Получение наноразмерных плёнок LiPON высокочастотным магнетронным напылением

• Date: 2014
• Main Authors: Вьюнов, О.И., Коваленко, Л.Л., Белоус, А.Г., Bohnke, O., Bohnke, C.
• Format: Article
• Language: Russian
• Published: Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України 2014
• Series: Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології
• Online Access: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/75980
• Journal Title: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Cite this: Получение наноразмерных плёнок LiPON высокочастотным магнетронным напылением / О.И. Вьюнов, Л.Л. Коваленко, А.Г. Белоус, O. Bohnke, C. Bohnke // Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології: Зб. наук. пр. — К.: РВВ ІМФ, 2014. — Т. 12, № 2. — С. 303-311. — Бібліогр.: 12 назв. — рос.

Описана конструкция лабораторной установки для получения наноразмерных аморфных плёнок фосфор-оксинитрида лития (LiPON) методом высокочастотного магнетронного напыления. Каждый блок установки был модернизирован, чтобы основные параметры напыления (ВЧ-мощность, температура подложки, время напыления, давление рабочего газа) можно было регулировать в широком диапазоне. Установлена взаимосвязь между режимами напыления и микроструктурой плёнок LiPON. Установлено, что полученные плёнки LiPON характеризуются высокой величиной ионной проводимости при комнатной температуре (3,2•10⁻⁶ Ом⁻¹ •см⁻¹) и энергией активации 0,27 эВ. Изготовлен композиционный твёрдый электролит LIPON/LLTO/LIPON, который обладает высокой химической стойкостью при контакте с металлическим литиевым анодом, высокой ионной проводимостью и может быть использован в электрохимических устройствах.