Применение метода спектральной интерферометрии для измерения микро- и нанорасстояний

Представлены результаты исследований оптической интерферометрии на основе низкокогерентных источников излучения вне зоны когерентности. Показано, что когда разность плеч интерферометра Майкельсона превышает длину когерентности излучения светодиода, явление спектральной интерференции обеспе...

Full description

Saved in:
Bibliographic Details
Published in:Радіофізика та електроніка
Date:2011
Main Authors: Лукин, К.А., Мачехин, Ю.П., Данаилов, М.Б., Татьянко, Д.Н.
Format: Article
Language:Russian
Published: Інститут радіофізики і електроніки ім. А.Я. Усикова НАН України 2011
Subjects:
Online Access:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/78038
Tags: Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
Journal Title:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Cite this:Применение метода спектральной интерферометрии для измерения микро- и нанорасстояний / К.А. Лукин, Ю.П. Мачехин, М.Б. Данаилов, Д.Н. Татьянко // Радіофізика та електроніка. — 2011. — Т. 2(16), № 1. — С. 39-45. — Бібліогр.: 18 назв. — рос.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine