Получение тонких алмазных пленок при магнетронном распылении графитовой мишени
В работе представлена методика получения алмазоподобных пленок
 (АПП) методом магнетронного распыления графитовой мишени. С целью активации процесса образования АПП использовали излучение нагретой нити из тугоплавкого металла, расположенной около подложки.
 Представлены результаты по...
Збережено в:
| Опубліковано в: : | Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології |
|---|---|
| Дата: | 2008 |
| Автори: | Костановский, А.В., Жиляков, Л.А., Пронкин, А.А., Кириллин, А.В. |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Російська |
| Опубліковано: |
Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України
2008
|
| Онлайн доступ: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/76179 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Получение тонких алмазных пленок при магнетронном
 распылении графитовой мишени / А.В. Костановский, Л.А. Жиляков, А.А. Пронкин, А.В. Кириллин // Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології: Зб. наук. пр. — К.: РВВ ІМФ, 2008. — Т. 6, № 3. — С. 911—917. — Бібліогр.: 6 назв. — рос. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of UkraineСхожі ресурси
Получение самонесущих поликристаллических алмазных пленок для детекторов ионизирующего излучения
за авторством: Березняк, Е.П., та інші
Опубліковано: (2011)
за авторством: Березняк, Е.П., та інші
Опубліковано: (2011)
Эволюция структуры пленок Мо, полученных методом магнетронного распылении на a-Si
за авторством: Севрюкова, В.А., та інші
Опубліковано: (2011)
за авторством: Севрюкова, В.А., та інші
Опубліковано: (2011)
Получение, свойства и применение тонких нанонеоднородных пленок Ge на GaAs-подложках
за авторством: Венгер, Е.Ф., та інші
Опубліковано: (2014)
за авторством: Венгер, Е.Ф., та інші
Опубліковано: (2014)
Получение и характеристики тонких пленок металлополимера с координационными комплексами редкоземельных элементов
за авторством: Денисова, З.Л., та інші
Опубліковано: (2013)
за авторством: Денисова, З.Л., та інші
Опубліковано: (2013)
Получение тонких пленок медно-цинковых сплавов методом электрического взрыва в вакууме
за авторством: Головяшкин, А.Н., та інші
Опубліковано: (2001)
за авторством: Головяшкин, А.Н., та інші
Опубліковано: (2001)
Получение, свойства и применение тонких нанонеоднородных пленок Ge на GaAs-подложках
за авторством: Venger, E. F., та інші
Опубліковано: (2014)
за авторством: Venger, E. F., та інші
Опубліковано: (2014)
Получение и свойства проводящих алмазных нанокристаллических покрытий
за авторством: Дудник, С.Ф., та інші
Опубліковано: (2014)
за авторством: Дудник, С.Ф., та інші
Опубліковано: (2014)
Получение тонких пленок Si₃N₄ при пониженном давлении на пластинах диаметром до 200 мм
за авторством: Наливайко, О.Ю., та інші
Опубліковано: (2012)
за авторством: Наливайко, О.Ю., та інші
Опубліковано: (2012)
Получение высококачественных алмазных покрытий методами активированного газофазного осаждения
за авторством: Грицына, В.И., та інші
Опубліковано: (2013)
за авторством: Грицына, В.И., та інші
Опубліковано: (2013)
Резонансный метод определения толщин вакуумно-осажденных тонких пленок
за авторством: Кузьмин, А.В., та інші
Опубліковано: (2008)
за авторством: Кузьмин, А.В., та інші
Опубліковано: (2008)
Структура, состав и механические свойства тонких пленок диборидов переходных металлов
за авторством: Гончаров, А.А., та інші
Опубліковано: (2015)
за авторством: Гончаров, А.А., та інші
Опубліковано: (2015)
Приготовление тонких пленок TmS и их электрофизические свойства
за авторством: Тетелошвили, М.Г., та інші
Опубліковано: (2017)
за авторством: Тетелошвили, М.Г., та інші
Опубліковано: (2017)
Низкотемпературная люминесценция тонких пленок C₆₀ различной структуры
за авторством: Авдеенко, А.А., та інші
Опубліковано: (1999)
за авторством: Авдеенко, А.А., та інші
Опубліковано: (1999)
Структура и параметр решетки тонких пленок C₆₀
за авторством: Пугачев, А.Т., та інші
Опубліковано: (1999)
за авторством: Пугачев, А.Т., та інші
Опубліковано: (1999)
Особенности синтеза алмазных пленок в тлеющем разряде постоянного тока
за авторством: Грицына, В.И., та інші
Опубліковано: (2018)
за авторством: Грицына, В.И., та інші
Опубліковано: (2018)
Оптические свойства тонких плёнок диантимонида празеодима золотистой окраски
за авторством: Джабуа, З.У., та інші
Опубліковано: (2012)
за авторством: Джабуа, З.У., та інші
Опубліковано: (2012)
Прогнозирование дисперсности гранул и их производительности при центробежном распылении сплавов
за авторством: Махненко, В.И., та інші
Опубліковано: (2008)
за авторством: Махненко, В.И., та інші
Опубліковано: (2008)
Получение пленок и осадков ссленидов металлов с использованием селеносемикарбазида
за авторством: Великанов, А.А., та інші
Опубліковано: (1983)
за авторством: Великанов, А.А., та інші
Опубліковано: (1983)
Особенности методов контроля толщины тонких эпитаксиальных LSMO-пленок
