Исследование зондовых методов получения элементов наноэлектронных приборов и технологии диагностики с использованием электростатической силовой микроскопии

• Published in: Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології
• Date: 2011
• Main Authors: Ходаковский, Н.И., Ларкин, С.Ю., Галстян, Г.Г.
• Format: Article
• Language: Russian
• Published: Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України 2011
• Online Access: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/74588
• Journal Title: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Cite this: Исследование зондовых методов получения элементов наноэлектронных приборов и технологии диагностики с использованием электростатической силовой микроскопии / Н.И. Ходаковский, С.Ю. Ларкин, Г.Г. Галстян // Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології: Зб. наук. пр. — К.: РВВ ІМФ, 2011. — Т. 9, № 3. — С. 535-542. — Бібліогр.: 8 назв. — рос.

В работе исследованы зондовые методы построения наноэлектронных приборов и их диагностики с использованием электростатической силовой микроскопии. Рассмотрены пути повышения информативности измерений распределений зарядов и потенциалов в процессе получения элементов наноструктур. У роботі досліджено...