Получение тонких алмазных пленок при магнетронном распылении графитовой мишени
В работе представлена методика получения алмазоподобных пленок
 (АПП) методом магнетронного распыления графитовой мишени. С целью активации процесса образования АПП использовали излучение нагретой нити из тугоплавкого металла, расположенной около подложки.
 Представлены результаты по...
Saved in:
| Published in: | Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології |
|---|---|
| Date: | 2008 |
| Main Authors: | , , , |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Published: |
Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України
2008
|
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/76179 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Получение тонких алмазных пленок при магнетронном
 распылении графитовой мишени / А.В. Костановский, Л.А. Жиляков, А.А. Пронкин, А.В. Кириллин // Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології: Зб. наук. пр. — К.: РВВ ІМФ, 2008. — Т. 6, № 3. — С. 911—917. — Бібліогр.: 6 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1862619249833410560 |
|---|---|
| author | Костановский, А.В. Жиляков, Л.А. Пронкин, А.А. Кириллин, А.В. |
| author_facet | Костановский, А.В. Жиляков, Л.А. Пронкин, А.А. Кириллин, А.В. |
| citation_txt | Получение тонких алмазных пленок при магнетронном
 распылении графитовой мишени / А.В. Костановский, Л.А. Жиляков, А.А. Пронкин, А.В. Кириллин // Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології: Зб. наук. пр. — К.: РВВ ІМФ, 2008. — Т. 6, № 3. — С. 911—917. — Бібліогр.: 6 назв. — рос. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології |
| description | В работе представлена методика получения алмазоподобных пленок
(АПП) методом магнетронного распыления графитовой мишени. С целью активации процесса образования АПП использовали излучение нагретой нити из тугоплавкого металла, расположенной около подложки.
Представлены результаты по оптимизации параметров процесса нанесения тонких пленок. Метод рамановской спектроскопии показал, что
спектр идентифицирует пленки как АПП. Толщина пленок – 2000 Å,
скорость осаждения – 200 Å/мин. Пленки являются оптически прозрачными, а их электропроводность соответствует полупроводникам.
Представлено методику одержання алмазоподібних плівок (АПП) методою магнетронного розпорошення графітової цілі. З метою активації
процесу утворення АПП використовували випромінення нагрітої нитки
з тяжкотопкого металу, розташованої біля підложжя. Наведено результати з оптимізації параметрів процесу нанесення тонких плівок. Метода
Раманової спектроскопії показала, що спектер ідентифікує плівки як
АПП. Товщина плівок – 2000 Å, швидкість осадження – 200 Å/хв.
Плівки є оптично прозорими, а їх електропровідність відповідає напівпровідникам.
Technique of fabrication of the diamond-like films (DLF) by graphitetarget
magnetron sputtering is presented. To activate the process of DLF
formation, radiation of hot filament of high-melting metal located near
the substrate is used. Results on optimization of thin-film deposition
process parameters are presented. The Raman spectroscopy method shows
that the spectrum identifies films as DLF. Thickness of films is 2000 Å,
and deposition rate is 200 Å/min. Films are optically transparent, and
their conductivity corresponds to semiconductors.
|
| first_indexed | 2025-12-07T13:16:55Z |
| format | Article |
| fulltext | |
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-76179 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 1816-5230 |
| language | Russian |
| last_indexed | 2025-12-07T13:16:55Z |
| publishDate | 2008 |
| publisher | Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Костановский, А.В. Жиляков, Л.А. Пронкин, А.А. Кириллин, А.В. 2015-02-08T17:05:42Z 2015-02-08T17:05:42Z 2008 Получение тонких алмазных пленок при магнетронном
 распылении графитовой мишени / А.В. Костановский, Л.А. Жиляков, А.А. Пронкин, А.В. Кириллин // Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології: Зб. наук. пр. — К.: РВВ ІМФ, 2008. — Т. 6, № 3. — С. 911—917. — Бібліогр.: 6 назв. — рос. 1816-5230 PACS numbers: 61.46.Bc,61.48.De,61.80.Ba,73.61.Wp,78.30.Na,81.05.Uw,81.15.Cd https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/76179 В работе представлена методика получения алмазоподобных пленок
 (АПП) методом магнетронного распыления графитовой мишени. С целью активации процесса образования АПП использовали излучение нагретой нити из тугоплавкого металла, расположенной около подложки.
