Исследование процесса совместного осаждения кремний-германиевых сплавов водородным восстановлением хлоридов кремния и германия

Исследование процесса совместного осаждения кремний-германиевых сплавов водородным восстановлением хлоридов кремния и германия

Методом совместного газофазного осаждения при пониженном давлении получены плотные поликристаллические конденсаты Si-Ge-сплавов с концентрацией германия 5…30%, предназначенные для использования в качестве материалов для термоэлектрических преобразователей энергии. Исследована кинетика осаждения Si-G...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Вопросы атомной науки и техники
Datum:2006
Hauptverfasser: Журавлев, А.Ю., Глушко, П.И., Капустин, В.Л., Семенов, Н.А., Хованский, Н.А., Шеремет, В.И., Широков, Б.М.
Format: Artikel
Sprache:Russian
Veröffentlicht: Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2006
Schlagworte:
Краткие сообщения
Online Zugang:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/80342
Tags: Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Zitieren:Исследование процесса совместного осаждения кремний-германиевых сплавов водородным восстановлением хлоридов кремния и германия / А.Ю. Журавлев, П.И. Глушко, В.Л. Капустин, Н.А. Семенов, Н.А. Хованский, В.И. Шеремет, Б.М. Широков // Вопросы атомной науки и техники. — 2006. — № 4. — С. 241-242. — Бібліогр.: 4 назв. — рос.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
id nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-80342
record_format dspace
spelling Журавлев, А.Ю.
Глушко, П.И.
Капустин, В.Л.
Семенов, Н.А.
Хованский, Н.А.
Шеремет, В.И.
Широков, Б.М.
2015-04-16T05:47:05Z
2015-04-16T05:47:05Z
2006
Исследование процесса совместного осаждения кремний-германиевых сплавов водородным восстановлением хлоридов кремния и германия / А.Ю. Журавлев, П.И. Глушко, В.Л. Капустин, Н.А. Семенов, Н.А. Хованский, В.И. Шеремет, Б.М. Широков // Вопросы атомной науки и техники. — 2006. — № 4. — С. 241-242. — Бібліогр.: 4 назв. — рос.
1562-6016
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/80342
669.094.54:661.87.621:661.668
Методом совместного газофазного осаждения при пониженном давлении получены плотные поликристаллические конденсаты Si-Ge-сплавов с концентрацией германия 5…30%, предназначенные для использования в качестве материалов для термоэлектрических преобразователей энергии. Исследована кинетика осаждения Si-Ge-сплавов. Присутствие небольших добавок германия интенсифицирует процесс осаждения кремния. Определение концентрации германия проводилось ядерно-физическим методом. Микрорентгеноспектральные исследования равномерности осаждения свидетельствуют о высокой гомогенности полученных сплавов
Методом сумісного газофазного осадження при пониженому тиску одержано щільні полікристалічні конденсати Si-Ge-сплавів з концентрацією германію від 5 до 30 %, для використання в якості матеріалів для термоелектричних перетворювачів енергії. Досліджено кінетику осадження Si-Ge-сплавів. Присутність невеликих добавок германію интенсифікує процес осадження кремнію. Визначення концентрації германію проводилось ядерно-фізичним методом. Мікрорентгеноспектральні дослідження рівномірності осадження засвідчили високу гомогенність одержаних сплавів.
Dense polycrystallic condensates of Si-Ge alloys were grown by low pressure CVD intended for usage as materials for thermoelectric energy converters. The kinetics of a Si-Ge deposition is researched. The presence of the small amounts of germanium intensifies the process of a silicon deposition. The determination of germanium concentration in the samples was made via the nuclear physics technique. The examination, made in the microanalyzer, attested to a high homogeneity of the Si-Ge condensates.
ru
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
Вопросы атомной науки и техники
Краткие сообщения
Исследование процесса совместного осаждения кремний-германиевых сплавов водородным восстановлением хлоридов кремния и германия
Дослідження процесу сумісного осадження кремній-германієвих сплавів водневим відновленням хлоридів кремнію і германію
A study on the process of simultaneous deposition of Si-Ge alloys via hydrogen reduction of silicon and germanium chlorides
Article
published earlier
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection DSpace DC
title Исследование процесса совместного осаждения кремний-германиевых сплавов водородным восстановлением хлоридов кремния и германия
spellingShingle Исследование процесса совместного осаждения кремний-германиевых сплавов водородным восстановлением хлоридов кремния и германия
Журавлев, А.Ю.
