìíûé óçåë ìîíòèðóåòñÿ â
îäíîì áëîêå ñ SC-ðàçúåìîì, îò êîòîðîãî ê ïå÷àòíîé ïëà-
òå èäåò âûñîêî÷àñòîòíûé âûâîä, ñîåäèíÿþùèé ïðåäóñè-
ëèòåëü ñ âõîäîì ïîñëåäóþùåãî óñèëèòåëÿ-ôîðìèðîâà-
òåëÿ ÝÑË-óðîâíÿ. Ïèòàíèå ôîòîïðèåìíîé ÷àñòè òðàíñè-
âåðà òàêæå òùàòåëüíî ôèëüòðóåòñÿ è ïîäàåòñÿ ÷åðåç øòû-
ðè, êîòîðûå âíóòðè íå ñâÿçàíû ãàëüâàíè÷åñêè äðóã ñ äðó-
ãîì. ×åðåç âûõîäíûå òðàíçèñòîðû óñèëèòåëÿ-ôîðìèðî-
âàòåëÿ âî âðåìÿ âûñîêîãî ïîòåíöèàëà ÝÑË-óðîâíÿ ïðî-
òåêàåò òîê îêîëî 50 ìÀ, êîòîðûé ìîæåò âûçâàòü ïîìåõó,
ïðèâîäÿùóþ ê âîçáóæäåíèþ êàñêàäà. Äëÿ èñêëþ÷åíèÿ
âîçáóæäåíèÿ ê âûõîäíîé øèíå è ñîîòâåòñòâóþùåìó âû-
âîäó ïîäñîåäèíÿåòñÿ âûñîêî÷àñòîòíûé êîíäåíñàòîð. Òà-
êèì æå îáðàçîì îñóùåñòâëÿåòñÿ ìîíòàæ îñîáî ÷óâñòâè-
òåëüíîãî ê ïîìåõàì âõîäíîé öåïè ïðåäóñèëèòåëÿ ôîòî-
ïðèåìíèêà.
Íà òåïëîâîé ðåæèì òðàíñèâåðà íàèáîëüøåå âëèÿíèå
îêàçûâàþò âûõîäíûå òðàíçèñòîðû äðàéâåðà è óñèëèòå-
ëÿ-ôîðìèðîâàòåëÿ, ÷åðåç êîòîðûå ïðîõîäÿò ìàêñèìàëü-
íûå òîêè 50�80 ìÀ. Âíóòðè òðàíñèâåðà îíè ðàçíåñåíû
íà ìàêñèìàëüíî âîçìîæíîå ðàññòîÿíèå ïî äèàãîíàëè
êîðïóñà. Òàêîå ðàñïîëîæåíèå óëó÷øàåò òåïëîâîé áàëàíñ,
íî óâåëè÷èâàåò âåðîÿòíîñòü ýëåêòðîìàãíèòíûõ íàâîäîê
èç öåïè ëàçåðà íà âõîäíûå öåïè ôîòîïðèåìíîé ÷àñòè.
Óñòðàíåíèå ýòîãî âçàèìîäåéñòâèÿ äîñòèãàåòñÿ ýêðàíèðî-
âàíèåì è òùàòåëüíûì âûáîðîì ôèëüòðîâ, êîòîðûå ìîíòè-
ðóþòñÿ âäîëü ìîíòàæíûõ ïîëîñîê ïå÷àòíîé ïëàòû.
Äëÿ óëó÷øåíèÿ òåïëîâîãî ðåæèìà âíóòðè îïòîýëåêò-
ðîííîãî ìîäóëÿ ïåðñïåêòèâíî ïðèìåíåíèå ðàññìîòðåí-
íûõ âûøå òåïëîâûõ òðóá, êîòîðûå ìîíòèðóþòñÿ íåïîñ-
ðåäñòâåííî ìåæäó êîðïóñîì è ëàçåðíûì óçëîì èëè ìåæ-
äó êîðïóñîì è ïå÷àòíîé ïëàòîé.
