Исследование характеристик покрытий, синтезированных с помощью источника газовой плазмы

• Datum: 2011
• Hauptverfasser: Белоус, В.А., Лунев, В.М., Носов, Г.И., Толмачева, Г.Н.
• Format: Artikel
• Sprache: Russian
• Veröffentlicht: Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України 2011
• Schriftenreihe: Физическая инженерия поверхности
• Online Zugang: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/76995
• Назва журналу: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Zitieren: Исследование характеристик покрытий, синтезированных с помощью источника газовой плазмы / В.А. Белоус, В.М. Лунев, Г.И. Носов, Г.Н. Толмачева // Физическая инженерия поверхности. — 2011. — Т. 9, № 4. — С. 332–338. — Бібліогр.: 8 назв. — рос.

Проведены исследования характеристик Ti и TiN покрытий, полученных путем распыления мишени ионами, экстрагируемыми из источника газовой плазмы (ИГП). Показано, что такие покрытия, в отличие от вакуумно-дуговых, не содержат капель. Шероховатость покрытий из титана, синтезированных с помощью источника...