за авторством: Николаенко, Ю.М., та інші
Опубліковано: (2017)
за авторством: Николаенко, Ю.М., та інші
Опубліковано: (2017)
Особенности электрофизических свойств тонких пленок NaBiTe₂
за авторством: Авотин, С.С., та інші
Опубліковано: (2007)
за авторством: Авотин, С.С., та інші
Опубліковано: (2007)
Механизмы формирования фуллереноподобных структур из плазмы при электродуговом распылении графита
за авторством: Панарин, В.Е., та інші
Опубліковано: (2009)
за авторством: Панарин, В.Е., та інші
Опубліковано: (2009)
Спектр поглощения тонких пленок KPb₂Cl₅
за авторством: Юнакова, О.Н., та інші
Опубліковано: (2015)
за авторством: Юнакова, О.Н., та інші
Опубліковано: (2015)
Легирование кремнием и фотоэлектрические свойства тонких плёнок полуторного сульфида тулия
за авторством: Джабуа, З.У., та інші
Опубліковано: (2014)
за авторством: Джабуа, З.У., та інші
Опубліковано: (2014)
ИК спектры тонких пленок криоконденсатов изотопической смеси воды
за авторством: Алдияров, А., та інші
Опубліковано: (2002)
за авторством: Алдияров, А., та інші
Опубліковано: (2002)
Моделирование изменения морфологии поверхности Si при распылении ионами Ar⁺
за авторством: Харченко, Д.О., та інші
Опубліковано: (2011)
за авторством: Харченко, Д.О., та інші
Опубліковано: (2011)
Диаграмма аморфно-кристаллических состояний тонких пленок закиси азота
за авторством: Крайнюкова, Н.В., та інші
Опубліковано: (1995)
за авторством: Крайнюкова, Н.В., та інші
Опубліковано: (1995)
Получение тонких пленок Si3N4 при пониженном давлении на пластинах диаметром до 200 мм
за авторством: Nalivaiko, O. Yu., та інші
Опубліковано: (2012)
за авторством: Nalivaiko, O. Yu., та інші
Опубліковано: (2012)
Особенности взаимодействия ускоренных инов С₆₀ с поверхностью ITO мишени
за авторством: Малеев, М.В., та інші
Опубліковано: (2015)
за авторством: Малеев, М.В., та інші
Опубліковано: (2015)
Оптические свойства тонких плёнок TbSb₂
за авторством: Джабуа, З.У.
Опубліковано: (2016)
за авторством: Джабуа, З.У.
Опубліковано: (2016)
Методика нанесения тонких фуллереновых пленок на циркониевые подложки
за авторством: Щур, Д.В., та інші
Опубліковано: (2010)
за авторством: Щур, Д.В., та інші
Опубліковано: (2010)
Количественное определение прочности сцепления тонких металлических пленок со стеклом
за авторством: Белоус, В.А., та інші
Опубліковано: (2006)
за авторством: Белоус, В.А., та інші
Опубліковано: (2006)
Влияние азота на механические свойства тонких пленок системы Та—В—N
за авторством: Дуб, С.Н., та інші
Опубліковано: (2009)
за авторством: Дуб, С.Н., та інші
Опубліковано: (2009)
Оптимизация технологии “хлоридной” обработки тонких пленок халькогенидов кадмия
за авторством: Харченко, Н.М., та інші
Опубліковано: (2008)
за авторством: Харченко, Н.М., та інші
Опубліковано: (2008)
Расчет частотной зависимости диэлектрических характеристик тонких пленок системы HfO₂—Nd₂O₃
за авторством: Казаков, А.И., та інші
Опубліковано: (2003)
за авторством: Казаков, А.И., та інші
Опубліковано: (2003)
Поиск антигена-мишени при дилатационной кардиомиопатии
за авторством: Бобык, В.И., та інші
Опубліковано: (2004)
за авторством: Бобык, В.И., та інші
Опубліковано: (2004)
Структура тонких пленок С₆₀ на (100) NaCl
за авторством: Горбенко, Н.И., та інші
Опубліковано: (2002)
за авторством: Горбенко, Н.И., та інші
Опубліковано: (2002)
Использование криогенной корпускулярной мишени для экспериментов по лазерному ускорению заряженных частиц
за авторством: Бухаров, А.В., та інші
Опубліковано: (2010)
за авторством: Бухаров, А.В., та інші
Опубліковано: (2010)
Получение наноразмерных плёнок LiPON высокочастотным магнетронным напылением
за авторством: Вьюнов, О.И., та інші
Опубліковано: (2014)
за авторством: Вьюнов, О.И., та інші
Опубліковано: (2014)
Гальваномагнитные свойства тонких пленок висмута, легированного теллуром
за авторством: Орлова, Д.С., та інші
Опубліковано: (2009)
за авторством: Орлова, Д.С., та інші
Опубліковано: (2009)
Эффект временной задержки распространения носителя в уравнениях тонких пленок
за авторством: Таранец, Р.М., та інші
Опубліковано: (2003)
за авторством: Таранец, Р.М., та інші
Опубліковано: (2003)
Схожі ресурси
-
Получение самонесущих поликристаллических алмазных пленок для детекторов ионизирующего излучения
за авторством: Березняк, Е.П., та інші
Опубліковано: (2011) -
Эволюция структуры пленок Мо, полученных методом магнетронного распылении на a-Si
за авторством: Севрюкова, В.А., та інші
Опубліковано: (2011) -
Получение, свойства и применение тонких нанонеоднородных пленок Ge на GaAs-подложках
за авторством: Венгер, Е.Ф., та інші
Опубліковано: (2014) -
Получение и характеристики тонких пленок металлополимера с координационными комплексами редкоземельных элементов
за авторством: Денисова, З.Л., та інші
Опубліковано: (2013) -
Получение тонких пленок медно-цинковых сплавов методом электрического взрыва в вакууме
за авторством: Головяшкин, А.Н., та інші
Опубліковано: (2001)