Исследование характеристик покрытий, синтезированных с помощью источника газовой плазмы
Проведены исследования характеристик Ti и TiN покрытий, полученных путем распыления мишени ионами, экстрагируемыми из источника газовой плазмы (ИГП). Показано, что такие покрытия, в отличие от вакуумно-дуговых, не содержат капель. Шероховатость покрытий из титана, синтезированных с помощью источника...
Gespeichert in:
| Veröffentlicht in: | Физическая инженерия поверхности |
|---|---|
| Datum: | 2011 |
| Hauptverfasser: | Белоус, В.А., Лунев, В.М., Носов, Г.И., Толмачева, Г.Н. |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | Russisch |
| Veröffentlicht: |
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
2011
|
| Online Zugang: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/76995 |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Zitieren: | Исследование характеристик покрытий, синтезированных с помощью источника газовой плазмы / В.А. Белоус, В.М. Лунев, Г.И. Носов, Г.Н. Толмачева // Физическая инженерия поверхности. — 2011. — Т. 9, № 4. — С. 332–338. — Бібліогр.: 8 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of UkraineÄhnliche Einträge
Иссдедование процессов формирования TiSiN покрытий путём распыления мишений из Ti и Si ионами, генерируемыми источником газовой плазмы
von: Белоус, В.А., et al.
Veröffentlicht: (2013)
von: Белоус, В.А., et al.
Veröffentlicht: (2013)
Структура и механические свойства покрытий ZrN, получаемых осаждением потоков плазмы вакуумной дуги
von: Хороших, В.М., et al.
Veröffentlicht: (2014)
von: Хороших, В.М., et al.
Veröffentlicht: (2014)
Рентгенографическое исследование структуры и напряженного состояния TIN покрытий, осажденных из фильтрованной вакуумно-дуговой плазмы в газовой смеси N₂ и Ar
von: Васильев, В.В., et al.
Veröffentlicht: (2016)
von: Васильев, В.В., et al.
Veröffentlicht: (2016)
Исследование характеристик сплавов циркония при окислении в газовой среде
von: Азаренков, Н.А., et al.
Veröffentlicht: (2014)
von: Азаренков, Н.А., et al.
Veröffentlicht: (2014)
Регулировка состава Ti-Al-N покрытий, осаждаемых с применением двухканального вакуумно дугового источника фильтрованной плазмы
von: Аксёнов, Д.С., et al.
Veröffentlicht: (2010)
von: Аксёнов, Д.С., et al.
Veröffentlicht: (2010)
Исследование влияния параметров потока плазмы на свойства формируемых покрытий
von: Антоненко, А.Л.
Veröffentlicht: (2006)
von: Антоненко, А.Л.
Veröffentlicht: (2006)
Модификация поверхности сплава Zr1Nb осаждением многослойных Ti/TiN и Zr/ZrN покрытий
von: Белоус, В.А., et al.
Veröffentlicht: (2015)
von: Белоус, В.А., et al.
Veröffentlicht: (2015)
Оптимизация параметров источника пара для генераторов водяной плазмы
von: Булат, А.Ф., et al.
Veröffentlicht: (2005)
von: Булат, А.Ф., et al.
Veröffentlicht: (2005)
Структура и механические свойства защитных покрытий Ti–Al–Si–N, осажденных из сепарированной плазмы вакуумной дуги
von: Белоус, В.А., et al.
Veröffentlicht: (2013)
von: Белоус, В.А., et al.
Veröffentlicht: (2013)
Осаждение тонкопленочных покрытий с использованием источника кластерного пучка
von: Батурин, В.А., et al.
Veröffentlicht: (2009)
von: Батурин, В.А., et al.
Veröffentlicht: (2009)
Эмиссионные характеристики легированных азотом наноструктурных алмазных покрытий, синтезированных в плазме тлеющего разряда
von: Дудник, С.Ф., et al.
Veröffentlicht: (2015)
von: Дудник, С.Ф., et al.
Veröffentlicht: (2015)
Применение порошковых катодов для осаждения Ti-Si-N покрытий из фильтрованной вакуумно-дуговой плазмы
von: Васильев, В.В., et al.
Veröffentlicht: (2015)
von: Васильев, В.В., et al.
