Применение импульсного ВЧ генератора с ударным контуром в методе вакуумно-дугового осаждения при синтезе наноструктурированных покрытий
Рассматривается импульсный высокочастотный генератор, применяемый с целью стимуляции осаждения и повышения качества покрытий, формируемых методом вакуумно-дугового осаждения. Принцип работы ВЧ генератора основан на возбуждении затухающих автоколебаний в цепи резонансного контура после пробоя разрядн...
Saved in:
| Published in: | Физическая инженерия поверхности |
|---|---|
| Date: | 2011 |
| Main Authors: | , , , , , |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Published: |
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
2011
|
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/76000 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Применение импульсного ВЧ генератора с ударным контуром в методе вакуумно-дугового осаждения при синтезе наноструктурированных покрытий / О.М. Швец, В.М. Береснев, П.В. Турбин, В.В. Грудницкий, У.С. Немченко, Д.А. Колесников // Физическая инженерия поверхности. — 2011. — Т. 9, № 1. — С. 32–39. — Бібліогр.: 8 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1862752019654115328 |
|---|---|
| author | Швец, О.М. Береснев, В.М. Турбин, П.В. Грудницкий, В.В. Немченко, У.С. Колесников, Д.А. |
| author_facet | Швец, О.М. Береснев, В.М. Турбин, П.В. Грудницкий, В.В. Немченко, У.С. Колесников, Д.А. |
| citation_txt | Применение импульсного ВЧ генератора с ударным контуром в методе вакуумно-дугового осаждения при синтезе наноструктурированных покрытий / О.М. Швец, В.М. Береснев, П.В. Турбин, В.В. Грудницкий, У.С. Немченко, Д.А. Колесников // Физическая инженерия поверхности. — 2011. — Т. 9, № 1. — С. 32–39. — Бібліогр.: 8 назв. — рос. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Физическая инженерия поверхности |
| description | Рассматривается импульсный высокочастотный генератор, применяемый с целью стимуляции осаждения и повышения качества покрытий, формируемых методом вакуумно-дугового осаждения. Принцип работы ВЧ генератора основан на возбуждении затухающих автоколебаний в цепи резонансного контура после пробоя разрядника. Изучены частотные характеристики генератора и рассмотрены варианты аппаратной реализации устройства с оптимальными параметрами.
Розглядається імпульсний високочастотний генератор, що застосовується з метою стимуляції осадження і підвищення якості покриттів, які формуються методом вакуумно-дугового осадження. Принцип роботи ВЧ генератора заснований на збудженні загасаючих автоколивань у ланцюзі резонансного контуру після пробою розрядника. Вивчено частотні характеристики генератора і розглянуті варіанти апаратної реалізації пристрою з оптимальними параметрами.
The high-frequency pulsed, applied with the purpose of stimulation of deposition and upgrading of the coverages formed by the method of the vacuum-arc deposition, is examined. Principle of work HF generator based on excitation of attenuation self-excited oscillations in the chain of resonant contour after the hasp of spark-gap. Frequency descriptions of generator are studied and the different variants of hardware representation of device are considered with optimal parameters.
