Влияние добавки аргона в водородометановую смесь на синтез алмазоподобного покрытия в тлеющем разряде, стабилизированном магнитным полем

• Published in: Вопросы атомной науки и техники
• Date: 2002
• Main Authors: Пашнев, В.К., Стрельницкий, В.Е., Опалев, О.А., Грицина, В.И., Выровец, И.И., Бизюков, Ю.А., Крышталь, П.Г., Колупаева, З.И.
• Format: Article
• Language: Russian
• Published: Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2002
• Subjects: Физика радиационных и ионно-плазменных технологий
• Online Access: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/80157
• Journal Title: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Cite this: Влияние добавки аргона в водородометановую смесь на синтез алмазоподобного покрытия в тлеющем разряде, стабилизированном магнитным полем / В.К. Пашнев, В.Е. Стрельницкий, О.А. Опалев, В.И. Грицина, И.И. Выровец, Ю.А. Бизюков, П.Г. Крышталь, З.И. Колупаева // Вопросы атомной науки и техники. — 2002. — № 6. — С. 134-138. — Бібліогр.: 6 назв. — рос.

У роботі приводяться результати дослідження параметрів тліючого розряду, стабілізованого магнітним полем, призначеного для синтезу алмазних покриттів з газової фази при використанні різних робочих газів. Показано, що в таких розрядах катодне падіння потенціалу досягає 700 В, що помітно перевищує...