Низькотемпературні електропровідність та термоелектрорушійна сила плівок міді нанометрової товщини

Досліджено електропровідність та термоелектрорушійну силу полікристалічних плівок міді нанометрової товщини, термічно осаджених в умовах надвисокого вакууму. Встановлено, що енергетичні параметри щойно нанесених плівок є аналогічними параметрам відпалених плівок міді, а відмінність у ході розмірних...

Повний опис

Збережено в:
Бібліографічні деталі
Дата:2011
Автори: Стасюк, З.В., Бігун, Р.І., Куницький, Ю.А., Колтун, Н.С., Кравченко, О.Є.
Формат: Стаття
Мова:Ukrainian
Опубліковано: Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України 2011
Назва видання:Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології
Онлайн доступ:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/74612
Теги: Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:Низькотемпературні електропровідність та термоелектрорушійна сила плівок міді нанометрової товщини / З.В. Стасюк, Р.І. Бігун, Ю.А. Куницький, Н.С. Колтун, О.Є. Кравченко // Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології: Зб. наук. пр. — К.: РВВ ІМФ, 2011. — Т. 9, № 3. — С. 599-605. — Бібліогр.: 6 назв. — укр.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
id nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-74612
record_format dspace
spelling nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-746122025-02-23T17:16:46Z Низькотемпературні електропровідність та термоелектрорушійна сила плівок міді нанометрової товщини Стасюк, З.В. Бігун, Р.І. Куницький, Ю.А. Колтун, Н.С. Кравченко, О.Є. Досліджено електропровідність та термоелектрорушійну силу полікристалічних плівок міді нанометрової товщини, термічно осаджених в умовах надвисокого вакууму. Встановлено, що енергетичні параметри щойно нанесених плівок є аналогічними параметрам відпалених плівок міді, а відмінність у ході розмірних залежностей кінетичних коефіцієнтів є обумовленою зміною умов розсіяння носіїв струму на межах зерен. Одержані результати пояснено в рамках класичних модельних уявлень про перенесення заряду в системах обмежених розмірів. В рамках цих моделів розраховано параметри перенесення заряду ρ∞, β∞, S∞ та λ∞, що характеризують плівку безмежної товщини, будова якої є ідентичною структурі плівки товщиною d. Electroconductivity and thermoelectric power of the copper polycrystalline nanometer-thickness films deposited under ultrahigh vacuum conditions are investigated. As revealed, the energy parameters of as-deposited films are similar to parameters of annealed copper films. Difference in sizedependence courses of kinetic coefficients is caused by the change of grainboundary scattering conditions for carriers. Experimental results are explained within the scope of the classical finite-size-effect model for charge transport. The charge-transport parameters, ρ∞, β∞, S∞, and λ∞, which characterize a metal film of infinite thickness and structure identical to the structure of film of thickness d, are calculated. Исследованы электропроводность и термоэлектродвижущая сила поликристаллических плёнок меди нанометровой толщины, изготовленных методом термического распыления метала в условиях сверхвысокого вакуума. Показано, что энергетические параметры свеженанесённых плёнок аналогичны параметрам отожжённых плёнок меди, а отличие в ходе размерных зависимостей кинетических коэффициентов обусловлено изменением условий рассеяния носителей тока на границах кристаллитов. Объяснение полученных результатов осуществлено в рамках классических модельных представлений о переносе заряда в системах ограниченных размеров. На основе упомянутых моделей рассчитаны параметры переноса заряда ρ∞, β∞, S∞ та λ∞, характеризирующие плёнку бесконечной толщины, структура которой идентична структуре плёнки толщиной d. 2011 Article Низькотемпературні електропровідність та термоелектрорушійна сила плівок міді нанометрової товщини / З.В. Стасюк, Р.І. Бігун, Ю.А. Куницький, Н.С. Колтун, О.Є. Кравченко // Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології: Зб. наук. пр. — К.: РВВ ІМФ, 2011. — Т. 9, № 3. — С. 599-605. — Бібліогр.: 6 назв. — укр. 1816-5230 PACS numbers: 61.72.Hh, 72.10.Fk, 73.25.+i, 73.50.Bk, 73.50.Lw, 73.61.At, 73.63.Bd https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/74612 uk Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології application/pdf Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection DSpace DC
language Ukrainian
description Досліджено електропровідність та термоелектрорушійну силу полікристалічних плівок міді нанометрової товщини, термічно осаджених в умовах надвисокого вакууму. Встановлено, що енергетичні параметри щойно нанесених плівок є аналогічними параметрам відпалених плівок міді, а відмінність у ході розмірних залежностей кінетичних коефіцієнтів є обумовленою зміною умов розсіяння носіїв струму на межах зерен. Одержані результати пояснено в рамках класичних модельних уявлень про перенесення заряду в системах обмежених розмірів. В рамках цих моделів розраховано параметри перенесення заряду ρ∞, β∞, S∞ та λ∞, що характеризують плівку безмежної товщини, будова якої є ідентичною структурі плівки товщиною d.
format Article
author Стасюк, З.В.
Бігун, Р.І.
Куницький, Ю.А.
Колтун, Н.С.
Кравченко, О.Є.
spellingShingle Стасюк, З.В.
Бігун, Р.І.
Куницький, Ю.А.
Колтун, Н.С.
Кравченко, О.Є.
Низькотемпературні електропровідність та термоелектрорушійна сила плівок міді нанометрової товщини
Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології
author_facet Стасюк, З.В.
Бігун, Р.І.
Куницький, Ю.А.
Колтун, Н.С.
Кравченко, О.Є.
author_sort Стасюк, З.В.
title Низькотемпературні електропровідність та термоелектрорушійна сила плівок міді нанометрової товщини
title_short Низькотемпературні електропровідність та термоелектрорушійна сила плівок міді нанометрової товщини
title_full Низькотемпературні електропровідність та термоелектрорушійна сила плівок міді нанометрової товщини
title_fullStr Низькотемпературні електропровідність та термоелектрорушійна сила плівок міді нанометрової товщини
title_full_unstemmed Низькотемпературні електропровідність та термоелектрорушійна сила плівок міді нанометрової товщини
title_sort низькотемпературні електропровідність та термоелектрорушійна сила плівок міді нанометрової товщини
publisher Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України
publishDate 2011
url https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/74612
citation_txt Низькотемпературні електропровідність та термоелектрорушійна сила плівок міді нанометрової товщини / З.В. Стасюк, Р.І. Бігун, Ю.А. Куницький, Н.С. Колтун, О.Є. Кравченко // Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології: Зб. наук. пр. — К.: РВВ ІМФ, 2011. — Т. 9, № 3. — С. 599-605. — Бібліогр.: 6 назв. — укр.
series Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології
work_keys_str_mv AT stasûkzv nizʹkotemperaturníelektroprovídnístʹtatermoelektrorušíjnasilaplívokmídínanometrovoítovŝini
AT bígunrí nizʹkotemperaturníelektroprovídnístʹtatermoelektrorušíjnasilaplívokmídínanometrovoítovŝini
AT kunicʹkijûa nizʹkotemperaturníelektroprovídnístʹtatermoelektrorušíjnasilaplívokmídínanometrovoítovŝini
AT koltunns nizʹkotemperaturníelektroprovídnístʹtatermoelektrorušíjnasilaplívokmídínanometrovoítovŝini
AT kravčenkooê nizʹkotemperaturníelektroprovídnístʹtatermoelektrorušíjnasilaplívokmídínanometrovoítovŝini
first_indexed 2025-11-24T03:42:51Z
last_indexed 2025-11-24T03:42:51Z
_version_ 1849641687356276736
fulltext 599 PACS numbers:61.72.Hh, 72.10.Fk,73.25.+i,73.50.Bk,73.50.Lw,73.61.At, 73.63.Bd Низькотемпературні електропровідність та термоелектрорушійна сила плівок міді нанометрової товщини З. В. Стасюк, Р. І. Бігун, Ю. А. Куницький*, Н. С. Колтун, О. Є. Кравченко Львівський національний університет імені Івана Франка, вул. Драгоманова, 50, 79005 Львів, Україна *Київський національний університет імені Тараса Шевченка, вул. Володимирська, 64, 01601 Київ, Україна Досліджено електропровідність та термоелектрорушійну силу полікрис- талічних плівок міді нанометрової товщини, термічно осаджених в умо- вах надвисокого вакууму. Встановлено, що енергетичні параметри щойно нанесених плівок є аналогічними параметрам відпалених плівок міді, а відмінність у ході розмірних залежностей кінетичних коефіцієнтів є обу- мовленою зміною умов розсіяння носіїв струму на межах зерен. Одержані результати пояснено в рамках класичних модельних уявлень про перене- сення заряду в системах обмежених розмірів. В рамках цих моделів роз- раховано параметри перенесення заряду ρ∞, β∞, S∞ та λ∞, що характеризу- ють плівку безмежної товщини, будова якої є ідентичною структурі плів- ки товщиною d. Electroconductivity and thermoelectric