Optimization of the collecting mirror location in the plasma source of extreme ultraviolet radiation

Optimization of the collecting mirror location in the plasma source of extreme ultraviolet radiation

The paper is devoted to searching the optimal location of first collecting mirror in the extreme ultraviolet radiation plasma sources. It is shown that the system efficiency can be increased by 1.5…2.5 times in the case of elliptical plasma radiation pattern and the optimal location of the first col...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Вопросы атомной науки и техники
Datum:2015
Hauptverfasser: Borgun, Ie.V., Hrechko, Ya.O., Azarenkov, N.A., Dimitrova, V.D., Ryabchikov, D.L., Sereda, I.N., Hryhorenko, A.V., Tseluyko, A.F.
Format: Artikel
Sprache:English
Veröffentlicht: Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2015
Schlagworte:
Низкотемпературная плазма и плазменные технологии
Online Zugang:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/82144
Tags: Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Zitieren:Optimization of the collecting mirror location in the plasma source of extreme ultraviolet radiation / Ie.V. Borgun, Ya.O. Hrechko, N.A. Azarenkov1, V.D. Dimitrova, D.L. Ryabchikov1, I.N. Sereda, A.V. Hryhorenko, A.F. Tseluyko // Вопросы атомной науки и техники. — 2015. — № 1. — С. 174-176. — Бібліогр.: 2 назв. — англ.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
id nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-82144
record_format dspace
spelling Borgun, Ie.V.
Hrechko, Ya.O.
Azarenkov, N.A.
Dimitrova, V.D.
Ryabchikov, D.L.
Sereda, I.N.
Hryhorenko, A.V.
Tseluyko, A.F.
2015-05-25T15:28:09Z
2015-05-25T15:28:09Z
2015
Optimization of the collecting mirror location in the plasma source of extreme ultraviolet radiation / Ie.V. Borgun, Ya.O. Hrechko, N.A. Azarenkov1, V.D. Dimitrova, D.L. Ryabchikov1, I.N. Sereda, A.V. Hryhorenko, A.F. Tseluyko // Вопросы атомной науки и техники. — 2015. — № 1. — С. 174-176. — Бібліогр.: 2 назв. — англ.
1562-6016
PACS: 52.58.Lq, 52.59.Ye.
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/82144
The paper is devoted to searching the optimal location of first collecting mirror in the extreme ultraviolet radiation plasma sources. It is shown that the system efficiency can be increased by 1.5…2.5 times in the case of elliptical plasma radiation pattern and the optimal location of the first collecting mirror. In this case the first collecting mirror should cover the plasma on lateral side.
Работа посвящена поиску оптимального расположения первого собирающего зеркала в плазменных источниках экстремально ультрафиолетового излучения. Показано, что в случае эллиптической диаграммы направленности излучения плазмы и оптимального расположения первого собирающего зеркала можно в 1,5…2,5 раза повысить эффективность системы. В этом случае первое собирающее зеркало должно охватывать боковую поверхность плазмы.
Роботу присвячено пошуку оптимального розташування першого збираючого дзеркала в плазмових джерелах екстремально ультрафіолетового випромінювання. Показано, що в разі еліптичної діаграми спрямованості випромінювання плазми та оптимального розташування першого збирального дзеркала можна в 1,5…2,5 рази підвищити ефективність системи. У цьому випадку перше збиральне дзеркало має охоплювати бокову поверхню плазми.
en
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
Вопросы атомной науки и техники
Низкотемпературная плазма и плазменные технологии
Optimization of the collecting mirror location in the plasma source of extreme ultraviolet radiation
Оптимизация положения собирающего зеркала в плазменных источниках вакуумного ультрафиолета
Оптимізація положення збираючого дзеркала в плазмових джерелах вакуумного ультрафіолету
Article
published earlier
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection DSpace DC
title Optimization of the collecting mirror location in the plasma source of extreme ultraviolet radiation
spellingShingle Optimization of the collecting mirror location in the plasma source of extreme ultraviolet radiation
Borgun, Ie.V.
Hrechko, Ya.O.
Azarenkov, N.A.
Dimitrova, V.D.
Ryabchikov, D.L.
Sereda, I.N.
Hryhorenko, A.V.
Tseluyko, A.F.
Низкотемпературная плазма и плазменные технологии
title_short Optimization of the collecting mirror location in the plasma source of extreme ultraviolet radiation
title_full Optimization of the collecting mirror location in the plasma source of extreme ultraviolet radiation
title_fullStr Optimization of the collecting mirror location in the plasma source of extreme ultraviolet radiation
title_full_unstemmed Optimization of the collecting mirror location in the plasma source of extreme ultraviolet radiation
title_sort optimization of the collecting mirror location in the plasma source of extreme ultraviolet radiation
author Borgun, Ie.V.