Глушко, П.И.
Капустин, В.Л.
Семенов, Н.А.
Хованский, Н.А.
Шеремет, В.И.
Широков, Б.М.
Краткие сообщения
title_short Исследование процесса совместного осаждения кремний-германиевых сплавов водородным восстановлением хлоридов кремния и германия
title_full Исследование процесса совместного осаждения кремний-германиевых сплавов водородным восстановлением хлоридов кремния и германия
title_fullStr Исследование процесса совместного осаждения кремний-германиевых сплавов водородным восстановлением хлоридов кремния и германия
title_full_unstemmed Исследование процесса совместного осаждения кремний-германиевых сплавов водородным восстановлением хлоридов кремния и германия
title_sort исследование процесса совместного осаждения кремний-германиевых сплавов водородным восстановлением хлоридов кремния и германия
author Журавлев, А.Ю.
Глушко, П.И.
Капустин, В.Л.
Семенов, Н.А.
Хованский, Н.А.
Шеремет, В.И.
Широков, Б.М.
author_facet Журавлев, А.Ю.
Глушко, П.И.
Капустин, В.Л.
Семенов, Н.А.
Хованский, Н.А.
Шеремет, В.И.
Широков, Б.М.
topic Краткие сообщения
topic_facet Краткие сообщения
publishDate 2006
language Russian
container_title Вопросы атомной науки и техники
publisher Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
format Article
title_alt Дослідження процесу сумісного осадження кремній-германієвих сплавів водневим відновленням хлоридів кремнію і германію
A study on the process of simultaneous deposition of Si-Ge alloys via hydrogen reduction of silicon and germanium chlorides
description Методом совместного газофазного осаждения при пониженном давлении получены плотные поликристаллические конденсаты Si-Ge-сплавов с концентрацией германия 5…30%, предназначенные для использования в качестве материалов для термоэлектрических преобразователей энергии. Исследована кинетика осаждения Si-Ge-сплавов. Присутствие небольших добавок германия интенсифицирует процесс осаждения кремния. Определение концентрации германия проводилось ядерно-физическим методом. Микрорентгеноспектральные исследования равномерности осаждения свидетельствуют о высокой гомогенности полученных сплавов Методом сумісного газофазного осадження при пониженому тиску одержано щільні полікристалічні конденсати Si-Ge-сплавів з концентрацією германію від 5 до 30 %, для використання в якості матеріалів для термоелектричних перетворювачів енергії. Досліджено кінетику осадження Si-Ge-сплавів. Присутність невеликих добавок германію интенсифікує процес осадження кремнію. Визначення концентрації германію проводилось ядерно-фізичним методом. Мікрорентгеноспектральні дослідження рівномірності осадження засвідчили високу гомогенність одержаних сплавів. Dense polycrystallic condensates of Si-Ge alloys were grown by low pressure CVD intended for usage as materials for thermoelectric energy converters. The kinetics of a Si-Ge deposition is researched. The presence of the small amounts of germanium intensifies the process of a silicon deposition. The determination of germanium concentration in the samples was made via the nuclear physics technique. The examination, made in the microanalyzer, attested to a high homogeneity of the Si-Ge condensates.