***
Ïðîâåäåííûé àíàëèç ïîêàçûâàåò, ÷òî òåïëîâûå
ïðîöåññû â ìèêðîëàçåðíûõ óñòðîéñòâàõ ïðåäñòàâ-
ëÿþò ñîáîé ìíîãîôàêòîðíîå ÿâëåíèå, îïðåäåëÿå-
ìîå êàê ïàðàìåòðàìè ëàçåðíîé ñòðóêòóðû, òàê è ñïî-
ñîáîì îòâîäà îò íåå òåïëà â êîíñòðóêòèâíûõ âàðè-
àíòàõ êîðïóñîâ ìèêðîëàçåðîâ è ëàçåðíûõ ìîäóëåé
ÂÎËÑ.
Òåïëîâûå è ýëåêòðîìàãíèòíûå ðåæèìû â îãðà-
íè÷åííîì îáúåìå ìèêðîñáîðêè ìîäóëåé ÂÎËÑ, îñî-
áåííî òðàíñèâåðîâ, îïðåäåëÿþòñÿ ãëàâíûì îáðàçîì
ïàðàìåòðàìè ìèêðîëàçåðîâ è âõîäíîãî êàñêàäà óñè-
ëèòåëÿ ôîòîïðèåìíîãî óçëà, êîòîðûå ÿâëÿþòñÿ íàè-
áîëåå êðèòè÷íûìè ýëåìåíòàìè êîíñòðóêöèé.
Íà îñíîâàíèè èçëîæåííîãî âûøå ìîæíî îïðå-
äåëèòü ñëåäóþùèå ðåêîìåíäàöèè ïî ñîçäàíèþ ìî-
äóëåé ÂÎËÑ ñ óëó÷øåííûìè èíôîðìàöèîííûìè è
ýêñïëóàòàöèîííûìè õàðàêòåðèñòèêàìè:
� óìåíüøåíèå òåïëîâûäåëåíèÿ â ëàçåðíîì êðèñ-
òàëëå ïóòåì îïòèìèçàöèè åãî àòîìíîãî ñîñòàâà ñ ó÷å-
òîì ìåõàíèçìîâ ïîãëîùåíèÿ è èñïóñêàíèÿ ôîòîíîâ;
� ñîêðàùåíèå ïîòåðü îïòè÷åñêîé ìîùíîñòè â
òðàíñèâåðå ïóòåì îïòèìèçàöèè êîíñòðóêöèè ïîäñèñ-
òåìû âûâîäà îïòè÷åñêîãî èçëó÷åíèÿ â îïòîâîëîêíî;
� ýôôåêòèâíûé îòâîä òåïëà îò ëàçåðà è äðóãèõ
òåïëîâûäåëÿþùèõ ýëåìåíòîâ ïóòåì ïðèìåíåíèÿ ìèê-
ðîîõëàäèòåëåé òèïà ÒÝÌÎ è òåïëîâûõ ìèêðîòðóá;
� ââåäåíèå êîíòóðîâ óïðàâëåíèÿ (âêëþ÷àþùèõ
äàò÷èêè ðàññîãëàñîâàíèÿ è íåçàâèñèìûå öåïè ñòà-
áèëèçàöèè) îïòè÷åñêèì, ýëåêòðè÷åñêèì è òåïëîâûì
ðåæèìàìè.
Ïðîâåäåííûå òåîðåòè÷åñêèå è ýêñïåðèìåíòàëü-
íûå èññëåäîâàíèÿ èñïîëüçîâàëèñü ïðè ðàçðàáîòêå è
ïðîèçâîäñòâå ïðèåìîïåðåäàþùèõ ìîäóëåé ÂÎËÑ â
íàó÷íî-èññëåäîâàòåëüñêîì Öåíòðå îïòîýëåêòðîííûõ
òåõíîëîãèé ÍÈÈ Ìèêðîïðèáîðîâ (ã. Êèåâ, òåë.
4347655, E-mail: osinsky@sabbo.net).
ÈÑÏÎËÜÇÎÂÀÍÍÛÅ ÈÑÒÎ×ÍÈÊÈ
1. Îñèíñêèé Â. È., Ëóãîâñêèé Â. Â., Íèêîëàåíêî
Þ. Å. Ìèêðîëàçåðíûå òåõíîëîãèè � ñòðàòåãèÿ ðàäèî-
ýëåêòðîíèêè è èíôîðìàöèîííîé òåõíèêè Óêðàèíû // Òåõ-
íîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå.�
1997.� ¹ 4.� Ñ. 12�16.
