Исследование процесса совместного осаждения кремний-германиевых сплавов водородным восстановлением хлоридов кремния и германия
Методом совместного газофазного осаждения при пониженном давлении получены плотные поликристаллические конденсаты Si-Ge-сплавов с концентрацией германия 5…30%, предназначенные для использования в качестве материалов для термоэлектрических преобразователей энергии. Исследована кинетика осаждения Si-G...
Saved in:
| Published in: | Вопросы атомной науки и техники |
|---|---|
| Date: | 2006 |
| Main Authors: | , , , , , , |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Published: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2006
|
| Subjects: | |
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/80342 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Исследование процесса совместного осаждения кремний-германиевых сплавов водородным восстановлением хлоридов кремния и германия / А.Ю. Журавлев, П.И. Глушко, В.Л. Капустин, Н.А. Семенов, Н.А. Хованский,
 В.И. Шеремет, Б.М. Широков // Вопросы атомной науки и техники. — 2006. — № 4. — С. 241-242. — Бібліогр.: 4 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1862749067497439232 |
|---|---|
| author | Журавлев, А.Ю. Глушко, П.И. Капустин, В.Л. Семенов, Н.А. Хованский, Н.А. Шеремет, В.И. Широков, Б.М. |
| author_facet | Журавлев, А.Ю. Глушко, П.И. Капустин, В.Л. Семенов, Н.А. Хованский, Н.А. Шеремет, В.И. Широков, Б.М. |
| citation_txt | Исследование процесса совместного осаждения кремний-германиевых сплавов водородным восстановлением хлоридов кремния и германия / А.Ю. Журавлев, П.И. Глушко, В.Л. Капустин, Н.А. Семенов, Н.А. Хованский,
 В.И. Шеремет, Б.М. Широков // Вопросы атомной науки и техники. — 2006. — № 4. — С. 241-242. — Бібліогр.: 4 назв. — рос. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Вопросы атомной науки и техники |
| description | Методом совместного газофазного осаждения при пониженном давлении получены плотные поликристаллические конденсаты Si-Ge-сплавов с концентрацией германия 5…30%, предназначенные для использования в качестве материалов для термоэлектрических преобразователей энергии. Исследована кинетика осаждения Si-Ge-сплавов. Присутствие небольших добавок германия интенсифицирует процесс осаждения кремния. Определение концентрации германия проводилось ядерно-физическим методом. Микрорентгеноспектральные исследования равномерности осаждения свидетельствуют о высокой гомогенности полученных сплавов
Методом сумісного газофазного осадження при пониженому тиску одержано щільні полікристалічні конденсати Si-Ge-сплавів з концентрацією германію від 5 до 30 %, для використання в якості матеріалів для термоелектричних перетворювачів енергії. Досліджено кінетику осадження Si-Ge-сплавів. Присутність невеликих добавок германію интенсифікує процес осадження кремнію. Визначення концентрації германію проводилось ядерно-фізичним методом. Мікрорентгеноспектральні дослідження рівномірності осадження засвідчили високу гомогенність одержаних сплавів.
Dense polycrystallic condensates of Si-Ge alloys were grown by low pressure CVD intended for usage as materials for thermoelectric energy converters.
The kinetics of a Si-Ge deposition is researched. The presence of the small amounts of germanium intensifies the process of a silicon deposition.
The determination of germanium concentration in the samples was made via the nuclear physics technique. The examination, made in the microanalyzer,
attested to a high homogeneity of the Si-Ge condensates.
|
| first_indexed | 2025-12-07T20:58:51Z |
| format | Article |
| fulltext | |
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-80342 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 1562-6016 |
| language | Russian |
| last_indexed | 2025-12-07T20:58:51Z |
| publishDate | 2006 |
| publisher | Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Журавлев, А.Ю. Глушко, П.И. Капустин, В.Л. Семенов, Н.А. Хованский, Н.А. Шеремет, В.И. Широков, Б.М. 2015-04-16T05:47:05Z 2015-04-16T05:47:05Z 2006 Исследование процесса совместного осаждения кремний-германиевых сплавов водородным восстановлением хлоридов кремния и германия / А.Ю. Журавлев, П.И. Глушко, В.Л. Капустин, Н.А. Семенов, Н.А. Хованский,
 В.И. Шеремет, Б.М. Широков // Вопросы атомной науки и техники. — 2006. — № 4. — С. 241-242. — Бібліогр.: 4 назв. — рос. 1562-6016 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/80342 669.094.54:661.87.621:661.668 Методом совместного газофазного осаждения при пониженном давлении получены плотные поликристаллические конденсаты Si-Ge-сплавов с концентрацией германия 5…30%, предназначенные для использования в качестве материалов для термоэлектрических преобразователей энергии. Исследована кинетика осаждения Si-Ge-сплавов. Присутствие небольших добавок германия интенсифицирует процесс осаждения кремния. Определение концентрации германия проводилось ядерно-физическим методом. Микрорентгеноспектральные исследования равномерности осаждения свидетельствуют о высокой гомогенности полученных сплавов Методом сумісного газофазного осадження при пониженому тиску одержано щільні полікристалічні конденсати Si-Ge-сплавів з концентрацією германію від 5 до 30 %, для використання в якості матеріалів для термоелектричних перетворювачів енергії. Досліджено кінетику осадження Si-Ge-сплавів. Присутність невеликих добавок германію интенсифікує процес осадження кремнію. Визначення концентрації германію проводилось ядерно-фізичним методом. Мікрорентгеноспектральні дослідження рівномірності осадження засвідчили високу гомогенність одержаних сплавів. Dense polycrystallic condensates of Si-Ge alloys were grown by low pressure CVD intended for usage as materials for thermoelectric energy converters.