issn 1562-6016
url https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/80342
citation_txt Исследование процесса совместного осаждения кремний-германиевых сплавов водородным восстановлением хлоридов кремния и германия / А.Ю. Журавлев, П.И. Глушко, В.Л. Капустин, Н.А. Семенов, Н.А. Хованский, В.И. Шеремет, Б.М. Широков // Вопросы атомной науки и техники. — 2006. — № 4. — С. 241-242. — Бібліогр.: 4 назв. — рос.
work_keys_str_mv AT žuravlevaû issledovanieprocessasovmestnogoosaždeniâkremniigermanievyhsplavovvodorodnymvosstanovleniemhloridovkremniâigermaniâ
AT gluškopi issledovanieprocessasovmestnogoosaždeniâkremniigermanievyhsplavovvodorodnymvosstanovleniemhloridovkremniâigermaniâ
AT kapustinvl issledovanieprocessasovmestnogoosaždeniâkremniigermanievyhsplavovvodorodnymvosstanovleniemhloridovkremniâigermaniâ
AT semenovna issledovanieprocessasovmestnogoosaždeniâkremniigermanievyhsplavovvodorodnymvosstanovleniemhloridovkremniâigermaniâ
AT hovanskiina issledovanieprocessasovmestnogoosaždeniâkremniigermanievyhsplavovvodorodnymvosstanovleniemhloridovkremniâigermaniâ
AT šeremetvi issledovanieprocessasovmestnogoosaždeniâkremniigermanievyhsplavovvodorodnymvosstanovleniemhloridovkremniâigermaniâ
AT širokovbm issledovanieprocessasovmestnogoosaždeniâkremniigermanievyhsplavovvodorodnymvosstanovleniemhloridovkremniâigermaniâ
AT žuravlevaû doslídžennâprocesusumísnogoosadžennâkremníigermaníêvihsplavívvodnevimvídnovlennâmhloridívkremníûígermaníû
AT gluškopi doslídžennâprocesusumísnogoosadžennâkremníigermaníêvihsplavívvodnevimvídnovlennâmhloridívkremníûígermaníû
AT kapustinvl doslídžennâprocesusumísnogoosadžennâkremníigermaníêvihsplavívvodnevimvídnovlennâmhloridívkremníûígermaníû
AT semenovna doslídžennâprocesusumísnogoosadžennâkremníigermaníêvihsplavívvodnevimvídnovlennâmhloridívkremníûígermaníû
AT hovanskiina doslídžennâprocesusumísnogoosadžennâkremníigermaníêvihsplavívvodnevimvídnovlennâmhloridívkremníûígermaníû
AT šeremetvi doslídžennâprocesusumísnogoosadžennâkremníigermaníêvihsplavívvodnevimvídnovlennâmhloridívkremníûígermaníû
AT širokovbm doslídžennâprocesusumísnogoosadžennâkremníigermaníêvihsplavívvodnevimvídnovlennâmhloridívkremníûígermaníû
AT žuravlevaû astudyontheprocessofsimultaneousdepositionofsigealloysviahydrogenreductionofsiliconandgermaniumchlorides
AT gluškopi astudyontheprocessofsimultaneousdepositionofsigealloysviahydrogenreductionofsiliconandgermaniumchlorides
AT kapustinvl astudyontheprocessofsimultaneousdepositionofsigealloysviahydrogenreductionofsiliconandgermaniumchlorides
AT semenovna astudyontheprocessofsimultaneousdepositionofsigealloysviahydrogenreductionofsiliconandgermaniumchlorides
AT hovanskiina astudyontheprocessofsimultaneousdepositionofsigealloysviahydrogenreductionofsiliconandgermaniumchlorides
AT šeremetvi astudyontheprocessofsimultaneousdepositionofsigealloysviahydrogenreductionofsiliconandgermaniumchlorides
AT širokovbm astudyontheprocessofsimultaneousdepositionofsigealloysviahydrogenreductionofsiliconandgermaniumchlorides
first_indexed 2025-12-07T20:58:51Z
last_indexed 2025-12-07T20:58:51Z
_version_ 1850884627322896384

Ähnliche Einträge