Синтез алмазных покрытий в тлеющем разряде, стабилизированном магнитным полем
Целью настоящей работы является исследование тлеющего разряда, стабилизированного магнитным полем, как высокоэффективного средства для нанесения алмазной пленки и роста отдельных кристаллов алмаза, а также обсуждение процессов роста кристаллов алмаза и синтеза сплошной алмазной пленки на подложках и...
Gespeichert in:
| Datum: | 2000 |
|---|---|
| Hauptverfasser: | , , , , , |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | Russian |
| Veröffentlicht: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2000
|
| Schriftenreihe: | Вопросы атомной науки и техники |
| Schlagworte: | |
| Online Zugang: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/78213 |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Zitieren: | Синтез алмазных покрытий в тлеющем разряде, стабилизированном магнитным полем / О.А. Опалев, В.К. Пашнев, И.К. Ковальчук, В.Е. Стрельницкий, В.А. Белоус, З.И. Колупаева // Вопросы атомной науки и техники. — 2000. — № 4. — С. 158-164. — Бібліогр.: 13 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-78213 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| fulltext |
|
| spelling |
nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-782132025-02-09T13:01:18Z Синтез алмазных покрытий в тлеющем разряде, стабилизированном магнитным полем Опалев, О.А. Пашнев, В.К. Ковальчук, И.К. Стрельницкий, В.Е. Белоус, В.А. Колупаева, З.И. Физика радиационных и ионно-плазменных технологий Целью настоящей работы является исследование тлеющего разряда, стабилизированного магнитным полем, как высокоэффективного средства для нанесения алмазной пленки и роста отдельных кристаллов алмаза, а также обсуждение процессов роста кристаллов алмаза и синтеза сплошной алмазной пленки на подложках из молибдена и вольфрама. 2000 Article Синтез алмазных покрытий в тлеющем разряде, стабилизированном магнитным полем / О.А. Опалев, В.К. Пашнев, И.К. Ковальчук, В.Е. Стрельницкий, В.А. Белоус, З.И. Колупаева // Вопросы атомной науки и техники. — 2000. — № 4. — С. 158-164. — Бібліогр.: 13 назв. — рос. 1562-6016 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/78213 546.26.-162 ru Вопросы атомной науки и техники application/pdf Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| language |
Russian |
| topic |
Физика радиационных и ионно-плазменных технологий Физика радиационных и ионно-плазменных технологий |
| spellingShingle |
Физика радиационных и ионно-плазменных технологий Физика радиационных и ионно-плазменных технологий Опалев, О.А. Пашнев, В.К. Ковальчук, И.К. Стрельницкий, В.Е. Белоус, В.А. Колупаева, З.И. Синтез алмазных покрытий в тлеющем разряде, стабилизированном магнитным полем Вопросы атомной науки и техники |
| description |
Целью настоящей работы является исследование тлеющего разряда, стабилизированного магнитным полем, как высокоэффективного средства для нанесения алмазной пленки и роста отдельных кристаллов алмаза, а также обсуждение процессов роста кристаллов алмаза и синтеза сплошной алмазной пленки на подложках из молибдена и вольфрама. |
| format |
Article |
| author |
Опалев, О.А. Пашнев, В.К. Ковальчук, И.К. Стрельницкий, В.Е. Белоус, В.А. Колупаева, З.И. |
| author_facet |
Опалев, О.А. Пашнев, В.К. Ковальчук, И.К. Стрельницкий, В.Е. Белоус, В.А. Колупаева, З.И. |
| author_sort |
Опалев, О.А. |
| title |
Синтез алмазных покрытий в тлеющем разряде, стабилизированном магнитным полем |
| title_short |
Синтез алмазных покрытий в тлеющем разряде, стабилизированном магнитным полем |
| title_full |
Синтез алмазных покрытий в тлеющем разряде, стабилизированном магнитным полем |
| title_fullStr |
Синтез алмазных покрытий в тлеющем разряде, стабилизированном магнитным полем |
| title_full_unstemmed |
Синтез алмазных покрытий в тлеющем разряде, стабилизированном магнитным полем |
| title_sort |
синтез алмазных покрытий в тлеющем разряде, стабилизированном магнитным полем |
| publisher |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України |
| publishDate |
2000 |
| topic_facet |
Физика радиационных и ионно-плазменных технологий |
| url |
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/78213 |
| citation_txt |
Синтез алмазных покрытий в тлеющем разряде, стабилизированном магнитным полем / О.А. Опалев, В.К. Пашнев, И.К. Ковальчук, В.Е. Стрельницкий, В.А. Белоус, З.И. Колупаева // Вопросы атомной науки и техники. — 2000. — № 4. — С. 158-164. — Бібліогр.: 13 назв. — рос. |
| series |
Вопросы атомной науки и техники |
| work_keys_str_mv |
AT opalevoa sintezalmaznyhpokrytijvtleûŝemrazrâdestabilizirovannommagnitnympolem AT pašnevvk sintezalmaznyhpokrytijvtleûŝemrazrâdestabilizirovannommagnitnympolem AT kovalʹčukik sintezalmaznyhpokrytijvtleûŝemrazrâdestabilizirovannommagnitnympolem AT strelʹnickijve sintezalmaznyhpokrytijvtleûŝemrazrâdestabilizirovannommagnitnympolem AT belousva sintezalmaznyhpokrytijvtleûŝemrazrâdestabilizirovannommagnitnympolem AT kolupaevazi sintezalmaznyhpokrytijvtleûŝemrazrâdestabilizirovannommagnitnympolem |
| first_indexed |
2025-11-26T01:42:30Z |
| last_indexed |
2025-11-26T01:42:30Z |
| _version_ |
1849815309333037056 |