power of the copper polycrystalline nanometer-thickness films deposited under ultrahigh vacuum conditions are investigated. As revealed, the energy parameters of as-deposited films are similar to parameters of annealed copper films. Difference in size- dependence courses of kinetic coefficients is caused by the change of grain- boundary scattering conditions for carriers. Experimental results are ex- plained within the scope of the classical finite-size-effect model for charge transport. The charge-transport parameters, ρ∞, β∞, S∞, and λ∞, which charac- terize a metal film of infinite thickness and structure identical to the struc- ture of film of thickness d, are calculated. Исследованы электропроводность и термоэлектродвижущая сила поли- кристаллических плёнок меди нанометровой толщины, изготовленных методом термического распыления метала в условиях сверхвысокого ва- куума. Показано, что энергетические параметры свеженанесённых плё- Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології Nanosystems, Nanomaterials, Nanotechnologies 2011, т. 9, № 3, сс. 599—605 © 2011 ІМФ (Інститут металофізики ім. Г. В. Курдюмова НАН України) Надруковано в Україні. Фотокопіювання дозволено тільки відповідно до ліцензії 600 З. В. СТАСЮК, Р. І. БІГУН, Ю. А. КУНИЦЬКИЙ, Н. С. КОЛТУН та ін. нок аналогичны параметрам отожжённых плёнок меди, а отличие в ходе размерных зависимостей кинетических коэффициентов обусловлено из- менением условий рассеяния носителей тока на границах кристаллитов. Объяснение полученных результатов осуществлено в рамках классиче- ских модельных представлений о переносе заряда в системах ограничен- ных размеров. На основе упомянутых моделей рассчитаны параметры пе- реноса заряда ρ∞, β∞, S∞ та λ∞, характеризирующие плёнку бесконечной толщины, структура которой идентична структуре плёнки толщиной d. Ключові слова: тонкі металеві плівки, класичний розмірний ефект, поверхневе розсіяння носіїв струму. (Отримано 19 липня 2011 р.) ВСТУП Значна увага до вивчення фізичних явищ у тонких плівках зумовле- на їх широким практичним використанням у різних галузях сучас- ної техніки, а також можливістю одержання інформації про фунда- ментальні властивості речовини в зразках обмежених розмірів. Ві- домо, що обмеження розмірів зразка, принаймні в одному з напрям- ків (у випадку плівки це товщина шару d), призводить до зміни тер- модинамічних та електронних характеристик речовини. Вивчення кінетичних коефіцієнтів тонких плівок різної товщини дозволяє одержати надійні відомості про вплив обмеження товщини шару на електронну структуру зразка, на особливості розсіяння носіїв струму зовнішніми поверхнями плівки та міжзеренними межами. В метале- вих зразках товщиною більшою за 5—10 нм зміни електронного енер- гетичного спектру звичайно не спостерігаються, і тому залежність кінетичних коефіцієнтів від товщини шару та розмірів кристалітів добре описується напівклясичними теоретичними моделями, які враховують обмеження середнього часу релаксації (середньої дов- жини вільного пробігу носіїв струму) їхнім додатковим розсіянням статичними дефектами – міжзеренними межами та зовнішніми по- верхнями плівки. Вивченню розмірних залежностей кінетичних ко- ефіцієнтів плівок різних металів присвячено значну кількість експе- риментальних робіт, зокрема, огляд значної кількости досліджень даного плану, виконаних до 2000 року, проаналізовано в оглядовій статті [1]. В [1] відзначалися труднощі в трактуванні експеримента- льних даних одержаних для плівок багатовалентних та перехідних