|
| first_indexed | 2025-12-07T21:14:56Z |
| format | Article |
| fulltext | |
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-76000 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 1999-8074 |
| language | Russian |
| last_indexed | 2025-12-07T21:14:56Z |
| publishDate | 2011 |
| publisher | Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Швец, О.М. Береснев, В.М. Турбин, П.В. Грудницкий, В.В. Немченко, У.С. Колесников, Д.А. 2015-02-07T07:21:43Z 2015-02-07T07:21:43Z 2011 Применение импульсного ВЧ генератора с ударным контуром в методе вакуумно-дугового осаждения при синтезе наноструктурированных покрытий / О.М. Швец, В.М. Береснев, П.В. Турбин, В.В. Грудницкий, У.С. Немченко, Д.А. Колесников // Физическая инженерия поверхности. — 2011. — Т. 9, № 1. — С. 32–39. — Бібліогр.: 8 назв. — рос. 1999-8074 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/76000 621.793.1 Рассматривается импульсный высокочастотный генератор, применяемый с целью стимуляции осаждения и повышения качества покрытий, формируемых методом вакуумно-дугового осаждения. Принцип работы ВЧ генератора основан на возбуждении затухающих автоколебаний в цепи резонансного контура после пробоя разрядника. Изучены частотные характеристики генератора и рассмотрены варианты аппаратной реализации устройства с оптимальными параметрами. Розглядається імпульсний високочастотний генератор, що застосовується з метою стимуляції осадження і підвищення якості покриттів, які формуються методом вакуумно-дугового осадження. Принцип роботи ВЧ генератора заснований на збудженні загасаючих автоколивань у ланцюзі резонансного контуру після пробою розрядника. Вивчено частотні характеристики генератора і розглянуті варіанти апаратної реалізації пристрою з оптимальними параметрами. The high-frequency pulsed, applied with the purpose of stimulation of deposition and upgrading of the coverages formed by the method of the vacuum-arc deposition, is examined. Principle of work HF generator based on excitation of attenuation self-excited oscillations in the chain of resonant contour after the hasp of spark-gap. Frequency descriptions of generator are studied and the different variants of hardware representation of device are considered with optimal parameters. Работа частично выполнена по теме НИР, финансируемой Министерством образования и науки, молодежи и спорта Украины, государственный регистрационный № 0110U001257. ru Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України Физическая инженерия поверхности Применение импульсного ВЧ генератора с ударным контуром в методе вакуумно-дугового осаждения при синтезе наноструктурированных покрытий Article published earlier |
| spellingShingle | Применение импульсного ВЧ генератора с ударным контуром в методе вакуумно-дугового осаждения при синтезе наноструктурированных покрытий Швец, О.М. Береснев, В.М. Турбин, П.В. Грудницкий, В.В. Немченко, У.С. Колесников, Д.А. |
| title | Применение импульсного ВЧ генератора с ударным контуром в методе вакуумно-дугового осаждения при синтезе наноструктурированных покрытий |
| title_full | Применение импульсного ВЧ генератора с ударным контуром в методе вакуумно-дугового осаждения при синтезе наноструктурированных покрытий |
| title_fullStr | Применение импульсного ВЧ генератора с ударным контуром в методе вакуумно-дугового осаждения при синтезе наноструктурированных покрытий |
| title_full_unstemmed | Применение импульсного ВЧ генератора с ударным контуром в методе вакуумно-дугового осаждения при синтезе наноструктурированных покрытий |
| title_short | Применение импульсного ВЧ генератора с ударным контуром в методе вакуумно-дугового осаждения при синтезе наноструктурированных покрытий |
| title_sort | применение импульсного вч генератора с ударным контуром в методе вакуумно-дугового осаждения при синтезе наноструктурированных покрытий |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/76000 |
| work_keys_str_mv | AT švecom primenenieimpulʹsnogovčgeneratorasudarnymkonturomvmetodevakuumnodugovogoosaždeniâprisintezenanostrukturirovannyhpokrytii AT beresnevvm primenenieimpulʹsnogovčgeneratorasudarnymkonturomvmetodevakuumnodugovogoosaždeniâprisintezenanostrukturirovannyhpokrytii AT turbinpv primenenieimpulʹsnogovčgeneratorasudarnymkonturomvmetodevakuumnodugovogoosaždeniâprisintezenanostrukturirovannyhpokrytii AT grudnickiivv primenenieimpulʹsnogovčgeneratorasudarnymkonturomvmetodevakuumnodugovogoosaždeniâprisintezenanostrukturirovannyhpokrytii AT nemčenkous primenenieimpulʹsnogovčgeneratorasudarnymkonturomvmetodevakuumnodugovogoosaždeniâprisintezenanostrukturirovannyhpokrytii AT kolesnikovda primenenieimpulʹsnogovčgeneratorasudarnymkonturomvmetodevakuumnodugovogoosaždeniâprisintezenanostrukturirovannyhpokrytii |