Синтез алмазных покрытий в тлеющем разряде, стабилизированном магнитным полем

Целью настоящей работы является исследование тлеющего разряда, стабилизированного магнитным полем, как высокоэффективного средства для нанесения алмазной пленки и роста отдельных кристаллов алмаза, а также обсуждение процессов роста кристаллов алмаза и синтеза сплошной алмазной пленки на подложках и...

Повний опис

Збережено в:
Бібліографічні деталі
Опубліковано в: :Вопросы атомной науки и техники
Дата:2000
Автори: Опалев, О.А., Пашнев, В.К., Ковальчук, И.К., Стрельницкий, В.Е., Белоус, В.А., Колупаева, З.И.
Формат: Стаття
Мова:Russian
Опубліковано: Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2000
Теми:
Онлайн доступ:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/78213
Теги: Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:Синтез алмазных покрытий в тлеющем разряде, стабилизированном магнитным полем / О.А. Опалев, В.К. Пашнев, И.К. Ковальчук, В.Е. Стрельницкий, В.А. Белоус, З.И. Колупаева // Вопросы атомной науки и техники. — 2000. — № 4. — С. 158-164. — Бібліогр.: 13 назв. — рос.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
id nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-78213
record_format dspace
spelling Опалев, О.А.
Пашнев, В.К.
Ковальчук, И.К.
Стрельницкий, В.Е.
Белоус, В.А.
Колупаева, З.И.
2015-03-12T20:08:31Z
2015-03-12T20:08:31Z
2000
Синтез алмазных покрытий в тлеющем разряде, стабилизированном магнитным полем / О.А. Опалев, В.К. Пашнев, И.К. Ковальчук, В.Е. Стрельницкий, В.А. Белоус, З.И. Колупаева // Вопросы атомной науки и техники. — 2000. — № 4. — С. 158-164. — Бібліогр.: 13 назв. — рос.
1562-6016
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/78213
546.26.-162
Целью настоящей работы является исследование тлеющего разряда, стабилизированного магнитным полем, как высокоэффективного средства для нанесения алмазной пленки и роста отдельных кристаллов алмаза, а также обсуждение процессов роста кристаллов алмаза и синтеза сплошной алмазной пленки на подложках из молибдена и вольфрама.
ru
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
Вопросы атомной науки и техники
Физика радиационных и ионно-плазменных технологий
Синтез алмазных покрытий в тлеющем разряде, стабилизированном магнитным полем
Article
published earlier
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection DSpace DC
title Синтез алмазных покрытий в тлеющем разряде, стабилизированном магнитным полем
spellingShingle Синтез алмазных покрытий в тлеющем разряде, стабилизированном магнитным полем
Опалев, О.А.
Пашнев, В.К.
Ковальчук, И.К.
Стрельницкий, В.Е.
Белоус, В.А.
Колупаева, З.И.
Физика радиационных и ионно-плазменных технологий
title_short Синтез алмазных покрытий в тлеющем разряде, стабилизированном магнитным полем
title_full Синтез алмазных покрытий в тлеющем разряде, стабилизированном магнитным полем
title_fullStr Синтез алмазных покрытий в тлеющем разряде, стабилизированном магнитным полем
title_full_unstemmed Синтез алмазных покрытий в тлеющем разряде, стабилизированном магнитным полем
title_sort синтез алмазных покрытий в тлеющем разряде, стабилизированном магнитным полем
author Опалев, О.А.
Пашнев, В.К.
Ковальчук, И.К.
Стрельницкий, В.Е.
Белоус, В.А.
Колупаева, З.И.
author_facet Опалев, О.А.
Пашнев, В.К.
Ковальчук, И.К.
Стрельницкий, В.Е.
Белоус, В.А.
Колупаева, З.И.
topic Физика радиационных и ионно-плазменных технологий
topic_facet Физика радиационных и ионно-плазменных технологий
publishDate 2000
language Russian
container_title Вопросы атомной науки и техники
publisher Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
format Article
description Целью настоящей работы является исследование тлеющего разряда, стабилизированного магнитным полем, как высокоэффективного средства для нанесения алмазной пленки и роста отдельных кристаллов алмаза, а также обсуждение процессов роста кристаллов алмаза и синтеза сплошной алмазной пленки на подложках из молибдена и вольфрама.
issn 1562-6016
url https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/78213
fulltext
citation_txt Синтез алмазных покрытий в тлеющем разряде, стабилизированном магнитным полем / О.А. Опалев, В.К. Пашнев, И.К. Ковальчук, В.Е. Стрельницкий, В.А. Белоус, З.И. Колупаева // Вопросы атомной науки и техники. — 2000. — № 4. — С. 158-164. — Бібліогр.: 13 назв. — рос.
work_keys_str_mv AT opalevoa sintezalmaznyhpokrytiivtleûŝemrazrâdestabilizirovannommagnitnympolem
AT pašnevvk sintezalmaznyhpokrytiivtleûŝemrazrâdestabilizirovannommagnitnympolem
AT kovalʹčukik sintezalmaznyhpokrytiivtleûŝemrazrâdestabilizirovannommagnitnympolem
AT strelʹnickiive sintezalmaznyhpokrytiivtleûŝemrazrâdestabilizirovannommagnitnympolem
AT belousva sintezalmaznyhpokrytiivtleûŝemrazrâdestabilizirovannommagnitnympolem
AT kolupaevazi sintezalmaznyhpokrytiivtleûŝemrazrâdestabilizirovannommagnitnympolem
first_indexed 2025-11-26T01:42:30Z
last_indexed 2025-11-26T01:42:30Z
_version_ 1850604635685912576