Исследование зондовых методов получения элементов наноэлектронных приборов и технологии диагностики с использованием электростатической силовой микроскопии
В работе исследованы зондовые методы построения наноэлектронных приборов и их диагностики с использованием электростатической силовой микроскопии. Рассмотрены пути повышения информативности измерений распределений зарядов и потенциалов в процессе получения элементов наноструктур. У роботі досліджено...
Saved in:
| Published in: | Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології |
|---|---|
| Date: | 2011 |
| Main Authors: | , , |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Published: |
Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України
2011
|
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/74588 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Исследование зондовых методов получения элементов наноэлектронных приборов и технологии диагностики с использованием электростатической силовой микроскопии / Н.И. Ходаковский, С.Ю. Ларкин, Г.Г. Галстян // Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології: Зб. наук. пр. — К.: РВВ ІМФ, 2011. — Т. 9, № 3. — С. 535-542. — Бібліогр.: 8 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1862705224860303360 |
|---|---|
| author | Ходаковский, Н.И. Ларкин, С.Ю. Галстян, Г.Г. |
| author_facet | Ходаковский, Н.И. Ларкин, С.Ю. Галстян, Г.Г. |
| citation_txt | Исследование зондовых методов получения элементов наноэлектронных приборов и технологии диагностики с использованием электростатической силовой микроскопии / Н.И. Ходаковский, С.Ю. Ларкин, Г.Г. Галстян // Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології: Зб. наук. пр. — К.: РВВ ІМФ, 2011. — Т. 9, № 3. — С. 535-542. — Бібліогр.: 8 назв. — рос. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології |
| description | В работе исследованы зондовые методы построения наноэлектронных приборов и их диагностики с использованием электростатической силовой микроскопии. Рассмотрены пути повышения информативности измерений распределений зарядов и потенциалов в процессе получения элементов наноструктур.
У роботі досліджено зондові методи побудови наноелектронних приладів та їх діягностики з використанням електростатичної силової мікроскопії. Розглянуто шляхи підвищення інформативности мірянь розподілів зарядів і потенціялів у процесі одержання елементів наноструктур.
Probe methods for nanoelectronic devices design and their diagnostics using electrostatic force microscopy are studied. The ways of increasing of information capability of measurements of the charge and potentials distributions in the process of formation of nanostructure elements are analysed.
|
| first_indexed | 2025-12-07T16:52:46Z |
| format | Article |
| fulltext | |
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-74588 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 1816-5230 |
| language | Russian |
| last_indexed | 2025-12-07T16:52:46Z |
| publishDate | 2011 |
| publisher | Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Ходаковский, Н.И. Ларкин, С.Ю. Галстян, Г.Г. 2015-01-21T18:21:56Z 2015-01-21T18:21:56Z 2011 Исследование зондовых методов получения элементов наноэлектронных приборов и технологии диагностики с использованием электростатической силовой микроскопии / Н.И. Ходаковский, С.Ю. Ларкин, Г.Г. Галстян // Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології: Зб. наук. пр. — К.: РВВ ІМФ, 2011. — Т. 9, № 3. — С. 535-542. — Бібліогр.: 8 назв. — рос. 1816-5230 PACS numbers: 07.79.-v, 68.37.-d, 81.16.Rf, 81.16.Ta, 85.35.-p https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/74588 В работе исследованы зондовые методы построения наноэлектронных приборов и их диагностики с использованием электростатической силовой микроскопии. Рассмотрены пути повышения информативности измерений распределений зарядов и потенциалов в процессе получения элементов наноструктур. У роботі досліджено зондові методи побудови наноелектронних приладів та їх діягностики з використанням електростатичної силової мікроскопії. Розглянуто шляхи підвищення інформативности мірянь розподілів зарядів і потенціялів у процесі одержання елементів наноструктур. Probe methods for nanoelectronic devices design and their diagnostics using electrostatic force microscopy are studied. The ways of increasing of information capability of measurements of the charge and potentials distributions in the process of formation of nanostructure elements are analysed. ru Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології Исследование зондовых методов получения элементов наноэлектронных приборов и технологии диагностики с использованием электростатической силовой микроскопии Article published earlier |
| spellingShingle | Исследование зондовых методов получения элементов наноэлектронных приборов и технологии диагностики с использованием электростатической силовой микроскопии Ходаковский, Н.И. Ларкин, С.Ю. Галстян, Г.Г. |
| title | Исследование зондовых методов получения элементов наноэлектронных приборов и технологии диагностики с использованием электростатической силовой микроскопии |
| title_full | Исследование зондовых методов получения элементов наноэлектронных приборов и технологии диагностики с использованием электростатической силовой микроскопии |
| title_fullStr | Исследование зондовых методов получения элементов наноэлектронных приборов и технологии диагностики с использованием электростатической силовой микроскопии |
| title_full_unstemmed | Исследование зондовых методов получения элементов наноэлектронных приборов и технологии диагностики с использованием электростатической силовой микроскопии |
| title_short | Исследование зондовых методов получения элементов наноэлектронных приборов и технологии диагностики с использованием электростатической силовой микроскопии |
| title_sort | исследование зондовых методов получения элементов наноэлектронных приборов и технологии диагностики с использованием электростатической силовой микроскопии |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/74588 |
| work_keys_str_mv | AT hodakovskiini issledovaniezondovyhmetodovpolučeniâélementovnanoélektronnyhpriborovitehnologiidiagnostikisispolʹzovaniemélektrostatičeskoisilovoimikroskopii AT larkinsû issledovaniezondovyhmetodovpolučeniâélementovnanoélektronnyhpriborovitehnologiidiagnostikisispolʹzovaniemélektrostatičeskoisilovoimikroskopii AT galstângg issledovaniezondovyhmetodovpolučeniâélementovnanoélektronnyhpriborovitehnologiidiagnostikisispolʹzovaniemélektrostatičeskoisilovoimikroskopii |