Радиальная структура продольного комбинированного разряда в SF6

• Datum: 2009
• Hauptverfasser: Лисовский, В.А., Харченко, Н.Д.
• Format: Artikel
• Sprache: Russian
• Veröffentlicht: Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України 2009
• Online Zugang: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/7981
• Назва журналу: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Zitieren: Радиальная структура продольного комбинированного разряда в SF6 / В.А. Лисовский, Н.Д. Харченко // Физическая инженерия поверхности. — 2009. — Т. 7, № 3. — С. 204-209. — Бібліогр.: 9 назв. — рос.

Данная работа посвящена экспериментальному изучению влияния высокочастотного электрического поля на радиальные зависимости плотности тока ионов разряда постоянного тока, а также постоянного напряжения на радиальные зависимости плотности тока высокочастотного разряда. В разрядной камере, содержащей э...