 Представлены результаты по оптимизации параметров процесса нанесения тонких пленок. Метод рамановской спектроскопии показал, что
 спектр идентифицирует пленки как АПП. Толщина пленок – 2000 Å,
 скорость осаждения – 200 Å/мин. Пленки являются оптически прозрачными, а их электропроводность соответствует полупроводникам. Представлено методику одержання алмазоподібних плівок (АПП) методою магнетронного розпорошення графітової цілі. З метою активації
 процесу утворення АПП використовували випромінення нагрітої нитки
 з тяжкотопкого металу, розташованої біля підложжя. Наведено результати з оптимізації параметрів процесу нанесення тонких плівок. Метода
 Раманової спектроскопії показала, що спектер ідентифікує плівки як
 АПП. Товщина плівок – 2000 Å, швидкість осадження – 200 Å/хв.
 Плівки є оптично прозорими, а їх електропровідність відповідає напівпровідникам. Technique of fabrication of the diamond-like films (DLF) by graphitetarget
 magnetron sputtering is presented. To activate the process of DLF
 formation, radiation of hot filament of high-melting metal located near
 the substrate is used. Results on optimization of thin-film deposition
 process parameters are presented. The Raman spectroscopy method shows
 that the spectrum identifies films as DLF. Thickness of films is 2000 Å,
 and deposition rate is 200 Å/min. Films are optically transparent, and
 their conductivity corresponds to semiconductors. Настоящая работа выполнена при поддержке РФФИ (грант 07-
 08-12170-офи) и гранта поддержки молодых ученых ИТЭС ОИВТ
 РАН за 2007 год. ru Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології Получение тонких алмазных пленок при магнетронном распылении графитовой мишени Production of Thin Diamond Films by Magnetron Sputtering of Graphite Target Article published earlier |
| spellingShingle | Получение тонких алмазных пленок при магнетронном распылении графитовой мишени Костановский, А.В. Жиляков, Л.А. Пронкин, А.А. Кириллин, А.В. |
| title | Получение тонких алмазных пленок при магнетронном распылении графитовой мишени |
| title_alt | Production of Thin Diamond Films by Magnetron Sputtering of Graphite Target |
| title_full | Получение тонких алмазных пленок при магнетронном распылении графитовой мишени |
| title_fullStr | Получение тонких алмазных пленок при магнетронном распылении графитовой мишени |
| title_full_unstemmed | Получение тонких алмазных пленок при магнетронном распылении графитовой мишени |
| title_short | Получение тонких алмазных пленок при магнетронном распылении графитовой мишени |
| title_sort | получение тонких алмазных пленок при магнетронном распылении графитовой мишени |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/76179 |
| work_keys_str_mv | AT kostanovskiiav polučenietonkihalmaznyhplenokprimagnetronnomraspyleniigrafitovoimišeni AT žilâkovla polučenietonkihalmaznyhplenokprimagnetronnomraspyleniigrafitovoimišeni AT pronkinaa polučenietonkihalmaznyhplenokprimagnetronnomraspyleniigrafitovoimišeni AT kirillinav polučenietonkihalmaznyhplenokprimagnetronnomraspyleniigrafitovoimišeni AT kostanovskiiav productionofthindiamondfilmsbymagnetronsputteringofgraphitetarget AT žilâkovla productionofthindiamondfilmsbymagnetronsputteringofgraphitetarget AT pronkinaa productionofthindiamondfilmsbymagnetronsputteringofgraphitetarget AT kirillinav productionofthindiamondfilmsbymagnetronsputteringofgraphitetarget |