Установка для дослідження процесів рідинного травлення неорганічних резистів — середовищ для голографії та оптичного запису інформації
Розроблено установку для дослідження кінетики рідинного травлення тонких плівок халькогенідних склоподібних матеріалів (неорганічних резистів) і одержання інформаційного мікрорельєфу в статичному, динамічному з циркуляцією та динамічному з утилізацією травника режимах в інтервалі температур 293 - 35...
Збережено в:
| Опубліковано в: : | Реєстрація, зберігання і обробка даних |
|---|---|
| Дата: | 2008 |
| Автори: | , , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Українська |
| Опубліковано: |
Інститут проблем реєстрації інформації НАН України
2008
|
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/7565 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Установка для дослідження процесів рідинного травлення неорганічних резистів - середовищ для голографії та оптичного запису інформації / А.А. Тарнай, В.К. Кириленко, В.М. Рубіш, Е.В. Гера // Реєстрація, зберігання і оброб. даних. — 2008. — Т. 10, № 2. — С. 32-36. — Бібліогр.: 10 назв. — укp. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1862708372606812160 |
|---|---|
| author | Тарнай, А.А. Кириленко, В.К. Рубіш, В.М. Гера, Е.В. |
| author_facet | Тарнай, А.А. Кириленко, В.К. Рубіш, В.М. Гера, Е.В. |
| citation_txt | Установка для дослідження процесів рідинного травлення неорганічних резистів - середовищ для голографії та оптичного запису інформації / А.А. Тарнай, В.К. Кириленко, В.М. Рубіш, Е.В. Гера // Реєстрація, зберігання і оброб. даних. — 2008. — Т. 10, № 2. — С. 32-36. — Бібліогр.: 10 назв. — укp. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Реєстрація, зберігання і обробка даних |
| description | Розроблено установку для дослідження кінетики рідинного травлення тонких плівок халькогенідних склоподібних матеріалів (неорганічних резистів) і одержання інформаційного мікрорельєфу в статичному, динамічному з циркуляцією та динамічному з утилізацією травника режимах в інтервалі температур 293 - 353 K
Разработана установка для исследования кинетики жидкостного травления тонких пленок халькогенидных стеклообразных материалов (неорганических резистов) и получения информационного микрорельефа в статическом, динамическом с циркуляцией и динамическом с утилизацией травителя режимах в интервале температур 293–253 К.
An apparatus for investigations of liquid etching kinetics of thin chalcogenide vitreous films (inorganic resist) in static, dynamic with circulation and dynamic with utilization of the etchant, modes in the temperature range of 293–353 K and obtaining an information microrelief is developed.
|
| first_indexed | 2025-12-07T17:10:12Z |
| format | Article |
| fulltext | |
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-7565 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 1560-9189 |
| language | Ukrainian |
| last_indexed | 2025-12-07T17:10:12Z |
| publishDate | 2008 |
| publisher | Інститут проблем реєстрації інформації НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Тарнай, А.А. Кириленко, В.К. Рубіш, В.М. Гера, Е.В. 2010-04-02T12:25:13Z 2010-04-02T12:25:13Z 2008 Установка для дослідження процесів рідинного травлення неорганічних резистів - середовищ для голографії та оптичного запису інформації / А.А. Тарнай, В.К. Кириленко, В.М. Рубіш, Е.В. Гера // Реєстрація, зберігання і оброб. даних. — 2008. — Т. 10, № 2. — С. 32-36. — Бібліогр.: 10 назв. — укp. 1560-9189 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/7565 004.08; 004.023; 004.085 Розроблено установку для дослідження кінетики рідинного травлення тонких плівок халькогенідних склоподібних матеріалів (неорганічних резистів) і одержання інформаційного мікрорельєфу в статичному, динамічному з циркуляцією та динамічному з утилізацією травника режимах в інтервалі температур 293 - 353 K Разработана установка для исследования кинетики жидкостного травления тонких пленок халькогенидных стеклообразных материалов (неорганических резистов) и получения информационного микрорельефа в статическом, динамическом с циркуляцией и динамическом с утилизацией