Optimization of the collecting mirror location in the plasma source of extreme ultraviolet radiation
The paper is devoted to searching the optimal location of first collecting mirror in the extreme ultraviolet radiation plasma sources. It is shown that the system efficiency can be increased by 1.5…2.5 times in the case of elliptical plasma radiation pattern and the optimal location of the first col...
Збережено в:
| Опубліковано в: : | Вопросы атомной науки и техники |
|---|---|
| Дата: | 2015 |
| Автори: | , , , , , , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Англійська |
| Опубліковано: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2015
|
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/82144 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Optimization of the collecting mirror location in the plasma source of extreme ultraviolet radiation / Ie.V. Borgun, Ya.O. Hrechko, N.A. Azarenkov1, V.D. Dimitrova, D.L. Ryabchikov1, I.N. Sereda, A.V. Hryhorenko, A.F. Tseluyko // Вопросы атомной науки и техники. — 2015. — № 1. — С. 174-176. — Бібліогр.: 2 назв. — англ. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1860240344811044865 |
|---|---|
| author | Borgun, Ie.V. Hrechko, Ya.O. Azarenkov, N.A. Dimitrova, V.D. Ryabchikov, D.L. Sereda, I.N. Hryhorenko, A.V. Tseluyko, A.F. |
| author_facet | Borgun, Ie.V. Hrechko, Ya.O. Azarenkov, N.A. Dimitrova, V.D. Ryabchikov, D.L. Sereda, I.N. Hryhorenko, A.V. Tseluyko, A.F. |
| citation_txt | Optimization of the collecting mirror location in the plasma source of extreme ultraviolet radiation / Ie.V. Borgun, Ya.O. Hrechko, N.A. Azarenkov1, V.D. Dimitrova, D.L. Ryabchikov1, I.N. Sereda, A.V. Hryhorenko, A.F. Tseluyko // Вопросы атомной науки и техники. — 2015. — № 1. — С. 174-176. — Бібліогр.: 2 назв. — англ. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Вопросы атомной науки и техники |
| description | The paper is devoted to searching the optimal location of first collecting mirror in the extreme ultraviolet radiation plasma sources. It is shown that the system efficiency can be increased by 1.5…2.5 times in the case of elliptical plasma radiation pattern and the optimal location of the first collecting mirror. In this case the first collecting mirror should cover the plasma on lateral side.
Работа посвящена поиску оптимального расположения первого собирающего зеркала в плазменных источниках экстремально ультрафиолетового излучения. Показано, что в случае эллиптической диаграммы направленности излучения плазмы и оптимального расположения первого собирающего зеркала можно в 1,5…2,5 раза повысить эффективность системы. В этом случае первое собирающее зеркало должно охватывать боковую поверхность плазмы.
Роботу присвячено пошуку оптимального розташування першого збираючого дзеркала в плазмових джерелах екстремально ультрафіолетового випромінювання. Показано, що в разі еліптичної діаграми спрямованості випромінювання плазми та оптимального розташування першого збирального дзеркала можна в 1,5…2,5 рази підвищити ефективність системи. У цьому випадку перше збиральне дзеркало має охоплювати бокову поверхню плазми.
|
| first_indexed | 2025-12-07T18:29:11Z |
| format | Article |
| fulltext | |
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-82144 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 1562-6016 |
| language | English |
| last_indexed | 2025-12-07T18:29:11Z |
| publishDate | 2015 |
| publisher | Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Borgun, Ie.V. Hrechko, Ya.O. Azarenkov, N.A. Dimitrova, V.D. Ryabchikov, D.L. Sereda, I.N. Hryhorenko, A.V. Tseluyko, A.F. 2015-05-25T15:28:09Z 2015-05-25T15:28:09Z 2015 Optimization of the collecting mirror location in the plasma source of extreme ultraviolet radiation / Ie.V. Borgun, Ya.O. Hrechko, N.A. Azarenkov1, V.D. Dimitrova, D.L. Ryabchikov1, I.N. Sereda, A.V. Hryhorenko, A.F. Tseluyko // Вопросы атомной науки и техники. — 2015. — № 1. — С. 174-176. — Бібліогр.: 2 назв. — англ. 1562-6016 PACS: 52.58.Lq, 52.59.Ye. https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/82144 The paper is devoted to searching the optimal location of first collecting mirror in the extreme ultraviolet radiation plasma sources. It is shown that the system efficiency can be increased by 1.5…2.5 times in the case of elliptical plasma radiation pattern and the optimal location of the first collecting mirror. In this case the first collecting mirror should cover the plasma on lateral side. Работа посвящена поиску оптимального расположения первого собирающего зеркала в плазменных источниках экстремально ультрафиолетового излучения. Показано, что в случае эллиптической диаграммы направленности излучения плазмы и оптимального расположения первого собирающего зеркала можно в 