Об эффективности вакуумно-дуговых источников плазмы с сепарацией капельной фазы эрозии катода
Проведен анализ литературных данных по оценкам эффективности плазменных фильтров и выполнены эксперименты по измерениям скорости осаждения покрытий в плазме вакуумной дуги. Результаты анализа литературы и данные измерений свидетельствуют о том, что токовая эффективность плазменных фильтров совпадает...
Saved in:
| Date: | 2009 |
|---|---|
| Main Authors: | , , |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Published: |
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
2009
|
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/7950 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Об эффективности вакуумно-дуговых источников плазмы с сепарацией капельной фазы эрозии катода / В.М. Хороших, А.А. Комарь, М.А. Бровина // Физическая инженерия поверхности. — 2009. — Т. 7, № 1-2. — С. 54-59. — Бібліогр.: 17 назв. — рос. |