Журавлев, А., Глушко, П., Капустин, В., Семенов, Н., Хованский, Н., Шеремет, В., & Широков, Б. (2006). Исследование процесса совместного осаждения кремний-германиевых сплавов водородным восстановлением хлоридов кремния и германия. Вопросы атомной науки и техники.
Chicago Style (17th ed.) CitationЖуравлев, А.Ю, П.И Глушко, В.Л Капустин, Н.А Семенов, Н.А Хованский, В.И Шеремет, and Б.М Широков. "Исследование процесса совместного осаждения кремний-германиевых сплавов водородным восстановлением хлоридов кремния и германия." Вопросы атомной науки и техники 2006.
MLA (8th ed.) CitationЖуравлев, А.Ю, et al. "Исследование процесса совместного осаждения кремний-германиевых сплавов водородным восстановлением хлоридов кремния и германия." Вопросы атомной науки и техники, 2006.