Исследование характеристик покрытий, синтезированных с помощью источника газовой плазмы
Проведены исследования характеристик Ti и TiN покрытий, полученных путем распыления мишени ионами, экстрагируемыми из источника газовой плазмы (ИГП). Показано, что такие покрытия, в отличие от вакуумно-дуговых, не содержат капель. Шероховатость покрытий из титана, синтезированных с помощью источника...
Збережено в:
| Опубліковано в: : | Физическая инженерия поверхности |
|---|---|
| Дата: | 2011 |
| Автори: | Белоус, В.А., Лунев, В.М., Носов, Г.И., Толмачева, Г.Н. |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Російська |
| Опубліковано: |
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
2011
|
| Онлайн доступ: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/76995 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Исследование характеристик покрытий, синтезированных с помощью источника газовой плазмы / В.А. Белоус, В.М. Лунев, Г.И. Носов, Г.Н. Толмачева // Физическая инженерия поверхности. — 2011. — Т. 9, № 4. — С. 332–338. — Бібліогр.: 8 назв. — рос. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of UkraineСхожі ресурси
Иссдедование процессов формирования TiSiN покрытий путём распыления мишений из Ti и Si ионами, генерируемыми источником газовой плазмы
за авторством: Белоус, В.А., та інші
Опубліковано: (2013)
за авторством: Белоус, В.А., та інші
Опубліковано: (2013)
Структура и механические свойства покрытий ZrN, получаемых осаждением потоков плазмы вакуумной дуги
за авторством: Хороших, В.М., та інші
Опубліковано: (2014)
за авторством: Хороших, В.М., та інші
Опубліковано: (2014)
Рентгенографическое исследование структуры и напряженного состояния TIN покрытий, осажденных из фильтрованной вакуумно-дуговой плазмы в газовой смеси N₂ и Ar
за авторством: Васильев, В.В., та інші
Опубліковано: (2016)
за авторством: Васильев, В.В., та інші
Опубліковано: (2016)
Исследование характеристик сплавов циркония при окислении в газовой среде
за авторством: Азаренков, Н.А., та інші
Опубліковано: (2014)
за авторством: Азаренков, Н.А., та інші
Опубліковано: (2014)
Регулировка состава Ti-Al-N покрытий, осаждаемых с применением двухканального вакуумно дугового источника фильтрованной плазмы
за авторством: Аксёнов, Д.С., та інші
Опубліковано: (2010)
за авторством: Аксёнов, Д.С., та інші
Опубліковано: (2010)
Исследование влияния параметров потока плазмы на свойства формируемых покрытий
за авторством: Антоненко, А.Л.
Опубліковано: (2006)
за авторством: Антоненко, А.Л.
Опубліковано: (2006)
Модификация поверхности сплава Zr1Nb осаждением многослойных Ti/TiN и Zr/ZrN покрытий
за авторством: Белоус, В.А., та інші
Опубліковано: (2015)
за авторством: Белоус, В.А., та інші
Опубліковано: (2015)
Оптимизация параметров источника пара для генераторов водяной плазмы
за авторством: Булат, А.Ф., та інші
Опубліковано: (2005)
за авторством: Булат, А.Ф., та інші
Опубліковано: (2005)
Структура и механические свойства защитных покрытий Ti–Al–Si–N, осажденных из сепарированной плазмы вакуумной дуги
за авторством: Белоус, В.А., та інші
Опубліковано: (2013)
за авторством: Белоус, В.А., та інші
Опубліковано: (2013)
Осаждение тонкопленочных покрытий с использованием источника кластерного пучка
за авторством: Батурин, В.А., та інші
Опубліковано: (2009)
за авторством: Батурин, В.А., та інші
Опубліковано: (2009)
Эмиссионные характеристики легированных азотом наноструктурных алмазных покрытий, синтезированных в плазме тлеющего разряда
за авторством: Дудник, С.Ф., та інші
Опубліковано: (2015)
за авторством: Дудник, С.Ф., та інші
Опубліковано: (2015)
Применение порошковых катодов для осаждения Ti-Si-N покрытий из фильтрованной вакуумно-дуговой плазмы
