Об эффективности вакуумно-дуговых источников плазмы с сепарацией капельной фазы эрозии катода
Проведен анализ литературных данных по оценкам эффективности плазменных фильтров и выполнены эксперименты по измерениям скорости осаждения покрытий в плазме вакуумной дуги. Результаты анализа литературы и данные измерений свидетельствуют о том, что токовая эффективность плазменных фильтров совпадает...
Збережено в:
| Дата: | 2009 |
|---|---|
| Автори: | , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Російська |
| Опубліковано: |
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
2009
|
| Онлайн доступ: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/7950 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Об эффективности вакуумно-дуговых источников плазмы с сепарацией капельной фазы эрозии катода / В.М. Хороших, А.А. Комарь, М.А. Бровина // Физическая инженерия поверхности. — 2009. — Т. 7, № 1-2. — С. 54-59. — Бібліогр.: 17 назв. — рос. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1862711824922705920 |
|---|---|
| author | Хороших, В.М. Комарь, А.А. Бровина, М.А. |
| author_facet | Хороших, В.М. Комарь, А.А. Бровина, М.А. |
| citation_txt | Об эффективности вакуумно-дуговых источников плазмы с сепарацией капельной фазы эрозии катода / В.М. Хороших, А.А. Комарь, М.А. Бровина // Физическая инженерия поверхности. — 2009. — Т. 7, № 1-2. — С. 54-59. — Бібліогр.: 17 назв. — рос. |
| collection | DSpace DC |
| description | Проведен анализ литературных данных по оценкам эффективности плазменных фильтров и выполнены эксперименты по измерениям скорости осаждения покрытий в плазме вакуумной дуги. Результаты анализа литературы и данные измерений свидетельствуют о том, что токовая эффективность плазменных фильтров совпадает с эффективностью использования катодного материала для вакуума ~ 10-^4 Па. При наличии газа в фильтрующих системах токовая эффективность превышает эффективность использования катодного материала. В области давлений газа порядка нескольких Па следует учитывать влияние геометрии и потенциала подложкодежателя на результаты измерений скорости осаждения, необходимых для оценки эффективности использования катодного материала.
Проведено аналіз літературних даних по оцінках ефективності плазмових фільтрів і виконані експерименти по вимірах швидкості осадження покриттів у плазмі вакуумної дуги. Результати аналізу літератури й дані вимірів свідчать про те, що струмова ефективність плазмових фільтрів збігається з ефективністю використання катодного матеріалу для вакууму ~ 10-^4 Па. При наявності газу у фільтруючих системах струмова ефективність перевищує ефективність використання катодного матеріалу. В області тисків газу порядку декількох Па варто враховувати вплив геометрії й потенціалу підкладинки на результати вимірів швидкості осадження, необхідні для оцінки ефективності використання катодного матеріалу.
The literary data analysis is conducted by estimations of efficiency of plasma filters and the experiments are executed on measuring of deposition rate in vacuum-arc plasma. The results of literature analysis and information of measuring testify that current efficiency of plasma filters coincides with efficiency of the use of cathode material for a vacuum ~ 10-^4 Pa. At presence of gas in the filtering systems, current efficiency exceeds efficiency of the use of cathode material. In area of gas presence of about a few Pa it is necessary to take into account influence of substrate geometry and potential on the results of measuring of deposition rate, which is necessary for estimation of cathode material efficiency.
