Применение импульсного ВЧ генератора с ударным контуром в методе вакуумно-дугового осаждения при синтезе наноструктурированных покрытий

• Veröffentlicht in: Физическая инженерия поверхности
• Datum: 2011
• Hauptverfasser: Швец, О.М., Береснев, В.М., Турбин, П.В., Грудницкий, В.В., Немченко, У.С., Колесников, Д.А.
• Format: Artikel
• Sprache: Russian
• Veröffentlicht: Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України 2011
• Online Zugang: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/76000
• Назва журналу: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Zitieren: Применение импульсного ВЧ генератора с ударным контуром в методе вакуумно-дугового осаждения при синтезе наноструктурированных покрытий / О.М. Швец, В.М. Береснев, П.В. Турбин, В.В. Грудницкий, У.С. Немченко, Д.А. Колесников // Физическая инженерия поверхности. — 2011. — Т. 9, № 1. — С. 32–39. — Бібліогр.: 8 назв. — рос.

Рассматривается импульсный высокочастотный генератор, применяемый с целью стимуляции осаждения и повышения качества покрытий, формируемых методом вакуумно-дугового осаждения. Принцип работы ВЧ генератора основан на возбуждении затухающих автоколебаний в цепи резонансного контура после пробоя разрядника. Изучены частотные характеристики генератора и рассмотрены варианты аппаратной реализации устройства с оптимальными параметрами. Розглядається імпульсний високочастотний генератор, що застосовується з метою стимуляції осадження і підвищення якості покриттів, які формуються методом вакуумно-дугового осадження. Принцип роботи ВЧ генератора заснований на збудженні загасаючих автоколивань у ланцюзі резонансного контуру після пробою розрядника. Вивчено частотні характеристики генератора і розглянуті варіанти апаратної реалізації пристрою з оптимальними параметрами. The high-frequency pulsed, applied with the purpose of stimulation of deposition and upgrading of the coverages formed by the method of the vacuum-arc deposition, is examined. Principle of work HF generator based on excitation of attenuation self-excited oscillations in the chain of resonant contour after the hasp of spark-gap. Frequency descriptions of generator are studied and the different variants of hardware representation of device are considered with optimal parameters.