Определение атомной структуры поверхности тонких пленок в методе молекулярной динамики

• Published in: Вопросы атомной науки и техники
• Date: 2004
• Main Authors: Марченко, И.Г., Марченко, И.И., Неклюдов, И.М.
• Format: Article
• Language: Russian
• Published: Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2004
• Subjects: Физика радиационных повреждений и явлений в твердых телах
• Online Access: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/79542
• Journal Title: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Cite this: Определение атомной структуры поверхности тонких пленок в методе молекулярной динамики / И.Г. Марченко, И.И. Марченко, И.М. Неклюдов // Вопросы атомной науки и техники. — 2004. — № 3. — С. 26-30. — Бібліогр.: 8 назв. — рос.

Разработан алгоритм определения поверхностных атомов в сильноискаженных структурах. Методом молекулярной динамики (ММД) исследован рост пленок ниобия при вакуумном осаждении. Предложенный алгоритм использован для определения шероховатости осаждаемой пленки и характеристик образующихся внутренних п...