Нанокристаллические пленки оксида церия для биолюминесцентных сенсорных систем

• Date: 2009
• Main Authors: Борисов, А.В., Шмырева, А.Н., Максимчук, Н.В.
• Format: Article
• Language: Russian
• Published: Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України 2009
• Series: Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології
• Online Access: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/76387
• Journal Title: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Cite this: Нанокристаллические пленки оксида церия для биолюминесцентных сенсорных систем / А.В. Борисов, А.Н. Шмырева, Н.В. Максимчук // Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології: Зб. наук. пр. — К.: РВВ ІМФ, 2009. — Т. 7, № 1. — С. 245-254. — Бібліогр.: 13 назв. — рос.

Изучены свойства нанокристаллических пленок оксида церия, установлены основные закономерности их формирования в зависимости от технологических режимов вакуумного нанесения методом взрывного испарения и типа подложки с целью создания высокочувствительных фотоприемников. Морфология поверхности пленок СеОх исследовалась методом атомно-силовой микроскопии, а электронная структура пленок – методом рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии. На фотоэлектронном спектре наблюдаются максимумы трёх- и четырёхвалентного Се. Показано, что наибольшей фоточувствительностью в спектральном диапазоне 380—450 нм обладают нанокристаллические пленки со структурой Si/SiO₂/CeOx, осажденные при температуре 200°С, и пленки со структурой Si/Si₃N₄/CeOx c температурами осаждения 200°С и 300°С. Минимальным ТКС в области рабочих температур обладают пленки, нанесенные на подложку из SiO₂ при температуре 200°С, – 0,36%/град.