Зображення обкладинки

Исследование процесса совместного осаждения кремний-германиевых сплавов водородным восстановлением хлоридов кремния и германия

Методом совместного газофазного осаждения при пониженном давлении получены плотные поликристаллические конденсаты Si-Ge-сплавов с концентрацией германия 5…30%, предназначенные для использования в качестве материалов для термоэлектрических преобразователей энергии. Исследована кинетика осаждения Si-G...

Повний опис

Збережено в:

Бібліографічні деталі
Опубліковано в: :	Вопросы атомной науки и техники
Дата:	2006
Автори:	Журавлев, А.Ю., Глушко, П.И., Капустин, В.Л., Семенов, Н.А., Хованский, Н.А., Шеремет, В.И., Широков, Б.М.
Формат:	Стаття
Мова:	Російська
Опубліковано:	Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2006
Теми:	Краткие сообщения
Онлайн доступ:	https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/80342
Теги:	Додати тег Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:	Исследование процесса совместного осаждения кремний-германиевых сплавов водородным восстановлением хлоридов кремния и германия / А.Ю. Журавлев, П.И. Глушко, В.Л. Капустин, Н.А. Семенов, Н.А. Хованский, В.И. Шеремет, Б.М. Широков // Вопросы атомной науки и техники. — 2006. — № 4. — С. 241-242. — Бібліогр.: 4 назв. — рос.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine

Схожі ресурси

Интерференционные эффекты в кремний-германиевых гетероструктурах с квантовыми ямами различной ширины
за авторством: Беркутов, И.Б., та інші
Опубліковано: (2016)

Получение кремния электродным восстановлением продуктов пиролиза рисовой лузги
за авторством: Марончук, И.Е., та інші
Опубліковано: (2003)

Получение кремния электродным восстановлением продуктов пиролиза рисовой лузги
за авторством: Maronchuk, I. E., та інші
Опубліковано: (2003)

Перспективы технологии получения солнечного кремния восстановлением кварцевого песка пироуглеродом
за авторством: Бондаренко, Б.И., та інші
Опубліковано: (2012)

Установка для осаждения материалов из газовой фазы
за авторством: Корж, А.Ф., та інші
Опубліковано: (2007)

Влияние примеси германия на радиационную стойкость кремния с высокой концентрацией кислорода
за авторством: Долголенко, А.П., та інші
Опубліковано: (2008)

Особенности разработки термостабилизированных германиевых фотодиодов
за авторством: Рюхтин, В.В., та інші
Опубліковано: (2004)

Особенности разработки термостабилизированных германиевых фотодиодов
за авторством: Ryuhtin, V. V., та інші
Опубліковано: (2004)

Пассивация поверхности германиевых диодных структур наночастицами
за авторством: Болгов, С.С., та інші
Опубліковано: (2008)

Оптические параметры нанокомпозитных плёнок пористого оксида алюминия c квантовыми точками кремния или германия
за авторством: Ушенин, Ю.В., та інші
Опубліковано: (2013)

Разработка процесса газофазного и плазмохимического осаждения покрытия на основе карбида бора
за авторством: Журавлев, А.Ю., та інші
Опубліковано: (2017)

Влияние слоя поликристаллического кремния на механизмы токопереноса в контактах «металл — p-кремний»
за авторством: Smyntyna, V. A., та інші
Опубліковано: (2011)

Влияние слоя поликристаллического кремния на механизмы токопереноса в контактах «металл — p-кремний»
за авторством: Смынтына, В.А., та інші
Опубліковано: (2011)

Адсорбция хлоридов диалкиламмония свежеосажденным гидроксидом уранила
за авторством: Перлова, О.В., та інші
Опубліковано: (2006)

Электропроводность расплавов смесей фторидов и хлоридов
за авторством: Крицкий, В.Е., та інші
Опубліковано: (2005)

Взаимодействие трифторметилсульфенил хлоридов с хлоридами арилртути
за авторством: Попов, В.И., та інші
Опубліковано: (1983)