металів. Це обумовлено невідповідністю моделів Зоммерфельдового металу, покладеного в основу теорій геометричних розмірних явищ, реальній електронній будові згаданих металів. В дослідженні, яке виконано для плівок міді, цього недоліку можна уникнути, оскільки модель металу Друде—Зоммерфельда достатньо добре описує явища перенесення заряду в плівках даного металу. Вивчено експеримен- ЕЛЕКТРОПРОВІДНІСТЬ ТА ТЕРМОЕЛЕКТРОРУШІЙНА СИЛА ПЛІВОК МІДІ 601 тально розмірні залежности низькотемпературних питомого опору ρ, температурного коефіцієнта опору β та термоелектрорушійної сили S щойно нанесених та термостабілізованих при кімнатній температурі плівок міді. В роботі використовувалися створені в попередніх дослі- дженнях експериментальні методики [1, 2, 3]. Експеримент виконували у відлютованих скляних приладах. Тиск залишкових газів в експериментальних приладах у процесі препару- вання та дослідження електричних властивостей плівок не переви- щував 10 −7 Па. Плівки наносили на охолоджені до 78 К підкладки шляхом конденсації пари термічно випаровуваного металу. З метою запобігання утворенню кристалічних зростків значної величини плівки конденсували з швидкістю не вищою за 0,01—0,02 нм/с. Ма- сову товщину плівки оцінювали за зсувом резонансної частоти п’єзокварцового вібратора, розташованого в потоці пари випарову- ваного металу, з чутливістю не гіршою від 0,2 нм. Для виконання до- слідження структури відпалених плівок з використанням просвіт- ньої електронної мікроскопії метал наносили на вуглецеву плівку попередньо нанесену на поверхню відколу монокристалу хльористо- го натрію. Морфологію поверхні плівок, нанесених на скло, дослі- джували за допомогою сканівної тунельної мікроскопії. Досліджу- вали електричні властивості плівок, нанесених на оплавлене поліро- ване скло. Вимірювання опору плівок здійснювали при температурах 78 К і 90 К (температура рідких азоту та кисню) за допомогою електрон- ного цифрового вольтметра В7-34А. Вимірювання термоерс плівок здійснювали фотокомпенсаційним нановольтамперметром Р341 при згаданій ріжниці температур. Особливістю плівок, сформова- них за допомогою використаної в роботі методики експерименту, була достатня для виконання виміру опору та термоерс часова ста- більність згаданих величин у щойно нанесених плівках. Це дозво- лило здійснити надійне порівняння величин, виміряних для щойно нанесених та термостабілізованих нагрівом до кімнатної темпера- тури плівок. Дослідження структури відпалених при 293 К плівок дозволило зробити наступні висновки. Плівки металу товщиною більшою за 12—15 нм є однорідними полікристалічними електрично суцільни- ми шарами металу. Середні лінійні розміри кристалітів у площині, паралельній підкладці, D = 20—23 нм в діяпазоні товщин плівок d = 10—50 нм не залежали від товщини плівки. СТМ-дослідження морфології поверхні плівок показали, що середня амплітуда повер- хневих неоднорідностей плівок h = 10—11 нм. Про особливість будо- ви щойно нанесених плівок можна судити лише опосередковано з порівняння результатів дослідження електричних характеристик щойно нанесених та термостабілізованих плівок, оскільки досліди- ти структуру щойно нанесених плівок не було технічних можливо- 602 З. В. СТАСЮК, Р. І. БІГУН, Ю. А. КУНИЦЬКИЙ, Н. С. КОЛТУН та ін. стей. На рисунку 1 наведено залежності питомого опору ρ при Т = 78 К і Т = 90 К та температурного коефіцієнта опору β для цього темпера- турного діяпазону відповідно щойно нанесених (as-deposited) та ві- дпалених при Т = 293 К плівок міді від товщини плівки d, показа- них на