Veröffentlicht: (2015)
Модификация поверхности сплава Э110 осаждением многослойных Zr/ZrN покрытий и ионным облучением
von: Белоус, В.А., et al.
Veröffentlicht: (2009)
von: Белоус, В.А., et al.
Veröffentlicht: (2009)
Структура и твердость Ti-N- и Ti-Si-N-покрытий, осажденных из фильтрованной вакуумно-дуговой плазмы
von: Васильев, В.В., et al.
Veröffentlicht: (2009)
von: Васильев, В.В., et al.
Veröffentlicht: (2009)
Физико-механические свойства Ti-Al-N-покрытий, осаждаемых из смешанного двухкомпонентного потока вакуумно-дуговой плазмы
von: Аксёнов, Д.С., et al.
Veröffentlicht: (2011)
von: Аксёнов, Д.С., et al.
Veröffentlicht: (2011)
Микро- и наноиндентирование пиролитических карбидохромовых покрытий
von: Крохмаль, С.А., et al.
Veröffentlicht: (2011)
von: Крохмаль, С.А., et al.
Veröffentlicht: (2011)
Исследование с помощью физического моделирования распределения температурных полей газовой струи на выходе из сопла
von: Дудченко, С.А., et al.
Veröffentlicht: (2012)
von: Дудченко, С.А., et al.
Veröffentlicht: (2012)
Структура и свойства нитридных покрытий, осажденных из фильтрованной вакуумно-дуговой плазмы с использованием порошкового катода Cr₀,₅Al₀,₅
von: Васильев, В.В., et al.
Veröffentlicht: (2016)
von: Васильев, В.В., et al.
Veröffentlicht: (2016)
Влияние физико-механических характеристик алмазов, синтезированных в присутствии ферросплавов, на износостойкость породоразрушающего инструмента
von: Новиков, Н.В., et al.
Veröffentlicht: (2016)
von: Новиков, Н.В., et al.
Veröffentlicht: (2016)
Формирование TiNx покрытий конденсацией плазмы падением потенциала
von: Кунченко, В.В., et al.
Veröffentlicht: (2000)
von: Кунченко, В.В., et al.
Veröffentlicht: (2000)
Вакуумно-дуговое осаждение наноструктурных Ti-Si-N покрытий из многокомпонентной плазмы
von: Шулаев, В.М., et al.
Veröffentlicht: (2008)
von: Шулаев, В.М., et al.
Veröffentlicht: (2008)
Об особенностях процесса осаждения ионно-плазменных покрытий на основе нитрида титана в области давлений азота 2-10 Па
von: Хороших, В.М., et al.
Veröffentlicht: (2009)
von: Хороших, В.М., et al.
Veröffentlicht: (2009)
Структура и свойства твердых покрытий систем (Ti-Zr-Si)n и (Ti-Hf-Si)n, полученных из потоков металлической плазмы
von: Береснев, В.М., et al.
Veröffentlicht: (2010)
von: Береснев, В.М., et al.
Veröffentlicht: (2010)
Влияние нестабильного, низкоэнергетического тлеющего разряда на свойства облучаемых материалов в процессе вакуумно-дугового осажднния покрытий
von: Кунченко, Ю.В., et al.
Veröffentlicht: (2009)
von: Кунченко, Ю.В., et al.
Veröffentlicht: (2009)
Оценка характеристик излучения мощного импульсного широкополосного оптического источника
von: Лонин, Ю.Ф., et al.
Veröffentlicht: (2008)
von: Лонин, Ю.Ф., et al.
Veröffentlicht: (2008)
Исследование изменения физико-механических характеристик урановмещающей породы при стационарном и динамическом ее нагружении в газовой среде
von: Шевченко, В.Г., et al.
Veröffentlicht: (2015)
von: Шевченко, В.Г., et al.
Veröffentlicht: (2015)
Осаждение из газовой фазы оксидных и металлооксидных покрытий на топливные частицы
von: Патокин, А.П., et al.
Veröffentlicht: (2008)
von: Патокин, А.П., et al.
Veröffentlicht: (2008)
Исследование взаимодействия скоростной газовой струи с расплавом
von: Найдек, В.Л., et al.