Ускоренное моделирование функционального отказа s - t-сети с восстановлением
за авторством: Кузнецов, Н.Ю., та інші
Опубліковано: (2014)

Рентгеновские исследования дефектов структуры в приповерхностных слоях монокристаллов германия и кремния, деформированных при 310 K
за авторством: Надточий, В.А., та інші
Опубліковано: (2003)

Синтез, свойства и моделирование кремниевых и германиевых нанотрубок
за авторством: Мазуренко, Е.А., та інші
Опубліковано: (2008)

Тензиметрическое изучение взаимодействия хлоридов бериллия и цезия
за авторством: Подафа, Б.П., та інші
Опубліковано: (1983)

Солнечный кремний
за авторством: Шаповалов, В.А.
Опубліковано: (2014)

Адсорбционно-кинетическая модель осаждения пленок поликристаллического кремния, легированных фосфором в процессе роста
за авторством: Наливайко, О.Ю., та інші
Опубліковано: (2009)

Сублимационный источник для нанесения эпитаксиальных Si-Ge-плёнок
за авторством: Глушко, П.И., та інші
Опубліковано: (2014)

RF PE MOCVD-синтез и морфологические характеристики германиевых наночастиц
за авторством: Дорошенко, М.Н., та інші
Опубліковано: (2012)

Адсорбция и мицеллообразование хлоридов алкилпиридиния в присутствии полиакриламида
за авторством: Стрельцова, Е.А., та інші
Опубліковано: (2008)

Газочувствительные структуры "силицид кобальта – пористый кремний – кремний"
за авторством: Belousov, I. V., та інші
Опубліковано: (2006)

Германия в системе международных антитеррористических координат
за авторством: Павлов, Н.В.
Опубліковано: (2012)

Взаимодействие германия (IV) с изопропилксантогенатом калия
за авторством: Сейфуллина, И.И., та інші
Опубліковано: (1984)

Малоотходные процессы очистки сточных вод от сульфатов и хлоридов
за авторством: Трус, И.Н., та інші
Опубліковано: (2014)

Восстановление окислов и хлоридов металлов в пучково-плазменном разряде
за авторством: Атаманов, В.М., та інші
Опубліковано: (2003)

Модификации арефлюксного холедохоеюноанастомоза с восстановлением пассажа желчи в двенадцатиперстную кишку
за авторством: Даценко, Б.М., та інші
Опубліковано: (2008)

Магнитные Fe−Co−Ni наночастицы, полученные восстановлением из смеси оксалатов
за авторством: Кущевская, Н.Ф., та інші
Опубліковано: (2007)

Программное управление свертыванием космической связки с восстановлением исходной вертикальной ориентации
за авторством: Закржевский, А.Е.
Опубліковано: (2019)

Исследование свойств пленок нитрида и оксида кремния, полученных методом плазмохимического осаждения на кремниевую подложку
за авторством: Рубцевич, И.И., та інші
Опубліковано: (2011)

Газопаротурбинная технология "Водолей" для совместного производства электрической и тепловой энергии
за авторством: Дикий, Н.А., та інші
Опубліковано: (2012)

Влияние силицидных покрытий на прочностные и пластические свойства сплава 5ВМЦ
за авторством: Глушко, П.И., та інші
Опубліковано: (2016)

Ионообменная очистка воды от нитратов в присутствии хлоридов и сульфатов
за авторством: Гомеля, Н.Д., та інші
Опубліковано: (2016)

Перенос и удержание кремния в Тi-Si-N-покрытиях в процессе вакуумно-дугового осаждения
за авторством: Аксёнов, И.И., та інші
Опубліковано: (2010)

Влияние полиакриламида на поверхностные свойства растворов хлоридов алкилпиридиния при их извлечении
за авторством: Стрельцова, Е.А., та інші
Опубліковано: (2008)

Международная выставка «SCHWEISSEN & SCHNEIDEN» (Эссен, Германия, 12-17 сентября), «Мир металлообработки — ЕМО 2005» (Ганновер, Германия, 14-21 сентября)
Опубліковано: (2004)