рисунках. Експериментальні дані ρ = ρ(d) і β = β(d) показані на рисунках можна кількісно описати за допомогою моделю полік- ристалічного шару неоднорідної товщини [4], який об’єднує в собі теорії, що враховують вплив поверхневого (Фукса—Зондґаймера і Намба) та зерномежового (Маядаса—Шацкеса, Тельє—Тоссе—Пішар) розсіяння носіїв струму на кінетичні коефіцієнти та параметри пе- ренесення заряду в плівках. Результати розрахунку величин, що описують перенесення заряду у невідпалених (1, 2) і відпалених (3, 4) плівках, наведено в таблиці при Т1 = 78 К і Т2 = 90 К. Зауважимо, що величини ρ∞, β∞, λρ, λβ хара- ктеризують плівку безмежної товщини, структура якої ідентична будові плівки товщиною d. При розрахунках використано табличні характеристики масивного металу ρ0, β0 і λ0 [5]. В таблиці наведено а б Рис. 1. Розмірні залежності питомого опору ρ при Т = 78 К (криві 1) і при Т = 90 К (криві 2) та температурного коефіцієнта опору β в діяпазоні темпе- ратур 78—90К (криві 3) для а)щойно нанесених і б) відпалених плівок міді. ТАБЛИЦЯ. T, К ρ∞⋅109, Ом⋅м β∞⋅103, К −1 S∞, мкВ/К h, нм 1 78 13,58 6,8 +0,61 4—5 2 90 14,59 – 3 78 6,02 15,34 +0,96 10—11 4 90 7,77 – ЕЛЕКТРОПРОВІДНІСТЬ ТА ТЕРМОЕЛЕКТРОРУШІЙНА СИЛА ПЛІВОК МІДІ 603 величини середньої амплітуди поверхневих неоднорідностей, розра- хованих з експериментальних залежностей ρ(d). Для відпалених плівок ці величини добре узгоджуються з величинами одержаними в СТМ-дослідженнях. Зауважимо, що величина h для відпалених плі- вок достатньо близька до величини D/2. Все це дозволяє зробити ви- сновки про можливу будову невідпалених плівок. З наших поперед- ніх досліджень відомо, що величина h, розрахована з розмірних за- лежностей ρ на основі моделю полікристалічного шару неоднорідної товщини, достатньо добре узгоджується з величинами одержаними в СТМ-дослідженнях. На основі сказаного можна стверджувати, що в щойно нанесених плівках середні лінійні розміри кристалітів не ду- же відрізняються від D = 7—9 нм, а середня амплітуда поверхневих неоднорідностей близька до h = 4—5 нм. На користь сказаного свід- чить і результат розрахунку ймовірности міжзеренного тунелювання t на основі виразу моделю Тельє—Тоссе—Пішар [1, 4]: ρ∞/ρ = 3(λ0/D)(1 − t)/(1 + t). (1) Для відпалених плівок одержано t = 0,75, а для щойно нанесених t = 0,76. Даний результат підтверджує висновок теорії [1, 4] про від- сутність залежности t від розмірів кристалітів. На рисунку 2 наведено відповідно розмірні залежності диферен- ціальної термоерс ΔS щойно нанесених (а) та відпалених (б) плівок міді відносно масивної пластини для ріжниці температур 78 К і 90 К. На цих рисунках також побудовано залежності ΔSd від d, які, як і передбачає теорія розмірних ефектів, виявились лінійними функ- ціями d. Згідно з теорією розмірних залежностей термоерс, ріжни- а б Рис. 2. Розмірні залежності низькотемпературної диференціяльної термо- ерс S(d) (криві 1) та розрахункової величини Sd (криві 2) щойно нанесених (а) та відпалених (б) плівок міді. 604 З. В. СТАСЮК, Р. І. БІГУН, Ю. А. КУНИЦЬКИЙ, Н. С. КОЛТУН та ін. ця термоерс S(d) плівки товщиною d і термоерс безмежно товстої плівки S∞ задається виразом: − ∞ π λ − λ −Δ = − = = ⋅ ε ε 2 2 30 3 (1 ) (1 ) ( ) 9,2 10 . 