травителя режимах в интервале температур 293–253 К. An apparatus for investigations of liquid etching kinetics of thin chalcogenide vitreous films (inorganic resist) in static, dynamic with circulation and dynamic with utilization of the etchant, modes in the temperature range of 293–353 K and obtaining an information microrelief is developed. uk Інститут проблем реєстрації інформації НАН України Реєстрація, зберігання і обробка даних Фізичні основи, принципи та методи реєстрації даних Установка для дослідження процесів рідинного травлення неорганічних резистів — середовищ для голографії та оптичного запису інформації Установка для исследования процессов жидкостного травления пленочных объектов — сред для голографии и оптической записи информации Apparatus for Investigation of Liquid Etching Processes of Film Objects — Media for Holography and Optical Information Recording Article published earlier |
| spellingShingle | Установка для дослідження процесів рідинного травлення неорганічних резистів — середовищ для голографії та оптичного запису інформації Тарнай, А.А. Кириленко, В.К. Рубіш, В.М. Гера, Е.В. Фізичні основи, принципи та методи реєстрації даних |
| title | Установка для дослідження процесів рідинного травлення неорганічних резистів — середовищ для голографії та оптичного запису інформації |
| title_alt | Установка для исследования процессов жидкостного травления пленочных объектов — сред для голографии и оптической записи информации Apparatus for Investigation of Liquid Etching Processes of Film Objects — Media for Holography and Optical Information Recording |
| title_full | Установка для дослідження процесів рідинного травлення неорганічних резистів — середовищ для голографії та оптичного запису інформації |
| title_fullStr | Установка для дослідження процесів рідинного травлення неорганічних резистів — середовищ для голографії та оптичного запису інформації |
| title_full_unstemmed | Установка для дослідження процесів рідинного травлення неорганічних резистів — середовищ для голографії та оптичного запису інформації |
| title_short | Установка для дослідження процесів рідинного травлення неорганічних резистів — середовищ для голографії та оптичного запису інформації |
| title_sort | установка для дослідження процесів рідинного травлення неорганічних резистів — середовищ для голографії та оптичного запису інформації |
| topic | Фізичні основи, принципи та методи реєстрації даних |
| topic_facet | Фізичні основи, принципи та методи реєстрації даних |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/7565 |
| work_keys_str_mv | AT tarnaiaa ustanovkadlâdoslídžennâprocesívrídinnogotravlennâneorganíčnihrezistívseredoviŝdlâgolografíítaoptičnogozapisuínformacíí AT kirilenkovk ustanovkadlâdoslídžennâprocesívrídinnogotravlennâneorganíčnihrezistívseredoviŝdlâgolografíítaoptičnogozapisuínformacíí AT rubíšvm ustanovkadlâdoslídžennâprocesívrídinnogotravlennâneorganíčnihrezistívseredoviŝdlâgolografíítaoptičnogozapisuínformacíí AT geraev ustanovkadlâdoslídžennâprocesívrídinnogotravlennâneorganíčnihrezistívseredoviŝdlâgolografíítaoptičnogozapisuínformacíí AT tarnaiaa ustanovkadlâissledovaniâprocessovžidkostnogotravleniâplenočnyhobʺektovsreddlâgolografiiioptičeskoizapisiinformacii AT kirilenkovk ustanovkadlâissledovaniâprocessovžidkostnogotravleniâplenočnyhobʺektovsreddlâgolografiiioptičeskoizapisiinformacii AT rubíšvm ustanovkadlâissledovaniâprocessovžidkostnogotravleniâplenočnyhobʺektovsreddlâgolografiiioptičeskoizapisiinformacii AT geraev ustanovkadlâissledovaniâprocessovžidkostnogotravleniâplenočnyhobʺektovsreddlâgolografiiioptičeskoizapisiinformacii AT tarnaiaa apparatusforinvestigationofliquidetchingprocessesoffilmobjectsmediaforholographyandopticalinformationrecording AT kirilenkovk apparatusforinvestigationofliquidetchingprocessesoffilmobjectsmediaforholographyandopticalinformationrecording AT rubíšvm apparatusforinvestigationofliquidetchingprocessesoffilmobjectsmediaforholographyandopticalinformationrecording AT geraev apparatusforinvestigationofliquidetchingprocessesoffilmobjectsmediaforholographyandopticalinformationrecording |