за авторством: Васильев, В.В., та інші
Опубліковано: (2015)
за авторством: Васильев, В.В., та інші
Опубліковано: (2015)
Модификация поверхности сплава Э110 осаждением многослойных Zr/ZrN покрытий и ионным облучением
за авторством: Белоус, В.А., та інші
Опубліковано: (2009)
за авторством: Белоус, В.А., та інші
Опубліковано: (2009)
Структура и твердость Ti-N- и Ti-Si-N-покрытий, осажденных из фильтрованной вакуумно-дуговой плазмы
за авторством: Васильев, В.В., та інші
Опубліковано: (2009)
за авторством: Васильев, В.В., та інші
Опубліковано: (2009)
Физико-механические свойства Ti-Al-N-покрытий, осаждаемых из смешанного двухкомпонентного потока вакуумно-дуговой плазмы
за авторством: Аксёнов, Д.С., та інші
Опубліковано: (2011)
за авторством: Аксёнов, Д.С., та інші
Опубліковано: (2011)
Микро- и наноиндентирование пиролитических карбидохромовых покрытий
за авторством: Крохмаль, С.А., та інші
Опубліковано: (2011)
за авторством: Крохмаль, С.А., та інші
Опубліковано: (2011)
Исследование с помощью физического моделирования распределения температурных полей газовой струи на выходе из сопла
за авторством: Дудченко, С.А., та інші
Опубліковано: (2012)
за авторством: Дудченко, С.А., та інші
Опубліковано: (2012)
Влияние физико-механических характеристик алмазов, синтезированных в присутствии ферросплавов, на износостойкость породоразрушающего инструмента
за авторством: Новиков, Н.В., та інші
Опубліковано: (2016)
за авторством: Новиков, Н.В., та інші
Опубліковано: (2016)
Структура и свойства нитридных покрытий, осажденных из фильтрованной вакуумно-дуговой плазмы с использованием порошкового катода Cr₀,₅Al₀,₅
за авторством: Васильев, В.В., та інші
Опубліковано: (2016)
за авторством: Васильев, В.В., та інші
Опубліковано: (2016)
Формирование TiNx покрытий конденсацией плазмы падением потенциала
за авторством: Кунченко, В.В., та інші
Опубліковано: (2000)
за авторством: Кунченко, В.В., та інші
Опубліковано: (2000)
Вакуумно-дуговое осаждение наноструктурных Ti-Si-N покрытий из многокомпонентной плазмы
за авторством: Шулаев, В.М., та інші
Опубліковано: (2008)
за авторством: Шулаев, В.М., та інші
Опубліковано: (2008)
Об особенностях процесса осаждения ионно-плазменных покрытий на основе нитрида титана в области давлений азота 2-10 Па
за авторством: Хороших, В.М., та інші
Опубліковано: (2009)
за авторством: Хороших, В.М., та інші
Опубліковано: (2009)
Структура и свойства твердых покрытий систем (Ti-Zr-Si)n и (Ti-Hf-Si)n, полученных из потоков металлической плазмы
за авторством: Береснев, В.М., та інші
Опубліковано: (2010)
за авторством: Береснев, В.М., та інші
Опубліковано: (2010)
Оценка характеристик излучения мощного импульсного широкополосного оптического источника
за авторством: Лонин, Ю.Ф., та інші
Опубліковано: (2008)
за авторством: Лонин, Ю.Ф., та інші
Опубліковано: (2008)
Влияние нестабильного, низкоэнергетического тлеющего разряда на свойства облучаемых материалов в процессе вакуумно-дугового осажднния покрытий
за авторством: Кунченко, Ю.В., та інші
Опубліковано: (2009)
за авторством: Кунченко, Ю.В., та інші
Опубліковано: (2009)
Исследование изменения физико-механических характеристик урановмещающей породы при стационарном и динамическом ее нагружении в газовой среде
за авторством: Шевченко, В.Г., та інші
Опубліковано: (2015)
за авторством: Шевченко, В.Г., та інші
Опубліковано: (2015)
Осаждение из газовой фазы оксидных и металлооксидных покрытий на топливные частицы
за авторством: Патокин, А.П., та інші
Опубліковано: (2008)
за авторством: Патокин, А.П., та інші
Опубліковано: (2008)
Расчет поверхностных характеристик наноразмерных веществ (метод обращенной газовой хроматографии)
