Зображення обкладинки

Получение тонких алмазных пленок при магнетронном распылении графитовой мишени

В работе представлена методика получения алмазоподобных пленок (АПП) методом магнетронного распыления графитовой мишени. С целью активации процесса образования АПП использовали излучение нагретой нити из тугоплавкого металла, расположенной около подложки. Представлены результаты по оптимизации пар...

Повний опис

Збережено в:

Бібліографічні деталі
Опубліковано в: :	Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології
Дата:	2008
Автори:	Костановский, А.В., Жиляков, Л.А., Пронкин, А.А., Кириллин, А.В.
Формат:	Стаття
Мова:	Російська
Опубліковано:	Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України 2008
Онлайн доступ:	https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/76179
Теги:	Додати тег Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:	Получение тонких алмазных пленок при магнетронном распылении графитовой мишени / А.В. Костановский, Л.А. Жиляков, А.А. Пронкин, А.В. Кириллин // Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології: Зб. наук. пр. — К.: РВВ ІМФ, 2008. — Т. 6, № 3. — С. 911—917. — Бібліогр.: 6 назв. — рос.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine

Схожі ресурси

Получение самонесущих поликристаллических алмазных пленок для детекторов ионизирующего излучения
за авторством: Березняк, Е.П., та інші
Опубліковано: (2011)

Получение, свойства и применение тонких нанонеоднородных пленок Ge на GaAs-подложках
за авторством: Венгер, Е.Ф., та інші
Опубліковано: (2014)

Получение и характеристики тонких пленок металлополимера с координационными комплексами редкоземельных элементов
за авторством: Денисова, З.Л., та інші
Опубліковано: (2013)

Эволюция структуры пленок Мо, полученных методом магнетронного распылении на a-Si
за авторством: Севрюкова, В.А., та інші
Опубліковано: (2011)

Получение, свойства и применение тонких нанонеоднородных пленок Ge на GaAs-подложках
за авторством: Venger, E. F., та інші
Опубліковано: (2014)

Получение тонких пленок Si₃N₄ при пониженном давлении на пластинах диаметром до 200 мм
за авторством: Наливайко, О.Ю., та інші
Опубліковано: (2012)

Получение и свойства проводящих алмазных нанокристаллических покрытий
за авторством: Дудник, С.Ф., та інші
Опубліковано: (2014)

Получение высококачественных алмазных покрытий методами активированного газофазного осаждения
за авторством: Грицына, В.И., та інші
Опубліковано: (2013)

Резонансный метод определения толщин вакуумно-осажденных тонких пленок
за авторством: Кузьмин, А.В., та інші
Опубліковано: (2008)

Структура, состав и механические свойства тонких пленок диборидов переходных металлов
за авторством: Гончаров, А.А., та інші
Опубліковано: (2015)

Структура и параметр решетки тонких пленок C₆₀
за авторством: Пугачев, А.Т., та інші
Опубліковано: (1999)

Оптические свойства тонких плёнок диантимонида празеодима золотистой окраски
за авторством: Джабуа, З.У., та інші
Опубліковано: (2012)

Особенности синтеза алмазных пленок в тлеющем разряде постоянного тока
за авторством: Грицына, В.И., та інші
Опубліковано: (2018)

Особенности методов контроля толщины тонких эпитаксиальных LSMO-пленок
за авторством: Николаенко, Ю.М., та інші
Опубліковано: (2017)

Получение пленок и осадков ссленидов металлов с использованием селеносемикарбазида
за авторством: Великанов, А.А., та інші
Опубліковано: (1983)

Спектр поглощения тонких пленок KPb₂Cl₅
за авторством: Юнакова, О.Н., та інші
Опубліковано: (2015)

ИК спектры тонких пленок криоконденсатов изотопической смеси воды
за авторством: Алдияров, А., та інші
Опубліковано: (2002)

Получение тонких пленок Si3N4 при пониженном давлении на пластинах диаметром до 200 мм
за авторством: Nalivaiko, O. Yu., та інші
Опубліковано: (2012)

Прогнозирование дисперсности гранул и их производительности при центробежном распылении сплавов
за авторством: Махненко, В.И., та інші
Опубліковано: (2008)

Методика нанесения тонких фуллереновых пленок на циркониевые подложки
за авторством: Щур, Д.В., та інші
Опубліковано: (2010)

Количественное определение прочности сцепления тонких металлических пленок со стеклом
за авторством: Белоус, В.А., та інші
Опубліковано: (2006)

Влияние азота на механические свойства тонких пленок системы Та—В—N
за авторством: Дуб, С.Н., та інші
Опубліковано: (2009)

Особенности взаимодействия ускоренных инов С₆₀ с поверхностью ITO мишени
за авторством: Малеев, М.В., та інші
Опубліковано: (2015)

Оптимизация технологии “хлоридной” обработки тонких пленок халькогенидов кадмия
за авторством: Харченко, Н.М., та інші
Опубліковано: (2008)

Расчет частотной зависимости диэлектрических характеристик тонких пленок системы HfO₂—Nd₂O₃
за авторством: Казаков, А.И., та інші
Опубліковано: (2003)

Структура тонких пленок С₆₀ на (100) NaCl
за авторством: Горбенко, Н.И., та інші
Опубліковано: (2002)

Механизмы формирования фуллереноподобных структур из плазмы при электродуговом распылении графита
за авторством: Панарин, В.Е., та інші
Опубліковано: (2009)

Гальваномагнитные свойства тонких пленок висмута, легированного теллуром
за авторством: Орлова, Д.С., та інші
Опубліковано: (2009)

Особенности получения тонких пленок SiO₂ методом быстрой термической обработки
за авторством: Светличный, А.М., та інші
Опубліковано: (2001)

Взрывная кристаллизация тонких пленок полупроводников при облучении y-квантами
за авторством: Храмов, Е.Ф., та інші
Опубліковано: (2003)

Усиление наноструктурированной поверхностью серебра инфракрасного поглощения низкотемпературных тонких пленок урацила
за авторством: Иванов, А.Ю., та інші
Опубліковано: (2016)

Моделирование изменения морфологии поверхности Si при распылении ионами Ar⁺
за авторством: Харченко, Д.О., та інші
Опубліковано: (2011)

Получение наноразмерных плёнок LiPON высокочастотным магнетронным напылением
за авторством: Вьюнов, О.И., та інші
Опубліковано: (2014)

Исследование кристаллической структуры тонких пленок органического полупроводника - дигидродибензотетраазааннулена
за авторством: Удовицкий, В.Г.
Опубліковано: (2008)

Фотоприемники ультрафиолетового излучения на основе тонких пленок ZnS
за авторством: Бобренко, Ю.Н., та інші
Опубліковано: (2009)

Перестраиваемая линия задержки сигнала СВЧ-диапазона на основе сегнетоэлектрических и алмазных пленок
за авторством: Афанасьев, М.С., та інші
Опубліковано: (2010)

Коррозия тонких пленок стали в кислотной среде под действием магнитного поля
за авторством: Андреева, А.Ф., та інші
Опубліковано: (2010)

Использование микро- и нанодисперсного алмаза для осаждения поликристаллических алмазных пленок в тлеющем разряде
за авторством: Выровец, И.И., та інші
Опубліковано: (2007)

Статические и динамические вольт-амперные характеристики тонких сверхпроводящих пленок YBa₂Cu₃O₇₋δ
за авторством: Каленюк, А.А., та інші
Опубліковано: (2013)

Определение пластических свойств тонких пленок по данным индентирования
за авторством: Валеева, И.К., та інші
Опубліковано: (2007)