Impact of N₂+H₂ mixture plasma on carbon-containing film

• Veröffentlicht in: Вопросы атомной науки и техники
• Datum: 2006
• Hauptverfasser: Voitsenya, V.S., Masuzaki, S., Motojima, O., Sagara, A., Jacob, W.
• Format: Artikel
• Sprache: Englisch
• Veröffentlicht: Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2006
• Schlagworte: Plasma dynamics and plasma wall interaction
• Online Zugang: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/82153
• Назва журналу: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Zitieren: Impact of N₂+H₂ mixture plasma on carbon-containing film / V.S. Voitsenya, S. Masuzaki, O. Motojima, A. Sagara, W. Jacob // Вопросы атомной науки и техники. — 2006. — № 6. — С. 141-143. — Бібліогр.: 16 назв. — англ.

The short review is done of published data on impact of plasma produced in the N₂+H₂ mixture on carbon and
 organic films. It is concluded that such plasma can be much more effective in cleaning of the walls of fusion devices
 from a carbon-based contaminating deposit in comparison...