8 F F k T p T p U S d S S U e d d (2) У цьому виразі: k0 – Больцманнова стала; εF – Фермійова енергія металу; p – коефіцієнт дзеркальности поверхневого розсіяння носі- їв струму; U – параметер, що характеризує енергетичну залеж- ність вільного пробігу носіїв струму: [ (ln ) / (ln )] F U d d ε=ε= λ ε . У мо- делю металу Зоммерфельда λ ∝ ε2, а тому U = 2. Зауважимо, що в дрібнокристалічних шарах поверхневе розсіяння носіїв струму, з достатнім ступенем вірогідности, може вважатись дифузним, а то- му p = 0. Лінійність залежностей ΔSd від d підтверджує придатність виразу (2) для кількісного опису розмірної залежности S(d) в плівках, лі- нійні розміри кристалітів в яких не залежать від товщини плівки. Наведені на рис. 2 експериментальні розмірні залежності достатньо добре описуються за допомогою виразу (2) при значеннях параметрів S∞ і U: S∞ = 0,61 мкВ/К і U = 2,1 для щойно нанесених плівок та S∞ = 1,21 мкВ/К і U = 2,1 для відпалених плівок. Одержане значення U = 2,1 в межах точности експерименту та точности теоретичного ро- зрахунку достатньо добре узгоджуються з величиною U = 2, покла- деною в основу металу Друде—Зоммерфельда. Заслуговує уваги обговорення величин ρ∞, β∞, та S∞ одержаних в результаті оброблення експериментальних даних. Згадані величи- ни характеризують модельний шар безмежної товщини d → ∞ (реа- льно це d >> λ, λ – середня довжина вільного пробігу носіїв струму в такому шарі). Величина λ є меншою за λ0 (середню довжину віль- ного пробігу електрона в масивному монокристалічному зразку). Даний факт є результатом того, що реальна полікристалічна плівка складається з кристалітів, лінійні розміри яких співвимірні λ або менші за неї. За рахунок цього залежно від лінійних розмірів крис- талітів можливе неоднократне тунелювання носія струму крізь мі- жзеренні межі протягом одного вільного пробігу. Тому величини ρ∞, β∞, S∞ залежать від ступеня досконалости шару, зокрема, від ро- змірів кристалітів. Цей факт неодноразово обговорювався при ство- ренні теорії внутрішнього розмірного ефекту. Зокрема, в рамках моделю ТТП [6] повинен існувати взаємозв’язок між β∞ та S∞. В ро- ботах Тельє, Тоссе, Пішар наведено співвідношення між цими ве- личинами у вигляді [6]: S∞ = S0(V + Uβ∞/β0). (3) З виразу (3) випливає, що, якщо залежно від розмірів кристалітів одержують різні величини β∞ і S∞, то повинно виконуватись наступ- ЕЛЕКТРОПРОВІДНІСТЬ ТА ТЕРМОЕЛЕКТРОРУШІЙНА СИЛА ПЛІВОК МІДІ 605 не співвідношення: 0 0 V U S S V U ∞ ∞ ∞∞ ′β+ ′ β = ′′β′′ + β , (4) де S∞′ , ∞′β та ∞′′β , S∞′′ – параметри, що характеризують плівку з різ- ними розмірами зерен. Вважається, що V = 1, а U = 2,1. Тому вираз (4) можна звести до вигляду: 0 0 2,1 2,1 S S ∞∞ ∞ ∞ ′′ β + β = ′′ ′′β + β . (5) Після підстановки величин з таблиці одержуємо, що ліва сторона виразу дорівнює 0,64, а права – 0,674. Це можна вважати добрим підтвердженням придатности виразу (3) для опису властивостей плівок міді. ВИСНОВКИ 1. Експериментально досліджено вплив поверхневого та зерноме- жового розсіяння носіїв струму на електропровідність та диферен- ційну термоерс плівок міді нанометрової товщини. 2. Результати експерименту пояснено на основі сучасних уявлень про геометричний розмірний ефект. Встановлено кореляцію впливу внутрішнього розмірного ефекту на температурний коефіцієнт опо- ру та диференційну термоерс плівок міді. ЦИТОВАНА ЛІТЕРАТУРА 1. З. В. Стасюк, А. І. Лопатинський, ФХТТ, 2, № 4: 521 (2001). 2. B. L. Melnichuk, A. I. Lopatinsky, and Z. V. Stasyuk, Phys. Stat. Sol., 171, No. 2: 495 (1999). 3. А. П. Шпак, Р. І. Бігун, З. В. Стасюк, Ю. А. Куницький, Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології, 8, вип. 2: 339 (2010). 4. Z. V. Stasyuk, J. Phys. Studies, 3, No. 1: 102 (1999). 5. И. К. Кикоин, Таблицы физических величин: Справочник (Москва: Атом- издат: 1976). 6. С. R. Tellier, Active and Passive Elec. Comp., 14: 1 (1990).