Solid ion accelerator based on magnetron sputtering discharge
A new solid ion accelerator based on magnetron sputtering discharge is described. The ions of working gas are
 used to bombard and sputter a cylindrical target made of metal or dielectric material. The sputtered atoms can be
 ionized and extracted by an ion optical accelerating syste...
Gespeichert in:
| Veröffentlicht in: | Вопросы атомной науки и техники |
|---|---|
| Datum: | 2004 |
| Hauptverfasser: | , , , |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | Englisch |
| Veröffentlicht: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2004
|
| Schlagworte: | |
| Online Zugang: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/79362 |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Zitieren: | Solid ion accelerator based on magnetron sputtering discharge / N.A. Azarenkov, I.A. Bizyukov, A.Y. Kashaba, K.N. Sereda // Вопросы атомной науки и техники. — 2004. — № 2. — С. 114-116. — Бібліогр.: 5 назв. — англ. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1862544586844405760 |
|---|---|
| author | Azarenkov, N.A. Bizyukov, I.A. Kashaba, A.Y. Sereda, K.N. |
| author_facet | Azarenkov, N.A. Bizyukov, I.A. Kashaba, A.Y. Sereda, K.N. |
| citation_txt | Solid ion accelerator based on magnetron sputtering discharge / N.A. Azarenkov, I.A. Bizyukov, A.Y. Kashaba, K.N. Sereda // Вопросы атомной науки и техники. — 2004. — № 2. — С. 114-116. — Бібліогр.: 5 назв. — англ. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Вопросы атомной науки и техники |
| description | A new solid ion accelerator based on magnetron sputtering discharge is described. The ions of working gas are
used to bombard and sputter a cylindrical target made of metal or dielectric material. The sputtered atoms can be
ionized and extracted by an ion optical accelerating system. Tests have shown that the ion source can operate stably
for a long time that is principally defined by the target consumption. The mixed beam consisting of various solid
ions (B, C, Si, Ti, V, Fe, Ni, Ta, W) and ions of working gas can be obtained.
Представлено новий прискорювач твердотільних іонів на базі магнетронного розпилюючого розряду. В
такому іонному джерелі іони робочого газу використовуються для бомбардування і розпилювання
матеріалів, які використовуються як циліндрична мішень. Розпилені атоми іонізуються й екстрагуються
іонно-оптичною прискорюючою системою. Випробування показали, що іонний прискорювач може
стабільно працювати протягом довгого часу без аніяких проблем і потребує лише заміни розпилюваної
мішені. Отримані пучки різноманітних твердотільних іонів (B, C, Si, Ti, V, Fe, Ni, Ta, W) змішаних з іонами
робочого газу.
Представлен новый ускоритель твердотельных ионов на базе магнетронного распылительного разряда. В
таком ионном источнике ионы рабочего газа используются для бомбардировки и распыления цилиндрической мишени, сделанной из металла или диэлектрического материала. Распыленные атомы могут быть ионизированы и извлечены ионно-оптической ускоряющей системой. Испытания показали, что ионный источник
может устойчиво работать в течение длительного времени, которое преимущественно определяется расходом мишени. Получены смешанные ионные пучки, состоящие из различных твердотельных ионов (B, C, Si,
Ti, V, Fe, Ni, Ta, W) и ионов рабочего газа.
