Об эффективности вакуумно-дуговых источников плазмы с сепарацией капельной фазы эрозии катода
Проведен анализ литературных данных по оценкам эффективности плазменных фильтров и выполнены эксперименты по измерениям скорости осаждения покрытий в плазме вакуумной дуги. Результаты анализа литературы и данные измерений свидетельствуют о том, что токовая эффективность плазменных фильтров совпадает...
Saved in:
| Date: | 2009 |
|---|---|
| Main Authors: | Хороших, В.М., Комарь, А.А., Бровина, М.А. |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Published: |
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
2009
|
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/7950 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Об эффективности вакуумно-дуговых источников плазмы с сепарацией капельной фазы эрозии катода / В.М. Хороших, А.А. Комарь, М.А. Бровина // Физическая инженерия поверхности. — 2009. — Т. 7, № 1-2. — С. 54-59. — Бібліогр.: 17 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of UkraineSimilar Items
Об эффективности вакуумно-дуговых источников сепарированной плазмы
by: Аксенов, И.И., et al.
Published: (2001)
by: Аксенов, И.И., et al.
Published: (2001)
Капельная фаза эрозии катода стационарной вакуумной дуги
by: Хороших, В.М.
Published: (2004)
by: Хороших, В.М.
Published: (2004)
Статистический анализ капельной фракции взрывоэмиссионного катода
by: Коляда, Ю.Е., et al.
Published: (2006)
by: Коляда, Ю.Е., et al.
Published: (2006)
Динамика поведения капельной фазы в плазменных потоках, формирующихся в разрядных промежутках вакуумно-дуговых разрядов с рабочим газом аргоном
by: Свавильный, Н.Е.
Published: (2016)
by: Свавильный, Н.Е.
Published: (2016)
Катоды из ферромагнетиков в вакуумно-дуговых источниках плазмы
by: Аксёнов, Д.С., et al.
Published: (2009)
by: Аксёнов, Д.С., et al.
Published: (2009)
Подавление эмиссии макрочастиц в вакуумно-дуговых источниках плазмы
by: Аксёнов, Д.С., et al.
Published: (2007)
by: Аксёнов, Д.С., et al.
Published: (2007)
Энергоэкологические аспекты применения роторных гидродинамических парогенераторов с внутренней сепарацией паровой фазы
by: Горпинко, Ю.И., et al.
Published: (2011)
by: Горпинко, Ю.И., et al.
Published: (2011)
Структура и свойства нитридных покрытий, осажденных из фильтрованной вакуумно-дуговой плазмы с использованием порошкового катода Cr₀,₅Al₀,₅
by: Васильев, В.В., et al.
Published: (2016)
by: Васильев, В.В., et al.
Published: (2016)
Эрозия вакуумно-дуговых TiN покрытий и нержавеющей стали при воздействии стационарной плазмы разрядов магнетронного типа
by: Глазунов, Г.П., et al.
Published: (2011)
by: Глазунов, Г.П., et al.
Published: (2011)
Осаждение сверхтвердых вакуумно-дуговых TiN покрытий
by: Андреев, А.А., et al.
Published: (2006)
by: Андреев, А.А., et al.
Published: (2006)
Получение вакуумно-дуговых высокотвердых Mo-N покрытий
by: Андреев, А.А., et al.
Published: (2011)
by: Андреев, А.А., et al.
Published: (2011)
Магнитоуправляемый вакуумно-дуговой источник плазмы
by: Аксёнов, И.И., et al.
Published: (2009)
by: Аксёнов, И.И., et al.
Published: (2009)
Структура и твердость вакуумно-дуговых конденсатов титана и некоторых сплавов на его основе, полученных из несепарированных потоков плазмы
by: Демчишин, А.В., et al.
Published: (2010)
by: Демчишин, А.В., et al.
Published: (2010)
Двухкатодный источник фильтрованной вакуумно-дуговой плазмы
by: Аксенов, И.И., et al.
Published: (2008)
by: Аксенов, И.И., et al.
Published: (2008)
Формирование вакуумно-дуговых нитридных покрытий на основе молибдена, содержащих серу
by: Андреев, А.А., et al.
Published: (2003)
by: Андреев, А.А., et al.
Published: (2003)
Исследование изменения структуры материала электродов плазменно-дуговых источников нагрева
by: Шаповалов, В.А., et al.
Published: (2009)
by: Шаповалов, В.А., et al.
Published: (2009)
Программно-аппаратный комплекс для оптимизации транспортирующих свойств вакуумно-дуговых фильтров
by: Аксёнов, Д.С., et al.
Published: (2016)
by: Аксёнов, Д.С., et al.
Published: (2016)
Транспортировка вакуумно-дуговой плазмы в неоднородном магнитном поле
by: Аксенов, И.И., et al.
Published: (2005)
by: Аксенов, И.И., et al.
Published: (2005)
Эрозия катода и расход массы катодного материала в стационарной дуге низкого давления
by: Хороших, В.М.
Published: (2004)
by: Хороших, В.М.
Published: (2004)
Характиристики вакуумно-дуговых покрытий из чередующихся слоев TiN/ TiNCu
by: Лунёв, В.М., et al.
Published: (2011)
by: Лунёв, В.М., et al.
