Вакуумно-дуговой синтез алмазоподобных пленок: история, последние разработки, применение, перспективы
Дійсна робота являє собою короткий огляд результатів досліджень і розробок, виконаних у ННЦ ХФТІ в області синтезу а-С плівок вакуумно-дуговим методом. Розглянуто основні результати розробок ключових вузлів технологічного устаткування – плазмових джерел з магнітними фільтрами. Приведено дані про с...
Gespeichert in:
| Datum: | 2002 |
|---|---|
| 1. Verfasser: | |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | Russian |
| Veröffentlicht: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2002
|
| Schriftenreihe: | Вопросы атомной науки и техники |
| Schlagworte: | |
| Online Zugang: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/80156 |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Zitieren: | Вакуумно-дуговой синтез алмазоподобных пленок: история, последние разработки, применение, перспективы / В.Е. Стрельницкий // Вопросы атомной науки и техники. — 2002. — № 6. — С. 125-133. — Бібліогр.: 97 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| Zusammenfassung: | Дійсна робота являє собою короткий огляд результатів досліджень і розробок, виконаних у ННЦ ХФТІ в області
синтезу а-С плівок вакуумно-дуговим методом. Розглянуто основні результати розробок ключових вузлів
технологічного устаткування – плазмових джерел з магнітними фільтрами. Приведено дані про структуру, фізико-
механічні властивості та службові характеристики одержуваних плівок. Повідомляються зведення про застосування а-С
плівок (покрить) у даний час, дана оцінка потенційних можливостей і перспектив практичного застосування вакуумно-
дугового методу синтезу алмазоподібних вуглецевих плівок. |
|---|