Синтез алмазных покрытий в тлеющем разряде, стабилизированном магнитным полем
Целью настоящей работы является исследование тлеющего разряда, стабилизированного магнитным полем, как высокоэффективного средства для нанесения алмазной пленки и роста отдельных кристаллов алмаза, а также обсуждение процессов роста кристаллов алмаза и синтеза сплошной алмазной пленки на подложках и...
Saved in:
| Published in: | Вопросы атомной науки и техники |
|---|---|
| Date: | 2000 |
| Main Authors: | , , , , , |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Published: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2000
|
| Subjects: | |
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/78213 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Синтез алмазных покрытий в тлеющем разряде, стабилизированном магнитным полем / О.А. Опалев, В.К. Пашнев, И.К. Ковальчук, В.Е. Стрельницкий, В.А. Белоус, З.И. Колупаева // Вопросы атомной науки и техники. — 2000. — № 4. — С. 158-164. — Бібліогр.: 13 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1862568583115046912 |
|---|---|
| author | Опалев, О.А. Пашнев, В.К. Ковальчук, И.К. Стрельницкий, В.Е. Белоус, В.А. Колупаева, З.И. |
| author_facet | Опалев, О.А. Пашнев, В.К. Ковальчук, И.К. Стрельницкий, В.Е. Белоус, В.А. Колупаева, З.И. |
| citation_txt | Синтез алмазных покрытий в тлеющем разряде, стабилизированном магнитным полем / О.А. Опалев, В.К. Пашнев, И.К. Ковальчук, В.Е. Стрельницкий, В.А. Белоус, З.И. Колупаева // Вопросы атомной науки и техники. — 2000. — № 4. — С. 158-164. — Бібліогр.: 13 назв. — рос. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Вопросы атомной науки и техники |
| description | Целью настоящей работы является исследование тлеющего разряда, стабилизированного магнитным полем, как высокоэффективного средства для нанесения алмазной пленки и роста отдельных кристаллов алмаза, а также обсуждение процессов роста кристаллов алмаза и синтеза сплошной алмазной пленки на подложках из молибдена и вольфрама.
|
| first_indexed | 2025-11-26T01:42:30Z |
| format | Article |
| fulltext | |
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-78213 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 1562-6016 |
| language | Russian |
| last_indexed | 2025-11-26T01:42:30Z |
| publishDate | 2000 |
| publisher | Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Опалев, О.А. Пашнев, В.К. Ковальчук, И.К. Стрельницкий, В.Е. Белоус, В.А. Колупаева, З.И. 2015-03-12T20:08:31Z 2015-03-12T20:08:31Z 2000 Синтез алмазных покрытий в тлеющем разряде, стабилизированном магнитным полем / О.А. Опалев, В.К. Пашнев, И.К. Ковальчук, В.Е. Стрельницкий, В.А. Белоус, З.И. Колупаева // Вопросы атомной науки и техники. — 2000. — № 4. — С. 158-164. — Бібліогр.: 13 назв. — рос. 1562-6016 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/78213 546.26.-162 Целью настоящей работы является исследование тлеющего разряда, стабилизированного магнитным полем, как высокоэффективного средства для нанесения алмазной пленки и роста отдельных кристаллов алмаза, а также обсуждение процессов роста кристаллов алмаза и синтеза сплошной алмазной пленки на подложках из молибдена и вольфрама. ru Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України Вопросы атомной науки и техники Физика радиационных и ионно-плазменных технологий Синтез алмазных покрытий в тлеющем разряде, стабилизированном магнитным полем Article published earlier |
| spellingShingle | Синтез алмазных покрытий в тлеющем разряде, стабилизированном магнитным полем Опалев, О.А. Пашнев, В.К. Ковальчук, И.К. Стрельницкий, В.Е. Белоус, В.А. Колупаева, З.И. Физика радиационных и ионно-плазменных технологий |
| title | Синтез алмазных покрытий в тлеющем разряде, стабилизированном магнитным полем |
| title_full | Синтез алмазных покрытий в тлеющем разряде, стабилизированном магнитным полем |
| title_fullStr | Синтез алмазных покрытий в тлеющем разряде, стабилизированном магнитным полем |
| title_full_unstemmed | Синтез алмазных покрытий в тлеющем разряде, стабилизированном магнитным полем |
| title_short | Синтез алмазных покрытий в тлеющем разряде, стабилизированном магнитным полем |
| title_sort | синтез алмазных покрытий в тлеющем разряде, стабилизированном магнитным полем |
| topic | Физика радиационных и ионно-плазменных технологий |
| topic_facet | Физика радиационных и ионно-плазменных технологий |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/78213 |
| work_keys_str_mv | AT opalevoa sintezalmaznyhpokrytiivtleûŝemrazrâdestabilizirovannommagnitnympolem AT pašnevvk sintezalmaznyhpokrytiivtleûŝemrazrâdestabilizirovannommagnitnympolem AT kovalʹčukik sintezalmaznyhpokrytiivtleûŝemrazrâdestabilizirovannommagnitnympolem AT strelʹnickiive sintezalmaznyhpokrytiivtleûŝemrazrâdestabilizirovannommagnitnympolem AT belousva sintezalmaznyhpokrytiivtleûŝemrazrâdestabilizirovannommagnitnympolem AT kolupaevazi sintezalmaznyhpokrytiivtleûŝemrazrâdestabilizirovannommagnitnympolem |