Hrechko, Ya.O.
Azarenkov, N.A.
Dimitrova, V.D.
Ryabchikov, D.L.
Sereda, I.N.
Hryhorenko, A.V.
Tseluyko, A.F.
author_facet Borgun, Ie.V.
Hrechko, Ya.O.
Azarenkov, N.A.
Dimitrova, V.D.
Ryabchikov, D.L.
Sereda, I.N.
Hryhorenko, A.V.
Tseluyko, A.F.
topic Низкотемпературная плазма и плазменные технологии
topic_facet Низкотемпературная плазма и плазменные технологии
publishDate 2015
language English
container_title Вопросы атомной науки и техники
publisher Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
format Article
title_alt Оптимизация положения собирающего зеркала в плазменных источниках вакуумного ультрафиолета
Оптимізація положення збираючого дзеркала в плазмових джерелах вакуумного ультрафіолету
description The paper is devoted to searching the optimal location of first collecting mirror in the extreme ultraviolet radiation plasma sources. It is shown that the system efficiency can be increased by 1.5…2.5 times in the case of elliptical plasma radiation pattern and the optimal location of the first collecting mirror. In this case the first collecting mirror should cover the plasma on lateral side. Работа посвящена поиску оптимального расположения первого собирающего зеркала в плазменных источниках экстремально ультрафиолетового излучения. Показано, что в случае эллиптической диаграммы направленности излучения плазмы и оптимального расположения первого собирающего зеркала можно в 1,5…2,5 раза повысить эффективность системы. В этом случае первое собирающее зеркало должно охватывать боковую поверхность плазмы. Роботу присвячено пошуку оптимального розташування першого збираючого дзеркала в плазмових джерелах екстремально ультрафіолетового випромінювання. Показано, що в разі еліптичної діаграми спрямованості випромінювання плазми та оптимального розташування першого збирального дзеркала можна в 1,5…2,5 рази підвищити ефективність системи. У цьому випадку перше збиральне дзеркало має охоплювати бокову поверхню плазми.
issn 1562-6016
url https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/82144
citation_txt Optimization of the collecting mirror location in the plasma source of extreme ultraviolet radiation / Ie.V. Borgun, Ya.O. Hrechko, N.A. Azarenkov1, V.D. Dimitrova, D.L. Ryabchikov1, I.N. Sereda, A.V. Hryhorenko, A.F. Tseluyko // Вопросы атомной науки и техники. — 2015. — № 1. — С. 174-176. — Бібліогр.: 2 назв. — англ.
work_keys_str_mv AT borguniev optimizationofthecollectingmirrorlocationintheplasmasourceofextremeultravioletradiation
AT hrechkoyao optimizationofthecollectingmirrorlocationintheplasmasourceofextremeultravioletradiation
AT azarenkovna optimizationofthecollectingmirrorlocationintheplasmasourceofextremeultravioletradiation
AT dimitrovavd optimizationofthecollectingmirrorlocationintheplasmasourceofextremeultravioletradiation
AT ryabchikovdl optimizationofthecollectingmirrorlocationintheplasmasourceofextremeultravioletradiation
AT seredain optimizationofthecollectingmirrorlocationintheplasmasourceofextremeultravioletradiation
AT hryhorenkoav optimizationofthecollectingmirrorlocationintheplasmasourceofextremeultravioletradiation
AT tseluykoaf optimizationofthecollectingmirrorlocationintheplasmasourceofextremeultravioletradiation
AT borguniev optimizaciâpoloženiâsobiraûŝegozerkalavplazmennyhistočnikahvakuumnogoulʹtrafioleta
AT hrechkoyao optimizaciâpoloženiâsobiraûŝegozerkalavplazmennyhistočnikahvakuumnogoulʹtrafioleta
AT azarenkovna optimizaciâpoloženiâsobiraûŝegozerkalavplazmennyhistočnikahvakuumnogoulʹtrafioleta
AT dimitrovavd optimizaciâpoloženiâsobiraûŝegozerkalavplazmennyhistočnikahvakuumnogoulʹtrafioleta
AT ryabchikovdl optimizaciâpoloženiâsobiraûŝegozerkalavplazmennyhistočnikahvakuumnogoulʹtrafioleta
AT seredain optimizaciâpoloženiâsobiraûŝegozerkalavplazmennyhistočnikahvakuumnogoulʹtrafioleta
AT hryhorenkoav optimizaciâpoloženiâsobiraûŝegozerkalavplazmennyhistočnikahvakuumnogoulʹtrafioleta
AT tseluykoaf optimizaciâpoloženiâsobiraûŝegozerkalavplazmennyhistočnikahvakuumnogoulʹtrafioleta
AT borguniev optimízacíâpoložennâzbiraûčogodzerkalavplazmovihdžerelahvakuumnogoulʹtrafíoletu
AT hrechkoyao optimízacíâpoložennâzbiraûčogodzerkalavplazmovihdžerelahvakuumnogoulʹtrafíoletu
AT azarenkovna optimízacíâpoložennâzbiraûčogodzerkalavplazmovihdžerelahvakuumnogoulʹtrafíoletu
AT dimitrovavd optimízacíâpoložennâzbiraûčogodzerkalavplazmovihdžerelahvakuumnogoulʹtrafíoletu
AT ryabchikovdl optimízacíâpoložennâzbiraûčogodzerkalavplazmovihdžerelahvakuumnogoulʹtrafíoletu
AT seredain optimízacíâpoložennâzbiraûčogodzerkalavplazmovihdžerelahvakuumnogoulʹtrafíoletu
AT hryhorenkoav optimízacíâpoložennâzbiraûčogodzerkalavplazmovihdžerelahvakuumnogoulʹtrafíoletu
AT tseluykoaf optimízacíâpoložennâzbiraûčogodzerkalavplazmovihdžerelahvakuumnogoulʹtrafíoletu
first_indexed 2025-12-07T18:29:11Z
last_indexed 2025-12-07T18:29:11Z
_version_ 1850875210608148480

Ähnliche Einträge