Veröffentlicht: (2010)
von: Найдек, В.Л., et al.
Veröffentlicht: (2010)
Расчет поверхностных характеристик наноразмерных веществ (метод обращенной газовой хроматографии)
von: Возняковский, А.П., et al.
Veröffentlicht: (2006)
von: Возняковский, А.П., et al.
Veröffentlicht: (2006)
Исследование пленок алмазоподобного углерода и соединений углерода с азотом, синтезированных вакуумно-дуговым методом
von: Стрельницкий, В.Е., et al.
Veröffentlicht: (2005)
von: Стрельницкий, В.Е., et al.
Veröffentlicht: (2005)
Влияние аргона на структуру и свойства Ti-Si-N-покрытий, полученных при вакуумно-дуговом осаждении в газовой смеси «азот + аргон»
von: Белоус, В.А., et al.
Veröffentlicht: (2012)
von: Белоус, В.А., et al.
Veröffentlicht: (2012)
Механические характеристики твэльных трубок из сплава Zr1Nb после осаждения ионно-плазменных покрытий
von: Белоус, В.А., et al.
Veröffentlicht: (2013)
von: Белоус, В.А., et al.
Veröffentlicht: (2013)
Состав электрохимически синтезированных оксидных соединений молибдена
von: Стадник, О.А., et al.
Veröffentlicht: (2009)
von: Стадник, О.А., et al.
Veröffentlicht: (2009)
Магнитное управление потоками низкотемпературной плазмы в процессах нанесения газотермических покрытий
von: Пащенко, В.Н., et al.
Veröffentlicht: (2006)
von: Пащенко, В.Н., et al.
Veröffentlicht: (2006)
Исследование рефракционных свойств тропосферы с помощью радиоинтерферометра
von: Хоменко, С.И., et al.
Veröffentlicht: (2012)
von: Хоменко, С.И., et al.
Veröffentlicht: (2012)
Применение метода наноиндентирования для исследования механических свойств cверхтвёрдых покрытий на основе нитрида титана
von: Толмачёва, Г.Н., et al.
Veröffentlicht: (2011)
von: Толмачёва, Г.Н., et al.
Veröffentlicht: (2011)
Твердые покрытия Ti-Al-N, осажденные из фильтрованной вакуумно-дуговой плазмы
von: Белоус, В.А., et al.
Veröffentlicht: (2009)
von: Белоус, В.А., et al.
Veröffentlicht: (2009)
Влияние состава газовой фазы при синтезе наноструктурных алмазных покрытий на их удельное сопротивление
von: Грицына, В.И., et al.
Veröffentlicht: (2013)
von: Грицына, В.И., et al.
Veröffentlicht: (2013)
О характере влияния различных газов на процесс конденсации покрытий из плазмы вакуумной дуги
von: Хороших, В.М., et al.
Veröffentlicht: (2009)
von: Хороших, В.М., et al.
Veröffentlicht: (2009)
Адгезионные характеристики покрытий и методы их измерения
von: Лунёв, В.М., et al.
Veröffentlicht: (2010)
von: Лунёв, В.М., et al.
Veröffentlicht: (2010)
Ähnliche Einträge
-
Иссдедование процессов формирования TiSiN покрытий путём распыления мишений из Ti и Si ионами, генерируемыми источником газовой плазмы
von: Белоус, В.А., et al.
Veröffentlicht: (2013) -
Структура и механические свойства покрытий ZrN, получаемых осаждением потоков плазмы вакуумной дуги
von: Хороших, В.М., et al.
Veröffentlicht: (2014) -
Рентгенографическое исследование структуры и напряженного состояния TIN покрытий, осажденных из фильтрованной вакуумно-дуговой плазмы в газовой смеси N₂ и Ar
von: Васильев, В.В., et al.
Veröffentlicht: (2016) -
Исследование характеристик сплавов циркония при окислении в газовой среде
von: Азаренков, Н.А., et al.
Veröffentlicht: (2014) -
Регулировка состава Ti-Al-N покрытий, осаждаемых с применением двухканального вакуумно дугового источника фильтрованной плазмы
von: Аксёнов, Д.С., et al.
Veröffentlicht: (2010)