The low energy ribbon ion beam source and transport system
The ribbon ion beam can be used in the commercial ion implanters in order to enlarge the beam current. The
 Bernas type ion source and periodical system of electrostatic lenses (electrostatic undulator) are proposed for high
 intensity ion implanter design. The ribbon ion source and...
Збережено в:
| Опубліковано в: : | Вопросы атомной науки и техники |
|---|---|
| Дата: | 2006 |
| Автори: | , , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Англійська |
| Опубліковано: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2006
|
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/78872 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | The low energy ribbon ion beam source and transport system / E.S. Masunov, S.M. Polozov, T.V. Kulevoy, V.I. Pershin // Вопросы атомной науки и техники. — 2006. — № 2. — С. 123-125. — Бібліогр.: 5 назв. — англ. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1862671173607751680 |
|---|---|
| author | Masunov, E.S. Polozov, S.M. Kulevoy, T.V. Pershin, V.I. |
| author_facet | Masunov, E.S. Polozov, S.M. Kulevoy, T.V. Pershin, V.I. |
| citation_txt | The low energy ribbon ion beam source and transport system / E.S. Masunov, S.M. Polozov, T.V. Kulevoy, V.I. Pershin // Вопросы атомной науки и техники. — 2006. — № 2. — С. 123-125. — Бібліогр.: 5 назв. — англ. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Вопросы атомной науки и техники |
| description | The ribbon ion beam can be used in the commercial ion implanters in order to enlarge the beam current. The
Bernas type ion source and periodical system of electrostatic lenses (electrostatic undulator) are proposed for high
intensity ion implanter design. The ribbon ion source and transport system for such beam are discussed.
Ленточные ионные пучки могут быть применены в коммерческих ионных имплантерах для увеличения тока пучка. Для создания сильноточного имплантора предлагается использовать ионный источник Берна и периодическую систему электростатических линз (электростатический ондулятор). Обсуждаются выбор источника ленточного ионного пучка и система его транспортировки.
Стрічкові іонні пучки можуть бути застосовані в комерційних іонних імплантерах для збільшення струму
пучка. Для створення потужнострумового імплантора пропонується використати іонне джерело Берна й
періодичну систему електростатичних лінз (електростатичний ондулятор). Обговорюються вибір джерела
стрічкового іонного пучка й система його транспортування.
|
| first_indexed | 2025-12-07T15:32:46Z |
| format | Article |
| fulltext | |
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-78872 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 1562-6016 |
| language | English |
| last_indexed | 2025-12-07T15:32:46Z |
| publishDate | 2006 |
| publisher | Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Masunov, E.S. Polozov, S.M. Kulevoy, T.V. Pershin, V.I. 2015-03-22T09:03:47Z 2015-03-22T09:03:47Z 2006 The low energy ribbon ion beam source and transport system / E.S. Masunov, S.M. Polozov, T.V. Kulevoy, V.I. Pershin // Вопросы атомной науки и техники. — 2006. — № 2. — С. 123-125. — Бібліогр.: 5 назв. — англ. 1562-6016 PACS: 29.25.Ni, 61.72.Tt https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/78872 The ribbon ion beam can be used in the commercial ion implanters in order to enlarge the beam current. The
 Bernas type ion source and periodical system of electrostatic lenses (electrostatic undulator) are proposed for high
 intensity ion implanter design. The ribbon ion source and transport system for such beam are discussed. Ленточные ионные пучки могут быть применены в коммерческих ионных имплантерах для увеличения тока пучка. Для создания сильноточного имплантора предлагается использовать ионный источник Берна и периодическую систему электростатических линз (электростатический ондулятор). Обсуждаются выбор источника ленточного ионного пучка и система его транспортировки. Стрічкові іонні пучки можуть бути застосовані в комерційних іонних імплантерах для збільшення струму
 пучка. Для створення потужнострумового імплантора пропонується використати іонне джерело Берна й
 періодичну систему електростатичних лінз (електростатичний ондулятор). Обговорюються вибір джерела
 стрічкового іонного пучка й система його транспортування. The work was supported by RFBR: Grant 04-02-16667. en Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України Вопросы атомной науки и техники Линейные ускорители заряженных частиц The low energy ribbon ion beam source and transport system Источник и система транспортировки низкоэнергетического ленточного ионного пучка Джерело й система транспортування низькоенергетичного стрічкового іонного пучка Article published earlier |
| spellingShingle | The low energy ribbon ion beam source and transport system Masunov, E.S. Polozov, S.M. Kulevoy, T.V. Pershin, V.I. Линейные ускорители заряженных частиц |
| title | The low energy ribbon ion beam source and transport system |
| title_alt | Источник и система транспортировки низкоэнергетического ленточного ионного пучка Джерело й система транспортування низькоенергетичного стрічкового іонного пучка |
| title_full | The low energy ribbon ion beam source and transport system |
| title_fullStr | The low energy ribbon ion beam source and transport system |
| title_full_unstemmed | The low energy ribbon ion beam source and transport system |
| title_short | The low energy ribbon ion beam source and transport system |
| title_sort | low energy ribbon ion beam source and transport system |
| topic | Линейные ускорители заряженных частиц |
| topic_facet | Линейные ускорители заряженных частиц |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/78872 |
| work_keys_str_mv | AT masunoves thelowenergyribbonionbeamsourceandtransportsystem AT polozovsm thelowenergyribbonionbeamsourceandtransportsystem AT kulevoytv thelowenergyribbonionbeamsourceandtransportsystem AT pershinvi thelowenergyribbonionbeamsourceandtransportsystem AT masunoves istočnikisistematransportirovkinizkoénergetičeskogolentočnogoionnogopučka AT polozovsm istočnikisistematransportirovkinizkoénergetičeskogolentočnogoionnogopučka AT kulevoytv istočnikisistematransportirovkinizkoénergetičeskogolentočnogoionnogopučka AT pershinvi istočnikisistematransportirovkinizkoénergetičeskogolentočnogoionnogopučka AT masunoves džereloisistematransportuvannânizʹkoenergetičnogostríčkovogoíonnogopučka AT polozovsm džereloisistematransportuvannânizʹkoenergetičnogostríčkovogoíonnogopučka AT kulevoytv džereloisistematransportuvannânizʹkoenergetičnogostríčkovogoíonnogopučka AT pershinvi džereloisistematransportuvannânizʹkoenergetičnogostríčkovogoíonnogopučka AT masunoves lowenergyribbonionbeamsourceandtransportsystem AT polozovsm lowenergyribbonionbeamsourceandtransportsystem AT kulevoytv lowenergyribbonionbeamsourceandtransportsystem AT pershinvi lowenergyribbonionbeamsourceandtransportsystem |