1,5…2,5 раза повысить эффективность системы. В этом случае первое собирающее зеркало должно охватывать боковую поверхность плазмы. Роботу присвячено пошуку оптимального розташування першого збираючого дзеркала в плазмових джерелах екстремально ультрафіолетового випромінювання. Показано, що в разі еліптичної діаграми спрямованості випромінювання плазми та оптимального розташування першого збирального дзеркала можна в 1,5…2,5 рази підвищити ефективність системи. У цьому випадку перше збиральне дзеркало має охоплювати бокову поверхню плазми. en Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України Вопросы атомной науки и техники Низкотемпературная плазма и плазменные технологии Optimization of the collecting mirror location in the plasma source of extreme ultraviolet radiation Оптимизация положения собирающего зеркала в плазменных источниках вакуумного ультрафиолета Оптимізація положення збираючого дзеркала в плазмових джерелах вакуумного ультрафіолету Article published earlier |
| spellingShingle | Optimization of the collecting mirror location in the plasma source of extreme ultraviolet radiation Borgun, Ie.V. Hrechko, Ya.O. Azarenkov, N.A. Dimitrova, V.D. Ryabchikov, D.L. Sereda, I.N. Hryhorenko, A.V. Tseluyko, A.F. Низкотемпературная плазма и плазменные технологии |
| title | Optimization of the collecting mirror location in the plasma source of extreme ultraviolet radiation |
| title_alt | Оптимизация положения собирающего зеркала в плазменных источниках вакуумного ультрафиолета Оптимізація положення збираючого дзеркала в плазмових джерелах вакуумного ультрафіолету |
| title_full | Optimization of the collecting mirror location in the plasma source of extreme ultraviolet radiation |
| title_fullStr | Optimization of the collecting mirror location in the plasma source of extreme ultraviolet radiation |
| title_full_unstemmed | Optimization of the collecting mirror location in the plasma source of extreme ultraviolet radiation |
| title_short | Optimization of the collecting mirror location in the plasma source of extreme ultraviolet radiation |
| title_sort | optimization of the collecting mirror location in the plasma source of extreme ultraviolet radiation |
| topic | Низкотемпературная плазма и плазменные технологии |
| topic_facet | Низкотемпературная плазма и плазменные технологии |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/82144 |
| work_keys_str_mv | AT borguniev optimizationofthecollectingmirrorlocationintheplasmasourceofextremeultravioletradiation AT hrechkoyao optimizationofthecollectingmirrorlocationintheplasmasourceofextremeultravioletradiation AT azarenkovna optimizationofthecollectingmirrorlocationintheplasmasourceofextremeultravioletradiation AT dimitrovavd optimizationofthecollectingmirrorlocationintheplasmasourceofextremeultravioletradiation AT ryabchikovdl optimizationofthecollectingmirrorlocationintheplasmasourceofextremeultravioletradiation AT seredain optimizationofthecollectingmirrorlocationintheplasmasourceofextremeultravioletradiation AT hryhorenkoav optimizationofthecollectingmirrorlocationintheplasmasourceofextremeultravioletradiation AT tseluykoaf optimizationofthecollectingmirrorlocationintheplasmasourceofextremeultravioletradiation AT borguniev optimizaciâpoloženiâsobiraûŝegozerkalavplazmennyhistočnikahvakuumnogoulʹtrafioleta AT hrechkoyao optimizaciâpoloženiâsobiraûŝegozerkalavplazmennyhistočnikahvakuumnogoulʹtrafioleta AT azarenkovna optimizaciâpoloženiâsobiraûŝegozerkalavplazmennyhistočnikahvakuumnogoulʹtrafioleta AT dimitrovavd optimizaciâpoloženiâsobiraûŝegozerkalavplazmennyhistočnikahvakuumnogoulʹtrafioleta AT ryabchikovdl optimizaciâpoloženiâsobiraûŝegozerkalavplazmennyhistočnikahvakuumnogoulʹtrafioleta AT seredain optimizaciâpoloženiâsobiraûŝegozerkalavplazmennyhistočnikahvakuumnogoulʹtrafioleta AT hryhorenkoav optimizaciâpoloženiâsobiraûŝegozerkalavplazmennyhistočnikahvakuumnogoulʹtrafioleta AT tseluykoaf optimizaciâpoloženiâsobiraûŝegozerkalavplazmennyhistočnikahvakuumnogoulʹtrafioleta AT borguniev optimízacíâpoložennâzbiraûčogodzerkalavplazmovihdžerelahvakuumnogoulʹtrafíoletu AT hrechkoyao optimízacíâpoložennâzbiraûčogodzerkalavplazmovihdžerelahvakuumnogoulʹtrafíoletu AT azarenkovna optimízacíâpoložennâzbiraûčogodzerkalavplazmovihdžerelahvakuumnogoulʹtrafíoletu AT dimitrovavd optimízacíâpoložennâzbiraûčogodzerkalavplazmovihdžerelahvakuumnogoulʹtrafíoletu AT ryabchikovdl optimízacíâpoložennâzbiraûčogodzerkalavplazmovihdžerelahvakuumnogoulʹtrafíoletu AT seredain optimízacíâpoložennâzbiraûčogodzerkalavplazmovihdžerelahvakuumnogoulʹtrafíoletu AT hryhorenkoav optimízacíâpoložennâzbiraûčogodzerkalavplazmovihdžerelahvakuumnogoulʹtrafíoletu AT tseluykoaf optimízacíâpoložennâzbiraûčogodzerkalavplazmovihdžerelahvakuumnogoulʹtrafíoletu |