 The kinetics of a Si-Ge deposition is researched. The presence of the small amounts of germanium intensifies the process of a silicon deposition.
 The determination of germanium concentration in the samples was made via the nuclear physics technique. The examination, made in the microanalyzer,
 attested to a high homogeneity of the Si-Ge condensates. ru Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України Вопросы атомной науки и техники Краткие сообщения Исследование процесса совместного осаждения кремний-германиевых сплавов водородным восстановлением хлоридов кремния и германия Дослідження процесу сумісного осадження кремній-германієвих сплавів водневим відновленням хлоридів кремнію і германію A study on the process of simultaneous deposition of Si-Ge alloys via hydrogen reduction of silicon and germanium chlorides Article published earlier |
| spellingShingle | Исследование процесса совместного осаждения кремний-германиевых сплавов водородным восстановлением хлоридов кремния и германия Журавлев, А.Ю. Глушко, П.И. Капустин, В.Л. Семенов, Н.А. Хованский, Н.А. Шеремет, В.И. Широков, Б.М. Краткие сообщения |
| title | Исследование процесса совместного осаждения кремний-германиевых сплавов водородным восстановлением хлоридов кремния и германия |
| title_alt | Дослідження процесу сумісного осадження кремній-германієвих сплавів водневим відновленням хлоридів кремнію і германію A study on the process of simultaneous deposition of Si-Ge alloys via hydrogen reduction of silicon and germanium chlorides |
| title_full | Исследование процесса совместного осаждения кремний-германиевых сплавов водородным восстановлением хлоридов кремния и германия |
| title_fullStr | Исследование процесса совместного осаждения кремний-германиевых сплавов водородным восстановлением хлоридов кремния и германия |
| title_full_unstemmed | Исследование процесса совместного осаждения кремний-германиевых сплавов водородным восстановлением хлоридов кремния и германия |
| title_short | Исследование процесса совместного осаждения кремний-германиевых сплавов водородным восстановлением хлоридов кремния и германия |
| title_sort | исследование процесса совместного осаждения кремний-германиевых сплавов водородным восстановлением хлоридов кремния и германия |
| topic | Краткие сообщения |
| topic_facet | Краткие сообщения |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/80342 |
| work_keys_str_mv | AT žuravlevaû issledovanieprocessasovmestnogoosaždeniâkremniigermanievyhsplavovvodorodnymvosstanovleniemhloridovkremniâigermaniâ AT gluškopi issledovanieprocessasovmestnogoosaždeniâkremniigermanievyhsplavovvodorodnymvosstanovleniemhloridovkremniâigermaniâ AT kapustinvl issledovanieprocessasovmestnogoosaždeniâkremniigermanievyhsplavovvodorodnymvosstanovleniemhloridovkremniâigermaniâ AT semenovna issledovanieprocessasovmestnogoosaždeniâkremniigermanievyhsplavovvodorodnymvosstanovleniemhloridovkremniâigermaniâ AT hovanskiina issledovanieprocessasovmestnogoosaždeniâkremniigermanievyhsplavovvodorodnymvosstanovleniemhloridovkremniâigermaniâ AT šeremetvi issledovanieprocessasovmestnogoosaždeniâkremniigermanievyhsplavovvodorodnymvosstanovleniemhloridovkremniâigermaniâ AT širokovbm issledovanieprocessasovmestnogoosaždeniâkremniigermanievyhsplavovvodorodnymvosstanovleniemhloridovkremniâigermaniâ AT žuravlevaû doslídžennâprocesusumísnogoosadžennâkremníigermaníêvihsplavívvodnevimvídnovlennâmhloridívkremníûígermaníû AT gluškopi doslídžennâprocesusumísnogoosadžennâkremníigermaníêvihsplavívvodnevimvídnovlennâmhloridívkremníûígermaníû AT kapustinvl doslídžennâprocesusumísnogoosadžennâkremníigermaníêvihsplavívvodnevimvídnovlennâmhloridívkremníûígermaníû AT semenovna doslídžennâprocesusumísnogoosadžennâkremníigermaníêvihsplavívvodnevimvídnovlennâmhloridívkremníûígermaníû AT hovanskiina doslídžennâprocesusumísnogoosadžennâkremníigermaníêvihsplavívvodnevimvídnovlennâmhloridívkremníûígermaníû AT šeremetvi doslídžennâprocesusumísnogoosadžennâkremníigermaníêvihsplavívvodnevimvídnovlennâmhloridívkremníûígermaníû AT širokovbm doslídžennâprocesusumísnogoosadžennâkremníigermaníêvihsplavívvodnevimvídnovlennâmhloridívkremníûígermaníû AT žuravlevaû astudyontheprocessofsimultaneousdepositionofsigealloysviahydrogenreductionofsiliconandgermaniumchlorides AT gluškopi astudyontheprocessofsimultaneousdepositionofsigealloysviahydrogenreductionofsiliconandgermaniumchlorides AT kapustinvl astudyontheprocessofsimultaneousdepositionofsigealloysviahydrogenreductionofsiliconandgermaniumchlorides AT semenovna astudyontheprocessofsimultaneousdepositionofsigealloysviahydrogenreductionofsiliconandgermaniumchlorides AT hovanskiina astudyontheprocessofsimultaneousdepositionofsigealloysviahydrogenreductionofsiliconandgermaniumchlorides AT šeremetvi astudyontheprocessofsimultaneousdepositionofsigealloysviahydrogenreductionofsiliconandgermaniumchlorides AT širokovbm astudyontheprocessofsimultaneousdepositionofsigealloysviahydrogenreductionofsiliconandgermaniumchlorides |