Получение тонких алмазных пленок при магнетронном распылении графитовой мишени

• Опубліковано в: : Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології
• Дата: 2008
• Автори: Костановский, А.В., Жиляков, Л.А., Пронкин, А.А., Кириллин, А.В.
• Формат: Стаття
• Мова: Російська
• Опубліковано: Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України 2008
• Онлайн доступ: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/76179
• Назва журналу: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Цитувати: Получение тонких алмазных пленок при магнетронном распылении графитовой мишени / А.В. Костановский, Л.А. Жиляков, А.А. Пронкин, А.В. Кириллин // Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології: Зб. наук. пр. — К.: РВВ ІМФ, 2008. — Т. 6, № 3. — С. 911—917. — Бібліогр.: 6 назв. — рос.

В работе представлена методика получения алмазоподобных пленок (АПП) методом магнетронного распыления графитовой мишени. С целью активации процесса образования АПП использовали излучение нагретой нити из тугоплавкого металла, расположенной около подложки. Представлены результаты по оптимизации пар...