за авторством: Возняковский, А.П., та інші
Опубліковано: (2006)
за авторством: Возняковский, А.П., та інші
Опубліковано: (2006)
Исследование взаимодействия скоростной газовой струи с расплавом
за авторством: Найдек, В.Л., та інші
Опубліковано: (2010)
за авторством: Найдек, В.Л., та інші
Опубліковано: (2010)
Исследование пленок алмазоподобного углерода и соединений углерода с азотом, синтезированных вакуумно-дуговым методом
за авторством: Стрельницкий, В.Е., та інші
Опубліковано: (2005)
за авторством: Стрельницкий, В.Е., та інші
Опубліковано: (2005)
Влияние аргона на структуру и свойства Ti-Si-N-покрытий, полученных при вакуумно-дуговом осаждении в газовой смеси «азот + аргон»
за авторством: Белоус, В.А., та інші
Опубліковано: (2012)
за авторством: Белоус, В.А., та інші
Опубліковано: (2012)
Состав электрохимически синтезированных оксидных соединений молибдена
за авторством: Стадник, О.А., та інші
Опубліковано: (2009)
за авторством: Стадник, О.А., та інші
Опубліковано: (2009)
Механические характеристики твэльных трубок из сплава Zr1Nb после осаждения ионно-плазменных покрытий
за авторством: Белоус, В.А., та інші
Опубліковано: (2013)
за авторством: Белоус, В.А., та інші
Опубліковано: (2013)
Магнитное управление потоками низкотемпературной плазмы в процессах нанесения газотермических покрытий
за авторством: Пащенко, В.Н., та інші
Опубліковано: (2006)
за авторством: Пащенко, В.Н., та інші
Опубліковано: (2006)
Исследование рефракционных свойств тропосферы с помощью радиоинтерферометра
за авторством: Хоменко, С.И., та інші
Опубліковано: (2012)
за авторством: Хоменко, С.И., та інші
Опубліковано: (2012)
Применение метода наноиндентирования для исследования механических свойств cверхтвёрдых покрытий на основе нитрида титана
за авторством: Толмачёва, Г.Н., та інші
Опубліковано: (2011)
за авторством: Толмачёва, Г.Н., та інші
Опубліковано: (2011)
Влияние состава газовой фазы при синтезе наноструктурных алмазных покрытий на их удельное сопротивление
за авторством: Грицына, В.И., та інші
Опубліковано: (2013)
за авторством: Грицына, В.И., та інші
Опубліковано: (2013)
О характере влияния различных газов на процесс конденсации покрытий из плазмы вакуумной дуги
за авторством: Хороших, В.М., та інші
Опубліковано: (2009)
за авторством: Хороших, В.М., та інші
Опубліковано: (2009)
Твердые покрытия Ti-Al-N, осажденные из фильтрованной вакуумно-дуговой плазмы
за авторством: Белоус, В.А., та інші
Опубліковано: (2009)
за авторством: Белоус, В.А., та інші
Опубліковано: (2009)
Формализация автоматизированного решения синтезированных задач гибких тренажеров
за авторством: Верещагин, И.И.
Опубліковано: (2005)
за авторством: Верещагин, И.И.
Опубліковано: (2005)
Схожі ресурси
-
Иссдедование процессов формирования TiSiN покрытий путём распыления мишений из Ti и Si ионами, генерируемыми источником газовой плазмы
за авторством: Белоус, В.А., та інші
Опубліковано: (2013) -
Структура и механические свойства покрытий ZrN, получаемых осаждением потоков плазмы вакуумной дуги
за авторством: Хороших, В.М., та інші
Опубліковано: (2014) -
Рентгенографическое исследование структуры и напряженного состояния TIN покрытий, осажденных из фильтрованной вакуумно-дуговой плазмы в газовой смеси N₂ и Ar
за авторством: Васильев, В.В., та інші
Опубліковано: (2016) -
Исследование характеристик сплавов циркония при окислении в газовой среде
за авторством: Азаренков, Н.А., та інші
Опубліковано: (2014) -
Регулировка состава Ti-Al-N покрытий, осаждаемых с применением двухканального вакуумно дугового источника фильтрованной плазмы
за авторством: Аксёнов, Д.С., та інші
Опубліковано: (2010)