Нанесение покрытий на сложнопрофильные прецизионные поверхности газофазным методом (CVD)
Разработан процесс нанесения покрытий Мо-С покрытий методом газофазного осаждения с использованием металлорганических соединений. Описаны конструктивные особенности установки для пиролиза металлорганических соединений (карбонилы хрома, молибдена, вольфрама, соединения на основе алюминия), а также ле...
Saved in:
| Published in: | Физическая инженерия поверхности |
|---|---|
| Date: | 2011 |
| Main Authors: | , , , , |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Published: |
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
2011
|
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/76903 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Нанесение покрытий на сложнопрофильные прецизионные поверхности газофазным методом (CVD) / А.В. Сагалович, А.В. Григорьев, А.В. Кононыхин, В.В. Попов, В.В. Сагалович // Физическая инженерия поверхности. — 2011. — Т. 9, № 3. — С. 229–236. — Бібліогр.: 6 назв. — рос. |