Нанесение покрытий на сложнопрофильные прецизионные поверхности газофазным методом (CVD)

• Published in: Физическая инженерия поверхности
• Date: 2011
• Main Authors: Сагалович, А.В., Григорьев, А.В., Кононыхин, А.В., Попов, В.В., Сагалович, В.В.
• Format: Article
• Language: Russian
• Published: Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України 2011
• Online Access: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/76903
• Journal Title: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Cite this: Нанесение покрытий на сложнопрофильные прецизионные поверхности газофазным методом (CVD) / А.В. Сагалович, А.В. Григорьев, А.В. Кононыхин, В.В. Попов, В.В. Сагалович // Физическая инженерия поверхности. — 2011. — Т. 9, № 3. — С. 229–236. — Бібліогр.: 6 назв. — рос.

Разработан процесс нанесения покрытий Мо-С покрытий методом газофазного осаждения с использованием металлорганических соединений. Описаны конструктивные особенности установки для пиролиза металлорганических соединений (карбонилы хрома, молибдена, вольфрама, соединения на основе алюминия), а также ле...