Published: (2011)
О влиянии атомарного азота на процесс синтеза вакуумно-дуговых покрытий Mо-N
by: Шулаев, В.М., et al.
Published: (2007)
by: Шулаев, В.М., et al.
Published: (2007)
Структура и механические свойства вакуумно-дуговых многослойных конденсатов нитридов титана и его сплавов
by: Демчишин, А.В., et al.
Published: (2014)
by: Демчишин, А.В., et al.
Published: (2014)
Технологический источник плазмы с комбинированной системой возбуждения вакуумно-дугового разряда
by: Сысоев, Ю.А.
Published: (2013)
by: Сысоев, Ю.А.
Published: (2013)
Подготовка поверхности подложек перед нанесением вакуумно-дуговых покрытий бомбардировкой ионами титана и циркония
by: Столбовой, В.А., et al.
Published: (2011)
by: Столбовой, В.А., et al.
Published: (2011)
Механические свойства и эрозионная стойкость вакуумно-дуговых покрытий (Ti, Al)N, модифицированных иттрием
by: Васильев, В.В., et al.
Published: (2011)
by: Васильев, В.В., et al.
Published: (2011)
Особенности использования рентгеновского флуоресцентного анализа для определения состава вакуумно-дуговых покрытий нитридов
by: Решетняк, Е.Н.
Published: (2013)
by: Решетняк, Е.Н.
Published: (2013)
Прочность поверхностных слоев цирконииевых сплавов и вакуумно-дуговых покрытий при микроударном воздействии
by: Коваленко, В.И., et al.
Published: (2008)
by: Коваленко, В.И., et al.
Published: (2008)
О давлении плазмы при вакуумно-дуговом разряде на металлах
by: Павлов, В.С.
Published: (2009)
by: Павлов, В.С.
Published: (2009)
Вакуумно-дуговые источники эрозионной плазмы с магнитными фильтрами. Обзор
by: Аксёнов, Д.С., et al.
Published: (2007)
by: Аксёнов, Д.С., et al.
Published: (2007)
Трибологические характеристики и механические свойства многослойных вакуумно-дуговых покрытий TiN/ZrN
by: Гранкин, С.С., et al.
Published: (2015)
by: Гранкин, С.С., et al.
Published: (2015)
Модернизация вакуумно-дуговых установок для синтеза покрытий и азотирования методом ионной имплантации и осаждения
by: Шулаев, В.М., et al.
Published: (2006)
by: Шулаев, В.М., et al.
Published: (2006)
Исследование фазового состава, структуры и свойств многослойных вакуумно-дуговых нанокристаллических покрытий Ti-Mo-N
by: Андреев, А.А., et al.
Published: (2010)
by: Андреев, А.А., et al.
Published: (2010)
Вакуумно-дуговое осаждение наноструктурных Ti-Si-N покрытий из многокомпонентной плазмы
by: Шулаев, В.М., et al.
Published: (2008)
by: Шулаев, В.М., et al.
Published: (2008)
Сопоставление характеристик вакуумно-дуговых наноструктурных TiN покрытий, осаждаемых при подаче на подложку высоковольтных импульсов
by: Шулаев, В.М., et al.
Published: (2007)
by: Шулаев, В.М., et al.
Published: (2007)
Твердые покрытия Ti-Al-N, осажденные из фильтрованной вакуумно-дуговой плазмы
by: Белоус, В.А., et al.
Published: (2009)
by: Белоус, В.А., et al.
Published: (2009)
Использование импульсной ионной стимуляции для модификации структурно-напряжённого состояния и механических свойств вакуумно-дуговых TiN-покрытий
by: Андреев, А.А., et al.
Published: (2013)
by: Андреев, А.А., et al.
Published: (2013)
Потоки плазмы стационарной дуги низкого давления
by: Хороших, В.М.
Published: (2005)
by: Хороших, В.М.
Published: (2005)
Оценка энергетической эффективности импульсных источников электронов высоковольтного тлеющего разряда с учетом электродных процессов и параметров анодной плазмы
by: Мельник, И.В.
Published: (2016)
by: Мельник, И.В.
Published: (2016)
Определение эффективности различных источников инвестирования
by: Храпко, В.
Published: (2012)
by: Храпко, В.
Published: (2012)
Влияние способа нанесения вакуумно-дуговых TiN покрытий на их газовыделение в вакууме при высоких температурах
by: Глазунов, Г.П., et al.
Published: (2009)
by: Глазунов, Г.П., et al.
Published: (2009)
Similar Items
-
Об эффективности вакуумно-дуговых источников сепарированной плазмы
by: Аксенов, И.И., et al.
Published: (2001) -
Капельная фаза эрозии катода стационарной вакуумной дуги
by: Хороших, В.М.
Published: (2004) -
Статистический анализ капельной фракции взрывоэмиссионного катода
by: Коляда, Ю.Е., et al.
Published: (2006) -
Динамика поведения капельной фазы в плазменных потоках, формирующихся в разрядных промежутках вакуумно-дуговых разрядов с рабочим газом аргоном
by: Свавильный, Н.Е.
Published: (2016) -
Катоды из ферромагнетиков в вакуумно-дуговых источниках плазмы
by: Аксёнов, Д.С., et al.
Published: (2009)