Об эффективности вакуумно-дуговых источников плазмы с сепарацией капельной фазы эрозии катода

• Date: 2009
• Main Authors: Хороших, В.М., Комарь, А.А., Бровина, М.А.
• Format: Article
• Language: Russian
• Published: Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України 2009
• Online Access: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/7950
• Journal Title: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Cite this: Об эффективности вакуумно-дуговых источников плазмы с сепарацией капельной фазы эрозии катода / В.М. Хороших, А.А. Комарь, М.А. Бровина // Физическая инженерия поверхности. — 2009. — Т. 7, № 1-2. — С. 54-59. — Бібліогр.: 17 назв. — рос.

Проведен анализ литературных данных по оценкам эффективности плазменных фильтров и выполнены эксперименты по измерениям скорости осаждения покрытий в плазме вакуумной дуги. Результаты анализа литературы и данные измерений свидетельствуют о том, что токовая эффективность плазменных фильтров совпадает...