Вплив тиску азоту на механічні властивості і термічну стабільність покриттів TiAlSiN, одержаних при вакуумно-дуговому осадженні

• Published in: Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології
• Date: 2012
• Main Authors: Білоус, В.А., Купрін, О.С., Ломіно, М.С., Овчаренко, В.Д., Толмачова, Г.М.
• Format: Article
• Language: Ukrainian
• Published: Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України 2012
• Online Access: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/75204
• Journal Title: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Cite this: Вплив тиску азоту на механічні властивості і термічну стабільність покриттів TiAlSiN, одержаних при вакуумно-дуговому осадженні / В.А. Білоус, О.С. Купрін, М.С. Ломіно, В.Д. Овчаренко, Г.М. Толмачова // Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології: Зб. наук. пр. — К.: РВВ ІМФ, 2012. — Т. 10, № 1. — С. 19-25. — Бібліогр.: 9 назв. — укр.

Вакуумно-дуговою методою в умовах фільтрації плазмового потоку осаджено покриття TiAlSiN з твердістю від 30 до 45 ГПa, залежно від тиску азоту. Досліджено елементний склад покриттів зі зміною параметрів процесу. Показано високу термостабільність одержаних конденсатів до 1000°С. Вакуумно-дуговым мето...