2. Îñèíñêèé Â. È., Îëåêñåíêî Ï. Ô., Ïàëàãèí À. Â. è
äð. Ïðîáëåìû èíòåãðàöèè ñòðóêòóð ãåòåðîýëåêòðîíèêè ñ
êðåìíèåâûìè ÈÑ // Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â
ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå.� 1999.� ¹ 1.� Ñ. 3�17.
3. Ñèðîòà Í. Í., Îñèíñêèé Â. È. Âëèÿíèå òåìïåðà-
òóðû íà êâàíòîâûé âûõîä ðåêîìáèíàöèîííîãî èçëó÷å-
íèÿ ýëåêòðîííî-äûðî÷íûõ ïåðåõîäîâ â ôîñôèäå èíäèÿ
/  ñá.: Õèìè÷åñêàÿ ñâÿçü â ïîëóïðîâîäíèêàõ è òåðìî-
äèíàìèêà.� Ìí.: Íàóêà è òåõíèêà, 1966.
4. Osinsky V., Winogradoff N. Excitation and tempe-
rature dependence of bandedge photoluminescence in gal-
lium arsenide / Phys. Rev. B.� 1971.� Vol. 31, N 10.�
P. 3341�3346.
5. Osinsky V., Peshko A. Anomalous temperature de-
pendence of recombination radiation of gallium arsenide //
Phys. Status Solidi (a).� 1979.� Vol. 54.� P. 577�584.
6. Osinsky V. Optoelectronic properties of heteroge-
neous semiconductors at superhigh time and space frequ-
encies / Procåedings 5th International Symposium on Re-
cent Advances in Microwave Technology.� Kiev, Sept.
1995, p. 433�436.
7. Âåðáèöêèé Â.Ã., Äçÿí À.Ñ. Ïëàçìåííîå òðàâëåíèå
ñèëèöèäîâ è ïîëèöèäîâ òóãîïëàâêèõ ìåòàëëîâ // Â ñá.:
Ôèçèêî-òåõíîëîãè÷åñêèå âîïðîñû êèáåðíåòèêè. � Êèåâ:
ÈÊ ÀÍ ÓÑÑÐ, 1984.� Ñ. 25�28.
8. Êàòàëîã ôèðìû OKI Electric Industry Co, Ltd.�
1995.
9. Íèêîëàåíêî Þ. Å., Êðàâåö Â. Þ. Èññëåäîâàíèå
ðåæèìîâ òåìïåðàòóðíîé îáðàáîòêè ìåäíûõ îáîëî÷åê òåï-
ëîâûõ ìèêðîòðóá // Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â
ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå.� 2000.� ¹ 1.� Ñ. 19�22.
10. Ïðàêòè÷åñêîå ïîñîáèå ïî ó÷åáíîìó êîíñòðóèðî-
âàíèþ ÐÝÀ / Â. Ò. Áåëèíñêèé, Â. Ï. Ãîíäþë, À. Á. Ãðî-
çèí è äð. Ïîä ðåä. Ê. Á. Êðóêîâñêîãî-Ñèíåâè÷à, Þ. Ë.
Ìàçîðà.� Ê. : Âèùà øêîëà, 1992.
11. Fiber Optic Components Operation. Hewlett-Pac-
kard, Ltd.� 1995.
12. Âîðîíüêî À. À., Ìåðæâèíñêèé Ï. À. Ñõåìîòåõ-
íèêà îïòîýëåêòðîííûõ òðàíñèâåðîâ äëÿ ñêîðîñòåé 155�
1250 Ìáèò/c / Ìàò-ëû 7-é Êðûìñêîé êîíô. «ÑÂ×-òåõ-
íèêà è òåëåêîììóíèêàöèîííûå òåõíîëîãèè».� Ñåâàñ-
òîïîëü, 1997, ò. 2, ñ. 409�412.
5*
ÎÁÅÑÏÅ×ÅÍÈÅ ÒÅÏËÎÂÛÕ ÐÅÆÈÌΠÀÏÏÀÐÀÒÓÐÛ
|