|
| first_indexed | 2025-11-25T00:58:07Z |
| format | Article |
| fulltext | |
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-79362 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 1562-6016 |
| language | English |
| last_indexed | 2025-11-25T00:58:07Z |
| publishDate | 2004 |
| publisher | Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Azarenkov, N.A. Bizyukov, I.A. Kashaba, A.Y. Sereda, K.N. 2015-03-31T14:44:07Z 2015-03-31T14:44:07Z 2004 Solid ion accelerator based on magnetron sputtering discharge / N.A. Azarenkov, I.A. Bizyukov, A.Y. Kashaba, K.N. Sereda // Вопросы атомной науки и техники. — 2004. — № 2. — С. 114-116. — Бібліогр.: 5 назв. — англ. 1562-6016 PACS: 52.30.Ex; 52.50.Dg; 52.75.-d https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/79362 A new solid ion accelerator based on magnetron sputtering discharge is described. The ions of working gas are
 used to bombard and sputter a cylindrical target made of metal or dielectric material. The sputtered atoms can be
 ionized and extracted by an ion optical accelerating system. Tests have shown that the ion source can operate stably
 for a long time that is principally defined by the target consumption. The mixed beam consisting of various solid
 ions (B, C, Si, Ti, V, Fe, Ni, Ta, W) and ions of working gas can be obtained. Представлено новий прискорювач твердотільних іонів на базі магнетронного розпилюючого розряду. В
 такому іонному джерелі іони робочого газу використовуються для бомбардування і розпилювання
 матеріалів, які використовуються як циліндрична мішень. Розпилені атоми іонізуються й екстрагуються
 іонно-оптичною прискорюючою системою. Випробування показали, що іонний прискорювач може
 стабільно працювати протягом довгого часу без аніяких проблем і потребує лише заміни розпилюваної
 мішені. Отримані пучки різноманітних твердотільних іонів (B, C, Si, Ti, V, Fe, Ni, Ta, W) змішаних з іонами
 робочого газу. Представлен новый ускоритель твердотельных ионов на базе магнетронного распылительного разряда. В
 таком ионном источнике ионы рабочего газа используются для бомбардировки и распыления цилиндрической мишени, сделанной из металла или диэлектрического материала. Распыленные атомы могут быть ионизированы и извлечены ионно-оптической ускоряющей системой. Испытания показали, что ионный источник
 может устойчиво работать в течение длительного времени, которое преимущественно определяется расходом мишени. Получены смешанные ионные пучки, состоящие из различных твердотельных ионов (B, C, Si,
 Ti, V, Fe, Ni, Ta, W) и ионов рабочего газа. This work was supported in part by the Science and Technology Center in Ukraine, project #1112. en Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України Вопросы атомной науки и техники Элементы ускорителей Solid ion accelerator based on magnetron sputtering discharge Прискорювач твердотільних іонів на базі магнетронного розпилюючого розряду Ускоритель твердотельных ионов на базе магнетронного распылительного разряда Article published earlier |
| spellingShingle | Solid ion accelerator based on magnetron sputtering discharge Azarenkov, N.A. Bizyukov, I.A. Kashaba, A.Y. Sereda, K.N. Элементы ускорителей |
| title | Solid ion accelerator based on magnetron sputtering discharge |
| title_alt | Прискорювач твердотільних іонів на базі магнетронного розпилюючого розряду Ускоритель твердотельных ионов на базе магнетронного распылительного разряда |
| title_full | Solid ion accelerator based on magnetron sputtering discharge |
| title_fullStr | Solid ion accelerator based on magnetron sputtering discharge |
| title_full_unstemmed | Solid ion accelerator based on magnetron sputtering discharge |
| title_short | Solid ion accelerator based on magnetron sputtering discharge |
| title_sort | solid ion accelerator based on magnetron sputtering discharge |
| topic | Элементы ускорителей |
| topic_facet | Элементы ускорителей |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/79362 |
| work_keys_str_mv | AT azarenkovna solidionacceleratorbasedonmagnetronsputteringdischarge AT bizyukovia solidionacceleratorbasedonmagnetronsputteringdischarge AT kashabaay solidionacceleratorbasedonmagnetronsputteringdischarge AT seredakn solidionacceleratorbasedonmagnetronsputteringdischarge AT azarenkovna priskorûvačtverdotílʹnihíonívnabazímagnetronnogorozpilûûčogorozrâdu AT bizyukovia priskorûvačtverdotílʹnihíonívnabazímagnetronnogorozpilûûčogorozrâdu AT kashabaay priskorûvačtverdotílʹnihíonívnabazímagnetronnogorozpilûûčogorozrâdu AT seredakn priskorûvačtverdotílʹnihíonívnabazímagnetronnogorozpilûûčogorozrâdu AT azarenkovna uskoritelʹtverdotelʹnyhionovnabazemagnetronnogoraspylitelʹnogorazrâda AT bizyukovia uskoritelʹtverdotelʹnyhionovnabazemagnetronnogoraspylitelʹnogorazrâda AT kashabaay uskoritelʹtverdotelʹnyhionovnabazemagnetronnogoraspylitelʹnogorazrâda AT seredakn uskoritelʹtverdotelʹnyhionovnabazemagnetronnogoraspylitelʹnogorazrâda |