|
| first_indexed | 2025-12-07T17:32:28Z |
| format | Article |
| fulltext | |
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-7950 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 1999-8074 |
| language | Russian |
| last_indexed | 2025-12-07T17:32:28Z |
| publishDate | 2009 |
| publisher | Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Хороших, В.М. Комарь, А.А. Бровина, М.А. 2010-04-22T14:24:28Z 2010-04-22T14:24:28Z 2009 Об эффективности вакуумно-дуговых источников плазмы с сепарацией капельной фазы эрозии катода / В.М. Хороших, А.А. Комарь, М.А. Бровина // Физическая инженерия поверхности. — 2009. — Т. 7, № 1-2. — С. 54-59. — Бібліогр.: 17 назв. — рос. 1999-8074 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/7950 537.525.5 Проведен анализ литературных данных по оценкам эффективности плазменных фильтров и выполнены эксперименты по измерениям скорости осаждения покрытий в плазме вакуумной дуги. Результаты анализа литературы и данные измерений свидетельствуют о том, что токовая эффективность плазменных фильтров совпадает с эффективностью использования катодного материала для вакуума ~ 10-^4 Па. При наличии газа в фильтрующих системах токовая эффективность превышает эффективность использования катодного материала. В области давлений газа порядка нескольких Па следует учитывать влияние геометрии и потенциала подложкодежателя на результаты измерений скорости осаждения, необходимых для оценки эффективности использования катодного материала. Проведено аналіз літературних даних по оцінках ефективності плазмових фільтрів і виконані експерименти по вимірах швидкості осадження покриттів у плазмі вакуумної дуги. Результати аналізу літератури й дані вимірів свідчать про те, що струмова ефективність плазмових фільтрів збігається з ефективністю використання катодного матеріалу для вакууму ~ 10-^4 Па. При наявності газу у фільтруючих системах струмова ефективність перевищує ефективність використання катодного матеріалу. В області тисків газу порядку декількох Па варто враховувати вплив геометрії й потенціалу підкладинки на результати вимірів швидкості осадження, необхідні для оцінки ефективності використання катодного матеріалу. The literary data analysis is conducted by estimations of efficiency of plasma filters and the experiments are executed on measuring of deposition rate in vacuum-arc plasma. The results of literature analysis and information of measuring testify that current efficiency of plasma filters coincides with efficiency of the use of cathode material for a vacuum ~ 10-^4 Pa. At presence of gas in the filtering systems, current efficiency exceeds efficiency of the use of cathode material. In area of gas presence of about a few Pa it is necessary to take into account influence of substrate geometry and potential on the results of measuring of deposition rate, which is necessary for estimation of cathode material efficiency. ru Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України Об эффективности вакуумно-дуговых источников плазмы с сепарацией капельной фазы эрозии катода Про ефективність вакуумно-дугових джерел плазми із сепарацією краплинної фази ерозії катода About efficiency of vacuum-arc plasma sources with separation of drop- phase cathode erosion Article published earlier |
| spellingShingle | Об эффективности вакуумно-дуговых источников плазмы с сепарацией капельной фазы эрозии катода Хороших, В.М. Комарь, А.А. Бровина, М.А. |
| title | Об эффективности вакуумно-дуговых источников плазмы с сепарацией капельной фазы эрозии катода |
| title_alt | Про ефективність вакуумно-дугових джерел плазми із сепарацією краплинної фази ерозії катода About efficiency of vacuum-arc plasma sources with separation of drop- phase cathode erosion |
| title_full | Об эффективности вакуумно-дуговых источников плазмы с сепарацией капельной фазы эрозии катода |
| title_fullStr | Об эффективности вакуумно-дуговых источников плазмы с сепарацией капельной фазы эрозии катода |
| title_full_unstemmed | Об эффективности вакуумно-дуговых источников плазмы с сепарацией капельной фазы эрозии катода |
| title_short | Об эффективности вакуумно-дуговых источников плазмы с сепарацией капельной фазы эрозии катода |
| title_sort | об эффективности вакуумно-дуговых источников плазмы с сепарацией капельной фазы эрозии катода |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/7950 |
| work_keys_str_mv | AT horošihvm obéffektivnostivakuumnodugovyhistočnikovplazmysseparacieikapelʹnoifazyéroziikatoda AT komarʹaa obéffektivnostivakuumnodugovyhistočnikovplazmysseparacieikapelʹnoifazyéroziikatoda AT brovinama obéffektivnostivakuumnodugovyhistočnikovplazmysseparacieikapelʹnoifazyéroziikatoda AT horošihvm proefektivnístʹvakuumnodugovihdžerelplazmiízseparacíêûkraplinnoífazierozííkatoda AT komarʹaa proefektivnístʹvakuumnodugovihdžerelplazmiízseparacíêûkraplinnoífazierozííkatoda AT brovinama proefektivnístʹvakuumnodugovihdžerelplazmiízseparacíêûkraplinnoífazierozííkatoda AT horošihvm aboutefficiencyofvacuumarcplasmasourceswithseparationofdropphasecathodeerosion AT komarʹaa aboutefficiencyofvacuumarcplasmasourceswithseparationofdropphasecathodeerosion AT brovinama aboutefficiencyofvacuumarcplasmasourceswithseparationofdropphasecathodeerosion |