Применение импульсного ВЧ генератора с ударным контуром в методе вакуумно-дугового осаждения при синтезе наноструктурированных покрытий

• Published in: Физическая инженерия поверхности
• Date: 2011
• Main Authors: Швец, О.М., Береснев, В.М., Турбин, П.В., Грудницкий, В.В., Немченко, У.С., Колесников, Д.А.
• Format: Article
• Language: Russian
• Published: Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України 2011
• Online Access: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/76000
• Journal Title: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Cite this: Применение импульсного ВЧ генератора с ударным контуром в методе вакуумно-дугового осаждения при синтезе наноструктурированных покрытий / О.М. Швец, В.М. Береснев, П.В. Турбин, В.В. Грудницкий, У.С. Немченко, Д.А. Колесников // Физическая инженерия поверхности. — 2011. — Т. 9, № 1. — С. 32–39. — Бібліогр.: 8 назв. — рос.

Рассматривается импульсный высокочастотный генератор, применяемый с целью стимуляции осаждения и повышения качества покрытий, формируемых методом вакуумно-дугового осаждения. Принцип работы ВЧ генератора основан на возбуждении затухающих автоколебаний в цепи резонансного контура после пробоя разрядн...