Синтез алмазных покрытий в тлеющем разряде, стабилизированном магнитным полем

Целью настоящей работы является исследование тлеющего разряда, стабилизированного магнитным полем, как высокоэффективного средства для нанесения алмазной пленки и роста отдельных кристаллов алмаза, а также обсуждение процессов роста кристаллов алмаза и синтеза сплошной алмазной пленки на подложках и...

Full description

Saved in:
Bibliographic Details
Published in:Вопросы атомной науки и техники
Date:2000
Main Authors: Опалев, О.А., Пашнев, В.К., Ковальчук, И.К., Стрельницкий, В.Е., Белоус, В.А., Колупаева, З.И.
Format: Article
Language:Russian
Published: Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2000
Subjects:
Online Access:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/78213
Tags: Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
Journal Title:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Cite this:Синтез алмазных покрытий в тлеющем разряде, стабилизированном магнитным полем / О.А. Опалев, В.К. Пашнев, И.К. Ковальчук, В.Е. Стрельницкий, В.А. Белоус, З.И. Колупаева // Вопросы атомной науки и техники. — 2000. — № 4. — С. 158-164. — Бібліогр.: 13 назв. — рос.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine