Установка для дослідження процесів рідинного травлення неорганічних резистів — середовищ для голографії та оптичного запису інформації
Розроблено установку для дослідження кінетики рідинного травлення тонких плівок халькогенідних склоподібних матеріалів (неорганічних резистів) і одержання інформаційного мікрорельєфу в статичному, динамічному з циркуляцією та динамічному з утилізацією травника режимах в інтервалі температур 293 - 35...
Saved in:
| Published in: | Реєстрація, зберігання і обробка даних |
|---|---|
| Date: | 2008 |
| Main Authors: | , , , |
| Format: | Article |
| Language: | Ukrainian |
| Published: |
Інститут проблем реєстрації інформації НАН України
2008
|
| Subjects: | |
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/7565 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Установка для дослідження процесів рідинного травлення неорганічних резистів - середовищ для голографії та оптичного запису інформації / А.А. Тарнай, В.К. Кириленко, В.М. Рубіш, Е.В. Гера // Реєстрація, зберігання і оброб. даних. — 2008. — Т. 10, № 2. — С. 32-36. — Бібліогр.: 10 назв. — укp. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-7565 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
Тарнай, А.А. Кириленко, В.К. Рубіш, В.М. Гера, Е.В. 2010-04-02T12:25:13Z 2010-04-02T12:25:13Z 2008 Установка для дослідження процесів рідинного травлення неорганічних резистів - середовищ для голографії та оптичного запису інформації / А.А. Тарнай, В.К. Кириленко, В.М. Рубіш, Е.В. Гера // Реєстрація, зберігання і оброб. даних. — 2008. — Т. 10, № 2. — С. 32-36. — Бібліогр.: 10 назв. — укp. 1560-9189 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/7565 004.08; 004.023; 004.085 Розроблено установку для дослідження кінетики рідинного травлення тонких плівок халькогенідних склоподібних матеріалів (неорганічних резистів) і одержання інформаційного мікрорельєфу в статичному, динамічному з циркуляцією та динамічному з утилізацією травника режимах в інтервалі температур 293 - 353 K Разработана установка для исследования кинетики жидкостного травления тонких пленок халькогенидных стеклообразных материалов (неорганических резистов) и получения информационного микрорельефа в статическом, динамическом с циркуляцией и динамическом с утилизацией травителя режимах в интервале температур 293–253 К. An apparatus for investigations of liquid etching kinetics of thin chalcogenide vitreous films (inorganic resist) in static, dynamic with circulation and dynamic with utilization of the etchant, modes in the temperature range of 293–353 K and obtaining an information microrelief is developed. uk Інститут проблем реєстрації інформації НАН України Реєстрація, зберігання і обробка даних Фізичні основи, принципи та методи реєстрації даних Установка для дослідження процесів рідинного травлення неорганічних резистів — середовищ для голографії та оптичного запису інформації Установка для исследования процессов жидкостного травления пленочных объектов — сред для голографии и оптической записи информации Apparatus for Investigation of Liquid Etching Processes of Film Objects — Media for Holography and Optical Information Recording Article published earlier |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| title |
Установка для дослідження процесів рідинного травлення неорганічних резистів — середовищ для голографії та оптичного запису інформації |
| spellingShingle |
Установка для дослідження процесів рідинного травлення неорганічних резистів — середовищ для голографії та оптичного запису інформації Тарнай, А.А. Кириленко, В.К. Рубіш, В.М. Гера, Е.В. Фізичні основи, принципи та методи реєстрації даних |
| title_short |
Установка для дослідження процесів рідинного травлення неорганічних резистів — середовищ для голографії та оптичного запису інформації |
| title_full |
Установка для дослідження процесів рідинного травлення неорганічних резистів — середовищ для голографії та оптичного запису інформації |
| title_fullStr |
Установка для дослідження процесів рідинного травлення неорганічних резистів — середовищ для голографії та оптичного запису інформації |
