Optimization of the collecting mirror location in the plasma source of extreme ultraviolet radiation
The paper is devoted to searching the optimal location of first collecting mirror in the extreme ultraviolet radiation plasma sources. It is shown that the system efficiency can be increased by 1.5…2.5 times in the case of elliptical plasma radiation pattern and the optimal location of the first col...
Збережено в:
| Опубліковано в: : | Вопросы атомной науки и техники |
|---|---|
| Дата: | 2015 |
| Автори: | Borgun, Ie.V., Hrechko, Ya.O., Azarenkov, N.A., Dimitrova, V.D., Ryabchikov, D.L., Sereda, I.N., Hryhorenko, A.V., Tseluyko, A.F. |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Англійська |
| Опубліковано: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2015
|
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/82144 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Optimization of the collecting mirror location in the plasma source of extreme ultraviolet radiation / Ie.V. Borgun, Ya.O. Hrechko, N.A. Azarenkov1, V.D. Dimitrova, D.L. Ryabchikov1, I.N. Sereda, A.V. Hryhorenko, A.F. Tseluyko // Вопросы атомной науки и техники. — 2015. — № 1. — С. 174-176. — Бібліогр.: 2 назв. — англ. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of UkraineСхожі ресурси
Dynamics of EUV-radiation from the partially contracted plasma diode
за авторством: Hrechko, Ya.O., та інші
Опубліковано: (2015)
за авторством: Hrechko, Ya.O., та інші
Опубліковано: (2015)
Dynamics and directions of extreme ultraviolet radiation from plasma of the high-current pulse diode
за авторством: Tseluyko, A.F., та інші
Опубліковано: (2009)
за авторством: Tseluyko, A.F., та інші
Опубліковано: (2009)
Features of electron beam evaporation under surface electron beam formation
за авторством: Mysiura, I.N., та інші
Опубліковано: (2014)
за авторством: Mysiura, I.N., та інші
Опубліковано: (2014)
Effect of the external magnetic field on the dynamics and power of the self-sustained plasma-beam discharge
за авторством: Hrechko, Ya.O., та інші
Опубліковано: (2018)
за авторством: Hrechko, Ya.O., та інші
Опубліковано: (2018)
The capacitive component of double layer current in plasma
за авторством: Hrechko, Ya.O., та інші
Опубліковано: (2017)
за авторством: Hrechko, Ya.O., та інші
Опубліковано: (2017)
Hydrogen injector based on penning discharge with metal hydride cathode
за авторством: Sereda, I.N., та інші
Опубліковано: (2018)
за авторством: Sereda, I.N., та інші
Опубліковано: (2018)
Influence of external magnetic field on intensity and directivity of EUV radiation from high-current pulse plasma diode
за авторством: Borgun, Ie.V., та інші
Опубліковано: (2012)
за авторством: Borgun, Ie.V., та інші
Опубліковано: (2012)
Influence of hydrogen supply on emissive characteristics of pig with metal-hydride cathode
за авторством: Sereda, I.N., та інші
Опубліковано: (2014)
за авторством: Sereda, I.N., та інші
Опубліковано: (2014)
Longitudinal extraction of H⁻ ions from Penning discharge with metal-hydride cathode
за авторством: Sereda, I.N., та інші
Опубліковано: (2017)
за авторством: Sereda, I.N., та інші
Опубліковано: (2017)
Dynamic of wall currents in pulse plasma diode in tin vapor
за авторством: Tseluyko, A.F., та інші
Опубліковано: (2011)
за авторством: Tseluyko, A.F., та інші
Опубліковано: (2011)
Influence of plasma nucleus form on radiation orientation in high-current pulse plasma diode
за авторством: Tseluyko, A.F., та інші
Опубліковано: (2010)
за авторством: Tseluyko, A.F., та інші
Опубліковано: (2010)
Еlectrodes dimensions effect on the self-sustained plasma-beam discharge power
за авторством: Hrechko, Ya.O., та інші
Опубліковано: (2018)
за авторством: Hrechko, Ya.O., та інші
Опубліковано: (2018)
Features of active power definition in high-current pulsed discharge
за авторством: Hrechko, Ya.O, та інші
Опубліковано: (2016)
за авторством: Hrechko, Ya.O, та інші
Опубліковано: (2016)
Methods for control the self-sustained plasma-beam discharge at high energy density
за авторством: Hrechko, Ya.O., та інші
Опубліковано: (2019)
за авторством: Hrechko, Ya.O., та інші
Опубліковано: (2019)
Electromagnetic filter for H⁻ separation from pig with metal hydride cathode
за авторством: Sereda, I.N., та інші
Опубліковано: (2018)
за авторством: Sereda, I.N., та інші
Опубліковано: (2018)
Method of increasing the longitudnal current of Н⁻ ions from pig with a metal-hydride cathode
за авторством: Sereda, I.N., та інші
Опубліковано: (2019)
за авторством: Sereda, I.N., та інші
Опубліковано: (2019)
Anisotropy of radiation from dense plasma of multiply ionized atoms
за авторством: Hrechko, Ya.O., та інші
Опубліковано: (2015)
за авторством: Hrechko, Ya.O., та інші
Опубліковано: (2015)
Plasma parameters in pig with metal-hydride cathode under different ways of hydrogen supply
за авторством: Sereda, I.N., та інші
Опубліковано: (2015)
за авторством: Sereda, I.N., та інші
Опубліковано: (2015)
Dynamical accelerating structures of thermoionic plasma
за авторством: Borgun, I.V., та інші
Опубліковано: (2013)
за авторством: Borgun, I.V., та інші
Опубліковано: (2013)
The influence of plasma treatment of different cathode materials on current-voltage characteristics of mirror discharge in air
за авторством: Glazunov, G.P., та інші
Опубліковано: (2013)
за авторством: Glazunov, G.P., та інші
Опубліковано: (2013)
An attempt for increasing the efficiency of penning source of Н ⁻ ions with a metal hydride cathode
за авторством: Sereda, I., та інші
Опубліковано: (2020)
за авторством: Sereda, I., та інші
Опубліковано: (2020)
Influence of metal hydride hollow cathode on Penning ion source operation
за авторством: Sereda, I., та інші
Опубліковано: (2021)
за авторством: Sereda, I., та інші
Опубліковано: (2021)
Charging processes of metal macroparticles in the low-temperature plasma at presence of high-energy electron beam
за авторством: Bizyukov, A.A., та інші
Опубліковано: (2011)
за авторством: Bizyukov, A.A., та інші
Опубліковано: (2011)
Positive column contraction of the glow discharge in nitrogen
за авторством: Lisovskiy, V.A., та інші
Опубліковано: (2017)
за авторством: Lisovskiy, V.A., та інші
Опубліковано: (2017)
Calculating reduced electric field in diffusion regime of DC discharge positive column
за авторством: Lisovskiy, V.A., та інші
Опубліковано: (2015)
за авторством: Lisovskiy, V.A., та інші
Опубліковано: (2015)
Structure and modes of dc glow discharge in nitrogen with hollow cathode or anode
за авторством: Lisovskiy, V.A., та інші
Опубліковано: (2018)
за авторством: Lisovskiy, V.A., та інші
Опубліковано: (2018)
Axial structure of DC glow discharge negative glow in nitrogen
за авторством: Lisovskiy, V.A., та інші
Опубліковано: (2012)
за авторством: Lisovskiy, V.A., та інші
Опубліковано: (2012)
Capture and transport of macroparticles in curved plasma duct at low magnetic field in the presence of an electron beam
за авторством: Bizyukov, A.A., та інші
Опубліковано: (2014)
за авторством: Bizyukov, A.A., та інші
Опубліковано: (2014)
Formation of forest of single-walled carbon nanotubes in plasma-enhanced chemical vapor deposition
за авторством: Burmaka, G.P., та інші
Опубліковано: (2012)
за авторством: Burmaka, G.P., та інші
Опубліковано: (2012)
Growth of forest of single-walled carbon nanotubes at inhomogenious fluxes from plasma
за авторством: Burmaka, G.P., та інші
Опубліковано: (2015)
за авторством: Burmaka, G.P., та інші
Опубліковано: (2015)
Electron energy probability function and dust charge in the temporal afterglow of a plasma with large dust density
за авторством: Denysenko, I.B., та інші
Опубліковано: (2018)
за авторством: Denysenko, I.B., та інші
Опубліковано: (2018)
Phase states of macroparticles under interaction of keV ion beam with dusty plasma
за авторством: Bizyukov, A.A., та інші
Опубліковано: (2010)
за авторством: Bizyukov, A.A., та інші
Опубліковано: (2010)
Effect of negative shift of metalhydride cathode on the emission of H⁻ ions from penning discharge
за авторством: Sereda, I., та інші
Опубліковано: (2019)
за авторством: Sereda, I., та інші
Опубліковано: (2019)
Increasing of mass transfer efficiency at magnetron deposition of metal coating
за авторством: Chunadra, A.G., та інші
Опубліковано: (2015)
за авторством: Chunadra, A.G., та інші
Опубліковано: (2015)
Effect of secondary emission on the afterglow of argon with negatively charged dust particles
за авторством: Denysenko, I.B., та інші
Опубліковано: (2014)
за авторством: Denysenko, I.B., та інші
Опубліковано: (2014)
Infrared spectroscopy of ultraviolet-irradiated carbon nanotubes
за авторством: I. Ovsiienko, та інші
Опубліковано: (2020)
за авторством: I. Ovsiienko, та інші
Опубліковано: (2020)
Infrared spectroscopy of ultraviolet-irradiated carbon nanotubes
за авторством: I. Ovsiienko, та інші
Опубліковано: (2020)
за авторством: I. Ovsiienko, та інші
Опубліковано: (2020)
Control of planar magnetron sputtering system operating modes by additional anode magnetic field
за авторством: Bizyukov, A.A., та інші
Опубліковано: (2010)
за авторством: Bizyukov, A.A., та інші
Опубліковано: (2010)
High-current pulsed operation modes of the planar MSS with magnetically insulated anode without transition to the arc discharge
за авторством: Bizyukov, A.A., та інші
Опубліковано: (2012)
за авторством: Bizyukov, A.A., та інші
Опубліковано: (2012)
Features of atmospheric pressure discharges with a transverse component of the velocity of gas flow to the current channel
за авторством: Chernyak, V.Ya., та інші
Опубліковано: (2018)
за авторством: Chernyak, V.Ya., та інші
Опубліковано: (2018)
Схожі ресурси
-
Dynamics of EUV-radiation from the partially contracted plasma diode
за авторством: Hrechko, Ya.O., та інші
Опубліковано: (2015) -
Dynamics and directions of extreme ultraviolet radiation from plasma of the high-current pulse diode
за авторством: Tseluyko, A.F., та інші
Опубліковано: (2009) -
Features of electron beam evaporation under surface electron beam formation
за авторством: Mysiura, I.N., та інші
Опубліковано: (2014) -
Effect of the external magnetic field on the dynamics and power of the self-sustained plasma-beam discharge
за авторством: Hrechko, Ya.O., та інші
Опубліковано: (2018) -
The capacitive component of double layer current in plasma
за авторством: Hrechko, Ya.O., та інші
Опубліковано: (2017)