| title_full_unstemmed |
Установка для дослідження процесів рідинного травлення неорганічних резистів — середовищ для голографії та оптичного запису інформації |
| title_sort |
установка для дослідження процесів рідинного травлення неорганічних резистів — середовищ для голографії та оптичного запису інформації |
| author |
Тарнай, А.А. Кириленко, В.К. Рубіш, В.М. Гера, Е.В. |
| author_facet |
Тарнай, А.А. Кириленко, В.К. Рубіш, В.М. Гера, Е.В. |
| topic |
Фізичні основи, принципи та методи реєстрації даних |
| topic_facet |
Фізичні основи, принципи та методи реєстрації даних |
| publishDate |
2008 |
| language |
Ukrainian |
| container_title |
Реєстрація, зберігання і обробка даних |
| publisher |
Інститут проблем реєстрації інформації НАН України |
| format |
Article |
| title_alt |
Установка для исследования процессов жидкостного травления пленочных объектов — сред для голографии и оптической записи информации Apparatus for Investigation of Liquid Etching Processes of Film Objects — Media for Holography and Optical Information Recording |
| description |
Розроблено установку для дослідження кінетики рідинного травлення тонких плівок халькогенідних склоподібних матеріалів (неорганічних резистів) і одержання інформаційного мікрорельєфу в статичному, динамічному з циркуляцією та динамічному з утилізацією травника режимах в інтервалі температур 293 - 353 K
Разработана установка для исследования кинетики жидкостного травления тонких пленок халькогенидных стеклообразных материалов (неорганических резистов) и получения информационного микрорельефа в статическом, динамическом с циркуляцией и динамическом с утилизацией травителя режимах в интервале температур 293–253 К.
An apparatus for investigations of liquid etching kinetics of thin chalcogenide vitreous films (inorganic resist) in static, dynamic with circulation and dynamic with utilization of the etchant, modes in the temperature range of 293–353 K and obtaining an information microrelief is developed.
|
| issn |
1560-9189 |
| url |
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/7565 |
| citation_txt |
Установка для дослідження процесів рідинного травлення неорганічних резистів - середовищ для голографії та оптичного запису інформації / А.А. Тарнай, В.К. Кириленко, В.М. Рубіш, Е.В. Гера // Реєстрація, зберігання і оброб. даних. — 2008. — Т. 10, № 2. — С. 32-36. — Бібліогр.: 10 назв. — укp. |
| work_keys_str_mv |
AT tarnaiaa ustanovkadlâdoslídžennâprocesívrídinnogotravlennâneorganíčnihrezistívseredoviŝdlâgolografíítaoptičnogozapisuínformacíí AT kirilenkovk ustanovkadlâdoslídžennâprocesívrídinnogotravlennâneorganíčnihrezistívseredoviŝdlâgolografíítaoptičnogozapisuínformacíí AT rubíšvm ustanovkadlâdoslídžennâprocesívrídinnogotravlennâneorganíčnihrezistívseredoviŝdlâgolografíítaoptičnogozapisuínformacíí AT geraev ustanovkadlâdoslídžennâprocesívrídinnogotravlennâneorganíčnihrezistívseredoviŝdlâgolografíítaoptičnogozapisuínformacíí AT tarnaiaa ustanovkadlâissledovaniâprocessovžidkostnogotravleniâplenočnyhobʺektovsreddlâgolografiiioptičeskoizapisiinformacii AT kirilenkovk ustanovkadlâissledovaniâprocessovžidkostnogotravleniâplenočnyhobʺektovsreddlâgolografiiioptičeskoizapisiinformacii AT rubíšvm ustanovkadlâissledovaniâprocessovžidkostnogotravleniâplenočnyhobʺektovsreddlâgolografiiioptičeskoizapisiinformacii AT geraev ustanovkadlâissledovaniâprocessovžidkostnogotravleniâplenočnyhobʺektovsreddlâgolografiiioptičeskoizapisiinformacii AT tarnaiaa apparatusforinvestigationofliquidetchingprocessesoffilmobjectsmediaforholographyandopticalinformationrecording AT kirilenkovk apparatusforinvestigationofliquidetchingprocessesoffilmobjectsmediaforholographyandopticalinformationrecording AT rubíšvm apparatusforinvestigationofliquidetchingprocessesoffilmobjectsmediaforholographyandopticalinformationrecording AT geraev apparatusforinvestigationofliquidetchingprocessesoffilmobjectsmediaforholographyandopticalinformationrecording |
| first_indexed |
2025-12-07T17:10:12Z |
| last_indexed |
2025-12-07T17:10:12Z |
| _version_ |
1850870241755660288 |